Устройство для окисления полых цилиндрических катодов в тлеющем разряде

Устройство для окисления полых цилиндрических катодов в тлеющем разряде

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ,Ill 543039

Ьаз Советских

Соиналистическнх

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 29.05.74 (21) 2031638/25 с присоединением заявки Ме (23) Приоритет

Опубликовано 15.01.77. Бюллетень Хе 2

Дата опубликования описания 10,02.77 (51) М. Кл, Н 01J 3/38

С 23С 13/08

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.382(088.8) но делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения Е. А. Трофимов, М. М. Кулаков, В. Ф. Арцыхович, В. Е. Каменцев, В. Д. Кондратенко, В. И. Стрелов и С. И. Файфер (71) Зая витель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОКИСЛЕНИЯ ПОЛЫХ

ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ КАТОДОВ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ

Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам для окисления полых цилиндрических катодов в тлеющем разряде.

Известны устройства для окисления катодов, содержащие вакуумную камеру, дер катель .катода, системы для откачки и напуска газа.

Недостатком этих устройств является невозможность получения равномерной окисной пленки на поверхности полого цилиндрического катода.

Известно также устройство для окисления полых цилиндрических катодов в тлеющем разряде, содержащее вакуумную камеру, анод, катод-обрабатываемое изделие, держатсль катода, системы для откачки и напуска газа, в котором анод расположен вне полости катода.

Недостатком указанного устройства является расположение анода вне полости холодного катода, приводящее к неоднородности окисной пленки.

Целью настоящего изобретения является получение равномерной по толщине и свойствам окисной пленки на внутренней поверхности .катода.

Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве анод расположен коаксиально внутри катода и равноудален от его поверхности, а держатель катода имеет центральное отверстие с диаметром, равным диаметру внутренней полости катода, и боковые отверстия, расположенные по окружности центрального

5 отверстия, причем держатель катода выполнен из м атер и ал а катода.

На чертеже показано предлагаемое устройство, разрез.

Устройство состоит нз вакуумного колпака

lo 1, соединенного с основанием 2 через уплотнение, держателя 3, установленного на нем катода 4, подлежащего обработке, и анода 5, расположенного кGàêñèàëüíо внутри катода 4.

Для ограничения рабочей зоны внутреннюю

15 IIo.looT 6 катода 4 cHII3) 321 pb!BBIQT изолятором 7.

Держатель 3 катода имеет центральное отверстие 8, диаметр которого равен диаметру внутренней полости 6 катода 4. Для наполне2 ния внутренней полости 6 окисляющей газовой средой держатель 3 катода имеет боковые отверстия 9, расположенные по окружности центрального отверстия 8. Соотношение диаметра и длины боковых отверстий 9 вы25 бирают такими, чтобы исключить проникновение разряда через них на внешнюю поверхность катода 4.

Элементы конструкции, находящиеся ниже изолятора 7, имеют дополнительную изоля30 цию 10. Для уменьшения неравномерности по

543039

Формула изобретения

Составитель Е, Графольский

Текрсд A. Каменская

Корректор Л. денискина

Редактор И. Шубина

Заказ 37/17 Изд, № 107 Тира>к 1019 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д, 4)5

Типография, пр. Сапунова, 2 толщине и свойствам окиспой пленки па границе катода 4 держатель 3 катода выполнен из материала катода и имеет одинаковый с ним внутренний диаметр.

Вакуумный колпак 1 имеет отверстия для подсоединения к системам для откачки и напуска газа.

Устройство работает следующим образом.

Катод 4 устанавливают в держатель 3, надевают вакуумный колпак 1 и осуп;ествляют откачку до давления порядка 1 10 — мм рт. ст.

Затем производят напуск окисляющей среды в камеру до давления 1 — 3 мм рт. ст, и зажигают разряд. В процессе окисления поддерживается постоянный ток разряда.

Предлагаемое устройство обеспечивает получение равномерной по толщине к свойствам окисной пленки на внутренней поверхности катода.

1. Устройство для окисления полых цилиндрических катодов в тлеющем разряде, содер5 жащее вакуумную камеру, анод, катод-обрабатываемое изделие, держатель катода, системы для откачки и напуска газа, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью получения равномерной по толщине и свойствам окисной плен10 ки на внутренней поверхности катода, анод расположен коаксиально внутри катода и равноудален от его поверхности, а держатель катода имеет центральное отверстие с диаметром, р авным диаметру внутренней полости

15 катода, и боковые отверстия, расположенные по окружности центрального отверстия.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что держатель катода выполнен из материала катода.