Устройство для ориентации подложек при изготовлении микросхем

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

иц 54I305

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Е =i -"ÒÎÐÑÅÎÀ4У СВИДЕТЕЛЬСТВУ

: ома С,ветенgg

Садналнстнческнх

Респблик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 06.01.75 (21) 2095885/21 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.12.76. Бюллетень № 48 (51) М. Кл. - Н 05К 3 00

Н 011 21/70

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.382.77..039 (088.8) по делам изобретений н открытнй

Дата опубликования описания 07.01.77 (72) Авторы изобретения

В. А. Крючков и Г. В. Петров (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПОДЛОЖЕК

ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ МИКРОСХЕМ

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к технологическому оборудованию для ориентации подложек (при изготовлении микросхем).

Известны устройства для ориеитадии подложск при изготовлении микросхем, содержащие координатный стол, выполненный из верхней и нижней плит, перемещающихся на пружинных направляющих биморфными пьезокерамическими пластинами (1).

Однако известные устройства сложны, громоздки и ие обеспечивают высокой точности и надежности ориентации подложек.

Цель изобретения — повышение точности н надежности ориентации подложек.

Это достигается тем, что в предлагаемом у=тройстве для ориентации подложек ири изготовлении микросхем в плите координатного стола выполнены продольные и поперечные пазы, образующие рабочую плиту для размецения подложки, внутреннюю и наружную рамки и упругие элементы, соединяющие их между собой, причем пьезоэлектрические элементы размещены между внутренней и наружной рамками, а также между рабочей плитой и внутренней рамкой.

На чертеже изображено предлагаемое устройство для ориентации подложек при изготовлении микросхем.

Устройство содержит координатный стол, выполненный в виде плиты, взаимодействующей с пьезоэлектрическими элементами 1 — 4, размещенными в,продольных и поперечных пазах координатного стола и образующих рабочую плиту 5 для размещения подложки, внутреннюю 6 и наружную 7 рамки, упоров

8 и 9 и упругих элементов 10 — 21.

При подаче электрического напряжения на

10 пьезоэлектрический элемент 1 происходит его растяжение (сжатие), и так как он соединен с упором 8 и наружной рамкой 7, то последняя смещается по координате Х за счет деформации упругих элементов 18 — 21, и одно15 временно смещается плита 5ивнутренняя рамка 6 в том же направлении. При подаче электрического напряжения на пьезоэлектрический элемент 2 происходит смещение рамки б,по координате У за счет деформации упругих

0 элементов 10 — 13, и одновременно смещается плита 5 в том же направлении, а рамка 7 выполняет функции упора для рамки 6. При подаче электрического напряжения на пьезоэлектрические элементы 3 и 4 создается вра25 щающийся момент, и плита 5 за счет деформации упругих элементов 14 — 17 совершает разворот, а внутренняя рамка 6 выполняет функции упора для плиты 5. При одновременной подаче электрического напряжения на

33 все пьезоэлектрические элементы плита 5

541305

Составитель Н. Блинкова

Корректор Н, Аук

Текред Е. Петрова

Редактор Е. Караулова

Заказ 2893/16 Изд. № 1903 Тираж 1029 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, %-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 смещается по двум координатам Х и У и развертывается .под углом.

В качестве упругих элементов могут применяться пьезоэлектрическая керамика и магнитострикционные материалы.

Таким образом, предлагаемое устройство обеспечивает все виды перемещения, необходимые при ориентации подложек, а плита 5, рамки 6 и 7, упоры 8 и 9 и все направляющие легко образуются в единой металлической заготовке путем фрезерования сквозных щелей.

Формула изобретения

Устройство для ориентации подложек при изготовлении микросхем, содержащее координатный стол, выполненный в виде плиты, взаимодействующей с пьезоэлектрическими элементами, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и надежности ориентации подложек, в,плите координатного стола выполнены продольные и поперечные пазы, образующие рабочую плиту для размещения подложки, внутреннюю и наружную, рамки и упругие элементы, соединяющие их между собой, причем пьезоэлектрические элементы раз10 мещены между внутренней и наружной рамками, а также между рабочей плитой и внутренней рамкой.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

15 1. Авт. св. СССР № 379065, кл. Н 05К 3/00, 1970 (прототип).