Способ изготовления индикаторов с тугоплавкими элементами накаливания

Способ изготовления индикаторов с тугоплавкими элементами накаливания

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11) 539345

Союз Советских

Социалистических

Республик

Т

1 (61) Дополнительное к авт. свпд-ву (22) Заявлено 29.!0.73 (21) 1968750 07 с присоединением заявки че (23) Приоритет

Опубликовано 15.12.76. Бюллетень М 46

Дата опубликования описания 29.12.76 (а1) М. Кл. - Н 01К 3/02

Н 05В 33/10

G 03F 3/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.326.002.2 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

A. Ю. Малинин, В. С. Папков, М. В. Суровиков, В. Д. Чумак, В. И. Иванов и lO. Н. Бузников (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНДИКАТОРОВ С ТУГОПЛАВКИМИ ЭЛЕМЕНТАМИ НАКАЛИВАНИЯ

Изобретение может быть использовано в области электроники,,в частности в технике изготовления локальных микрокатодов и индикаторных приборов с интегральными схемами управления.

Известен способ изготовления индикаторов с вольфрамовыми элементами накаливания, который содержит следующие стадии. На поверхности керамической подложки осаждают слой металла с хорошей электропроводностью, в котором формируют токоподводящие дорожки .с контактными площадками. На полученную структуру наносят слой стекла и вытравливают в нем отверстия к контактным площадкам токовой разводки. Заполнив углубления металлом, создают траверзы-контакты.

Поверхность стекла с выходами тра вера покрывают тонкой пленкой вольфрама и формируют в ней систему элементов накаливания, совмещая их концы с траверзами-контактами.

Вытравив ранее нанесенный слой стекла, получают основу индикатора, состоящую из расположенной на поверхности подложки схемы токовой разводки и системы вольфрамовы элементов накаливания, подвешенных над подложкой на вертикально расположенных траверзах. Схему токовой разводки, элементы накаливания и поддерживающие их траверзыконтакты формируют 8 трех разных плоскостях.

Известный способ включает большое число специфичных и сложных по исполнению операций, необходимых для,создания индикатора с указанными конструктивными особенностями. Кроме того, низкие температура плавления и теплопроводность керамики не позволяют повысить температуру накаливания элементов выше 1200=C, что ограничивает возможности увеличения КПД. Применение ке11) рамической подложки исключает возможность формирования на одной и той жс подложке элементов накаливания и полупроводниковых интегральных схем управления.

Целью изобретения является упрощение технологии изготовления накальных исндикаторов путем уменьшения количества, сложности и трудоемкости технологических операций и увеличение КПД индикатора за счет созда20 нпя возможности повышения рабочих температур.

Согласно изобретению поставленная цель достигается за счет того, что на подложку пз монокристалла высокотемпературного окисла, 25 например сапфира, наносят пленку тугоплавкого металла, в которой одновременно и в одной плоскости формпругот элементы накаливания и схему токовой разводки, после чего в структуре создают изолирующие углубления

30 иод элементами накаливания.

539345 (1оставитеаь Ю. Чукова

Техред М. Семенов

Корректор Л. Брахнина

Редактор T. Юрчикова

Заказ 2775/13 Изд, 1 1 963 Тираж 963. Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по де.лам изобретений и открытий

113035, Москва, _#_-35, Раушская наб., д, 4j5

Типография, пр. Сапунова, 2

Таким образом, в отличие от прототипа, где токовая разводка и элементы накаливания разнесены в различные плоскости и не могут быть сформированы одновременно, применение сапфировой подложки позволяет г1олучить на ней монокристаллическую пленку вольфрама и в едином процессе фотогравировки одновременно получить в этой пленке и схему токоной разводки и элементы накаливания. Три операции нанесения металла — для токовой разводки, траверз и элементов накаливания— заменяются одной операцией, нанесения пленки вольфрама. Отпадает необходимость в нанесении и последующем стравливании слоя стекла. Т ри операции фотогравировки — для формирования схемы токовой разводки, схемы отверстий в слое стекла под траверзы и системы элементов накаливания — заменяются одной операцией фотогравировки, в которой одновременно формируются все элементы индикатора.

Формула изобретения

Способ изготовления индикаторов с тугоплавкими элементами накаливания, включающий формирование на изолирующей подложке схемы токовой, разводки, элементов накалива|ния из тугоплавкого металла и создание изолирующего зазора между подложкой и элементами накаливания, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и увеличения КПД индикаторов, на подложку из монокристаллического высокотемпературного окисла, например сапфира, наносят, пленку тугоплавкого металла, например вольфрама, в которой одновременно и в одной плоскости формируют схему токовой разводки и систему элементов накаливания.