Способ изготовления фотокатода на основе арсенида галлия

Способ изготовления фотокатода на основе арсенида галлия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 11п 537408

ИЗОЬРИтЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик ф ф о...Щ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 16.06.75 (21) 2144384/25 с присоединением заявки № (51) М. Кл. H 01J 9/12

Совета Министров СССР ло делом изобретений и открытий (53) УДК 621.383.29 (088.8) Опубликовано 30.11.76. Бюллетень № 44

Дата опубликования описания 02.12.76 (72) Авторы изобретения

I, и

В. А. Гаванин, P. И. Шульгина и Е. И. Тарасова "- Т.:,.

1) — »» 1 г Р;. -, Ь, (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОКАТОДА НА ОСНОВЕ

АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ

Формула изобретения

1осуйврственныЙ комитет (23) П

23 Приоритет

Изобретение относится к фотоэлектронным приборам, а именно к способам изготовления фотокатодов на основе полупроводниковых,материалов с отрицательным электронным сродством.

Известен способ изготовления фотокатодов на основе полупроводниковых соединений типа АШВ, включающий прогрев полупроводника в вакууме -10 — о мм рт. ст. до 300 С в присутствии паров цезия в течение нескольких минут, затем обработку цезием и кислородом поочередно при комнатной температуре до прекращения роста фототока (1).

Однако с течением времени чувствительность фотокатода уменьшается, Известен также способ изготовления фотокатода на основе арсенида галлия, включающий активировку путем, многократной обработки фотокатода цезием, затем одновременно цезием и кислородом, прогрев фотокатода и повторную активировку (2).

Однако недостаточная долговечность фотокатода приводит к уменьшению его чувствительности с течением времени.

Цель изобретения — увеличение долговечности фотокатода.

Это достигается тем, что по предлагаемому способу при повторной активировке каждую обработку одновременно цезием и кислородом проводят до снижения фототока на 20 — 30 от максимума фототока, полученного при предыду щей обработке цезием, и такие обработки ведут до прекращения роста абсолютного значения фототока, а затем производят окончательную обработку цезием до снижения фототока на 80 — 90% и последующий нагрев фотокатода при температуре 60 — 100 С в течение

5 — 10 мин.

Изготовленные этим способом фотокатоды на основе арсенида галлия сохраняют свою долговечность в течение длительного времени (больше года).

Способ изготовления фотокатода на основе арсенида галлия, включающий активировку

20 путем многократной обработки фотокатода цезием, затем одновременно цезием и кислородом, прогрев фотокатода и повторную активировку, отличающийся тем, что, с целью увеличения долговечности фотокатода, 25 при повторной актпвировке каждую обработку одновременно цезием и кислородом производят до снижения фототока на 20 — 30% от максимума фототока, полученного при предыдущей обработке цезием, и такие обработки

30 ведут до прекращения роста абсолютного зна537408

Составитель В. Белоконь

Техред М. Семенов

Редактор Е. Караулова

Корректор Л. Котова

Заказ 2682/11 Изд. № 1832 Тираж 963 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 чения фототока, а затем производят окончательную обработку цезием до снижения фототока на 80 — 90% и последующий нагрев фотокатода при температуре 60 — 100 С в течение

5 — 10 мин.

Источники информации, принятые во внИмание при экспертизе.

1. Патент Англии № 1200899, .кл. H1D, 1970.

2. Патент США, № 3669735, кл. 117 †2, 5 1970.