Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<:и 540945

Сове Советских

Соцкaпнстнseсеxx

Республ;..::. (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.07.73 (21) 1956744, 33 (51) М. Кл. С ОЗС 17/06

С 23С 13/08 с присоединением заявки ¹

Государственный немоте:

Сонета Мннистро". ССс? по делам изабретенпй

И OTICPbiTHH (23) Приоритет

Опубликовано 30.12.76. Бюллетень № 48

Дата опубликования описания 08.02.77 (53) УДК 621.730.72 (088.8) (72) Авторы изобретения

К. А. Рамазанов, В. А. Субботина, С. А. Антонов и В. С. Лавренов !

-f

J (71) Заявитель

/ "; : 7 1 с " I (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Изобретение может быть использовано в оптико-механической промышленности.

Известно устройство для нанесения равномерного покрытия на поверхность плоских деталей и на детали сферической формы с разной крутизной (1).

Наиболее близким техническим решением является устройство для нанесения покрытий в вакууме на сферические детали, содержащее установленную в камере карусель с подложкодержателями, смонтированными с возможностью вращения, и испаритель (2).

Недостатками этих устройств является неравномерное по толщине нанесение вещества на сферические детали из-за ограниченного движения подложкодержателей в пространстве, Цель и.обретения — обеспечить планетарное движение подложкодержателя.

Это достигается тем, что устройство снабжено кронштейном с роликом, а подложкодержатель закреплен на карусели шарнирно.

Устройство представлено на чертеже.

Подложкодержатель 1, представляющий собой круглый металлический диск, имеет посадочные места 2 для размещения покрываемых деталей 3, В центре держателя закреплен шарнир 4, ось которого неподвижно соединена с каруселью 5. Длиной оси регулируется расстояние от поверхности подложкодержателя 1 до испарителя. Карусель контактирует с арматурой 6, при вращении которой вращается и карусель, а следовательно, и подложкодерхсатель с покрываемы;,:и деталями.

5 Во время вращения от привода 7 подложкодержатель с покрываемыми деталями постоянно меняет угол наклона с помощью приспособления, представляющего собой кронштейн

8 с роликом 9. Кронштейн крепится неподвиж10 но на общей оправе 10. Ролик касается осно. вания подложкодержателя. Общая оправа 10 установлена на стойках 11, соединенных с плитой 12 вакуумной камеры 13. Величина угла наклона подложкодержателя регулнруется

15 винтом 14 относительно нспарителя 15.

Устройство работает следующим образом.

На подложкодержатель 1 помещаются предварительно подготовленные детали. Сначала

20 покрытие наносится на вогнутую поверхность, поэтому она обращена к испарителю. Во время размещения подложкодержателя на карусели ставится экран. После создания вакуума в камере и прогрева деталей включается си25 стема вращения подложкодержателей и производится покрытие. По окончании покрытия нарушается вакуум, подложкодержатель 1 с деталями снимается. Детали переворачиваются и вновь помещаются в установку для нане30 сепия покрытия на выпуклую поверхность.

540945

Составитель В. Юдина

Текред А. Камышникова Корректор Л. Брахнина

Редактор Г. Кузьмина

Заказ 3010/10 Изд. ¹ 1914 Тираж 575 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4!5

Типография, пр., Сапунова 2

О помощью предлагаемого устройства можно наносить покрытия на сферические детали диаметром до 150 мм и больше, имеющие форму до полусферы, т. е. радиусом кривизны

P =75 мм.

Устройство может быть смонтировано в любой вакуумной установке. При этом возможен монтаж нескольких таких устройств, что позволяет значительно повысить производительность.

Формула изобретения

Устройство для нанесения покрытий в вакууме на сферические детали, содержащее установленную в камере карусель с подложкодержателями, смонтированными с возможностью вращения, и испаритель, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью обеспечения возможности планетарного движения подложкодсржателя, 5 о«о снабжено кронштейном с роликом, а подложкодержатель закреплен на карусели шарнирно. ,Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

10 1. Голубева Г. И. и др, Изготовление вакуумным методом интерференционных многослойных фильтров на не плоских поверхностях «Оптико-механическая промышленность», 1968, № 11, с. 58.

15 2. Патент CIIIA № 3128205, кл. 118 — 49, 1964.