Радиометрический манометр

Радиометрический манометр

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (i1) 537276

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 03.01.75 (21) 2091374/10 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.11.76. Бюллетень № 44

Дата опубликования описания 30.11.76 (51) М, Кл.з б OIL 21/26

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 531.788(088,8) (72) Авторы изобретения

В. И. Бойцов, Б. В. Иванов, Ю. Э. Кононов и В. Г. Кульпин

Московский институт химического машиностроения (71) Заявитель (54) РАДИОМЕТРИЧЕСКИЙ МАНОМЕТР

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумной метрологии и может быть использовано для измерения степени разрежения газа.

Известны прямоотсчетные механические высоковакуумные манометры, не вносящие возмущения в исследуемую измеряемую среду, содержащие подвешенный на тонкой нерастяжимой нити диск с лопастями, размещенными между нагреваемыми пластинами.

Сравнительная сложность конструкции и тщательность юстировки известного манометра создает значительные затруднения при его эксплуатации и ограничивает его область применения лабораторными и специальными измерениями.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является манометр, содержащий присоединяемый к откачиваемому объему корпус с азотной ловушкой и установленную в нем на игольчатой опоре вертушку с приводными лопастями, причем степени черноты сторон лопастей существенно различны, что приводит к возникновению движущего момента при подведении и вертушке потока лучистой энергии, При использовании известного манометра для измерения вакуума наблюдается невысокая чувствительность из-за применения в качестве движущихся лопастей тонкой слюды.

Кроме того, невозможно создание высокой температуры на движущей поверхности лопасти путем облучения последней от источника лучистой энергии, что ограничивает диапазон

5 измерений давлений снизу.

Цель изобретения — повышение чувствительности и расширение диапазона измерения.

Это достигается тем, что радиометрический манометр, содержащий корпус с азотной ло10 вушкой, внутри которого установлена вертушка с приводными лепестками, снабжен установленным в ловушке индуктором, связанным с генератором токов высокой частоты, а лепестки вертушки выполнены многослойными с чередованием слоев металлизированной слюды, при этом одна из наружных поверхностей лепестков покрыта слоем ферромагнитного материала, а другая — слоем нем агнитного материала, например меди.

20 На фиг. 1 показан предлагаемый манометр, продольный разрез; на фиг. 2 изображена движущая лопасть.

В стеклянном корпусе 1 манометра со штенгелем 2 и ловушкой 3 установлена игольчатая

25 опора 4, на острие которой расположен подпятник 5 с .крепленной на нем четырехлепестковой вертушкой б, а в азотной ловушке 3 находится индуктор 7, соединенный проводами 8 с генератором 9 токов высокой частоты. Ле30 песток вертушки 6 содержит слюдяной слой

537276 (оставитель О. Полев

Техред М. Семенов

Корректор Н. Аук

Редактор Т. Рыбалова

Заказ 25-"7/10 Изд. ¹ 1792 Тираж 1029 Подписное

Ц1-1ИИПИ Государсзвенного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, по. Сапунова, 2 l0, поверхность которого покрыта напыленным слоем меди 11 со степенью черноты Е=

=0,012 и металлический ферромагнитный слой 12.

Манометр работает следующим образом.

Корпус 1 через штенгель 2 соединяется с откачиваемым объемом и охлаждается жидким азотом, залить1м в ловушку 3; после включения генератора 9 высокой частоты ток по проводникам 8 поступает к индуктору 7 и электромагнитное поле индуктора 7 нагревает ферромагнитны14 слой 12 вертушки 6, жестко закрепленной на подпятнике 5, опирающемся на игольчатую;"опору 4. При этом отдельные слои 10 лепестка из-за низкой теплопроводности создают градиент температур на наружных поверхностях.

Вертушка 6 приводится во вращательное движение благодаря тому, что молекулы, соударяющиеся с нагретой поверхностью сходят с нее с большей тепловой скоростью, чем с ненагретой и передают суммарный импульс движения в сторону блестящей поверхности.

По достижении установившегося движения нзм ряется скорость вращения вертушки 6, 5 которая зависит от степени вакуума.

Формула изобретения

Радиометрический манометр, содержащий корпус с азотной ловушкой, внутри которого

10 установлена вертушка с приводными лепест ками, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых давлений и увеличения чувствительности, он снабжен установленным в азотной ловушке индукто15 ром, связанным с генератором токов высокой частоты, а лепестки вертушки выполнены многослойными с чередованием слоев металлизированной слюды, при этом одна из наружных поверхностей лепестков покрыта слоем ферромагнитного материала, а другая — слоем немагнитного материала, например меди.