Устройство для генерирования в атмосфере пучка заряженных частиц

Устройство для генерирования в атмосфере пучка заряженных частиц

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГЕНЕРИРОВАНИЯ В АТМОСФЕРЕ ПУЧКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ' по авт.св. № 403370, отличающееся тем, что, с целью уменьшения натекания газа в вакуумную камеру ускорителя, дополнительно установлено несколько подвижных дисков, а между подвижными дисками установлены неподвижные диски с отверстиями, соответствующими месту прохождения электронного пучка.(ЛСПсо ^СП00;о

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) (51)4 Н 0 Н 7 00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

{61) 403370 (21) 2317401/25 (22) 26 ° Oi . 76 (46) 23.09.87. Бюл. 11 35 (71) Институт высоких температур

АН СССР (72) E.À.Àáðàìÿí (53) 621.384 ° 6 (088.8) (56} Авторское свидетельство СССР

У 403370, кл, Н 05 H 7/00, 1972. (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГЕНЕРИРОВАНИЯ

В АТМОСФЕРЕ ПУЧКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ по авт.св. 11 403370, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью уменьшения натекания газа в вакуумную камеру ускорителя, дополнительно установлено несколько подвижных дисков, а между подвижными дисками установлены неподвижные диски с отверстиями, соответствующими месту прохождения электронного пучка.

53

Изобретение относится к устройствам для выпуска в атмосферу электронного пучка. с энергией сотни кэВ, we -5 ющего короткую длительность -10 и . !О 6 с — повторяющегося периодически с частотой сотки и тысячи раз в секундуь концентрация энергии в таком пучка (средняя по времени) мойет достигать 10 квт/мм и более ° Устройст-.

2 во может применяться для обработки концентрированным элек тронным пучком металлов в обычной и заданной атмосфере и разрушения горных пород. Данное изобретение является усовершенствованием известного устройства. !

В основном изобретении описано

I устройство для генерирования в атмосфере пучка заряженных час гиц, содер" жащее выпускное окно, выполненное в ,виде диска с отверстиями, закрепленного на оси вращения, параллельной направлению пучка, а отверстия расположены на радиусе, равном расстоянию от оси вращения до оси пучка.

Недостатком известного устройства является невозможность открывания отверстия на короткое время и натекание газа в вакуум (ок.10 c), так как при необходимых при этом больших окружных скоростях диска невозможно осу ществить скользящее вакуумное уплотнение.

Целью дополнительного изобретения является уменьшение натекания газа в вакуум.

Это достигается тем, что.в устрой" стве для генерирования в атмосфере пучка заряженных частиц на оси вращения установлены несколько подвижных дисков, между которыми расположены неподвижные диски с отверстиями по оси пучка, закрепленные на корпусе выпускного окна, На чертеже изображено поперечное сечение предлагаемого устройства.

Устройство вклочает ускоритель (на чертеже не показан) с вакуумной камерой 1 и выпускное окно. Выпускное окно имеет в корпусе 2 отверстия для выпуска электронного пучка 3 из вакуумной камеры 1 ускорителя. В кор-, пусе 2 выпускного окна установлены на валу 4 несколько (по крайней. мере два) подвижных параллельных между собой дисков 5 с отверстиями б. Диски могут вращаться вокруг оси 7. Между подвижными дисками 5 расположены

7589 неподвижные диски 8, закрепленные в корпусе 2 выпускного окна.

О тв е рстия 6 подвижных дисков 5 выполнены иа радиусе диска 5, равном расстоянию от оси вращения 7 до оси йучка 3. В неподвижных дисках 8 также выполнены отверстия 9. Расстояния отверстий 6 и 9 от оси 7 равны. Поло жение отверстий 9 соответствует месту прохождения электронного пучка 3.

Неподвижные диски 8 уплотнены на ва« куум в корпусе 2 выпускного окна (способ крепления дисков 8 к корпусу .

2 не показан, условно они показаны как-одно целое с корпусом 2). Выпускное окно уплотнением 10 опирается на подшипник 11. В нижней части корпуса выполнен патрубок 12, через который производят откачку камеры выпускного

2() окна, Конец вала 4, выходящий из вакуума, присоединяется к приводу, обе- спечивающему вращение вала 4 с заданной скоростью.

При работе устройства вал 4 вращается вместе с дисками 5 с высокой скоростью — до 10000 об/мин и выше, диски 8 и корпус 2 камеры выпускного окна неподвижны. При высокой скорости вращения в вакууме дисков 5, установленных между неподвижными-. дисками 8, происходит вакуумная откачка. Возможны различные модификации геометрической формы дисков 5 и

8, обеспечивающих наиболее высокую степень разрежения или производительность откачки. Одним из простейших вариантов являются плоские диски, показанные на рисунке.

Оси отверстия 6 и 9 в дисках пери" одически совпадают, и имеются сред" ства, синхронизирующие момент уско .рения - электронов с .моментом совпаде" ния осей отверстий. При диаметре от45 верстий 6 10-0,5 мм, расстоянии их от оси 7 около 100 йм и скорости вращения дисков 6-25000 об/мин, вре" мя совпадения отверстий около

50 ь °

2 10 сек. В момент совпадения отверстий по каналу, образованномуими,,проходит электронный пучоК 3 и навстречу ему порция газа, Отметим, что при столь малом времени. совпадения отверстий ra3 не успевает пройти весь. 5 канал и попасть в вакуумную камеру 1 ускорителя. Таким образом, система работает с некоторым натеканием, вызванным периодическим прохождением гаСоставитель И;Петров.

Редактор С.Титова,Техред И.Попович . Корректор А.Обручар

Заказ 5207 Тираж 798 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР с по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж"35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие,г.Ужгород,ул.Проектная,4

Ъ, з 53758 за по каналу, образованному отверстиями 6 и 9.

В момент, когда отверстия-6 и 9

5 .не совпадают, их.наличие, также приводит к прохождению газа в обход лабиринту, образованному зазорами между дисками 6 и 9i Однако при достаточно . малых зазорах между дискамн и подборе 1О других геометрических, размеров, натекание будет минимально. Некоторое разрежение (возможно 10 ; 10 торр) в зоне камеры выпускного окна ближайшей к атмосфере, создается через патрубок 1 2 дополнительной откачкой. устройство для генерирования в атмосфере пучка заряженных частиц riosволит уменьшить натекание газа в вакуумную камеру. Одновременно уменьшат ся габариты вакуумных устройств..