Светочувствительный негативный материал

Светочувствительный негативный материал

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Е

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

533902

CoIIIa Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 18.03.74 (21) 2005468(04 (51) М.Кл. - G 03 С 1.00 с присоединением заявки—

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет— (43) Опубликовано 30.10.76. Вюлle-;.::ь ¹ 40 (45) Дата опубликования clисaIIия 19.11.76

153) УДК 771.519 (088.8) (72) Авторы изобретения Ю. С. Боков, В. С. Корсаков, В. Г. Калюжная, С. Ф. Наумова и О. Д. Юрина (71) Заявитель (54) СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ

НЕГАТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ

Изооретение относится к светочувствительным ..:егатпзным материалам, примсчяемым з электронной, радиотекнической и полиграфической промышленности.

Известен светочувствительный негатизный материал — фоторезист, состоящий из подложки и светочувстзительного слоя, содержа щего пленскоооразующую компоненту, сенсибилизатор и растзоритель. В качестве плеIIкообразующей,компоненты з таком фоторезисте попользуется модифицировансный антети- есхий или натуральный каучук (1). Известный фоторезист обладает корошей адгезией к подложке и разрешает линии шириной от 10 до 25 мкп при толщине слоя от 0,5 до

2,5 як.я, но имеет нестабильные свойства.

Известен также светочувствительный негатгевный материал — фоторезист, coñòoÿùèII из подлоноки и светочувствительчого слоя, содержащего зленкообразующую компоненту— двойной сополимер полиццклоге|ссадиеиа-1,3 с этилечозым оедииением, сенспоилизатор и раст воритель (2).

Озеточувствительный негативный материал -Ia основе сополимера полициклогексадиена-1,3 (ПЦГД) имеет пороговую сзеточувся"ствительность 36 .. и коэффициент контрастож ности у 1,74. С помощью светочу ствительнык материазоз иа о позе сополимера полициклогексадиеиа-1,3 можно воспроизводить элементь::;емы размером 5 — 10 ик.я.

Одна о такой фоторезист имеет нсоольшие разрешающую способность, сзеточувстз..тельность и коэффициент контрастности.

Целью изобретения является зозышени

",,açðeøàþùeé сзосооности, сзеточувствительНо: ти и прочности сзеточувствитель:lolo слоя.

10 Для это;о предлагают использовать B кае плен ообразующей компоненты трой::ого сополимера ииклогексадиеиа-1,3 дигид;онафтглииа и дизииила при следующем соотношении, зес., о.

L I.êëo,"e:iñaäIIå÷-1,3 0,1 — 40

Дигидронафталин 15 — 40

Дизичил Остальное

Сзеточувстзительнь1й слой фоторезиста

20 в ест порогозую сзеточузстзительиость

С.M

S„= 143» коэффициент контрастности дж у 2,2. Фоторезист позволяет получать элементы размером 2 .икр. Введение третьей компоненты з сополимер (дигидронафталииa) noab,øàåT меканическую прочность слоя, что уменьшает возможность проколов при обработтке слоев. Фоторезист обладает корошей адгезией к гидрофильной позеркности и щс30 ло I- —,oI" ко-TI,IO

533902

Форм v.л а изобретения

Составитель В. Матросов

Текред В. Рыбакова

Корректор И. Симкина

Редактор Т. Никольская

Заказ 954/1468 Изд. № 1731 Тираж 575 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. Фил, пред. «Патент»

П р н,м е р. Сополимер, содержащий 40% ц11 клогаксадиена-1,3, 20% дигидронафталнна и 40% дивинила, в весовой концентрации

20% растворяют,в смеси толуола и а-кснлола в соотношении 2: 1. Сенсиби,тизатор, растворенный в толуоле, сливают с раствором свпо лнмера в соотношении 4: 100 по весу "vutx продуктов. Раст1вор светочувствительного состава фильтруют и на носят на подложку ме тодом цент рифугирования. Слои фоторезиста сушат 15 мин на,воздухе н 30 мик прн 70 С.

Экспо нирование ведут через стеклянный фотошаблон лаипами ДРШ-250 или СВД-120 нлн другими источниками излучения, имеющими линии излучения в области 350 — 370 ям.

Облученная пленка проявляется в 3 порцияк толуола по 0,5 мин,в каждой для удаления необлученных участков. Фоторезнст позволяет получать объекты размером 2 мкм.

Светочувствительный негативный материал, со=тоящий из подложки и светочузст5 внтельного,слоя, содержащего пленкообразующую компоненту, сенсибилизатор и раствори1ель, от л и ч а ющн и с я тем, что, с целью повышения разрешающей способности, светочувствительности и прочности светочувстви10 тельного слоя, в качестве пленкоооразующей компоненты он содержит тройной сополнмер ци«слогексадиена-1,3, днгидронафталина н дпвнш1ла при следующем соотношении, вес. % ..

Ци:кло гексаднен-1,3 0,1 — 40

15 Дигидронафталин 15 — 40

Ди винил Остальное.

Источники информации, принятые во вни мание при э кспертизе::

1. Авт. с з. ¹ 249939,: л. G 03 С 1/00, 1967.

20 2. Лвт. св. ¹ 330421 кл. G 03 С 1/00, 1971

{прототип) .