Испаритель для нанесения многокомпонентных пленок

Испаритель для нанесения многокомпонентных пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ оп 5447II

Союз Советских

Социалистических, Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.07.75 (21) 2164584/21 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.01.77. Бюллетень № 4

Дата опубликования описания 15.02.77 (51) М. Кл. С 23С 13/12

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДЫ 621 52 139 23 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

Институт кибернетики АН Грузинской ССР (54) ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ПЛЕНОК

Изобретение относится к технологии получения тонких пленок и может найти применение в микроэлектронике для получения пленок сплавов и соединений заданного состава.

Получение тонких пленок сплавов и соединений методом резистивного испарения в вакууме связано со значительными трудностями в связи с тем, что при испарении исходного материала происходит его разделение на отдельные компоненты, улетучивающиеся с различными скоростями, определяемыми их парциальными упругостями паров. На поверхности подложки при их конденсации получается пленка, имеющая сложно изменяющийся состав по толщине.

Известны устройства для получения пленок сплавов заданного состава одновременными испарениями составляющих из разных источников.

Однако применение этих устройств связано со значительными трудностями, вызванными необходимостью регулирования и поддержания испарения отдельных компонентов для получения на подложке пленки материала заданного состава.

Известен испаритель, содержащий тигель, разделенный перегородками из материала тигля на коаксиально расположенные секции, число которых равно числу испаряемых компонент, и нагреватель, поддерживающий заданную температуру испарения. Для обеспечения стабилизации конденсата заданного состава на подложке поперечные сечения секций тигля выбраны в соответствии с требуемым соотношением парциальных давлений паров компонент.

Известный испаритель содержит секции, поперечные сечения которых должны с высокой точностью соответствовать требуемым соотно1о шениям парциальных паров компонент, что затрудняет применение этого устройства в связи со сложностью его изготовления с требуемой точностью.

Целью изобретения является получение пле15 нок заданного состава.

Это достигается тем, что в испарителе для нанесения многокомпонентных пленок, содержащем тигель из тугоплавкого материала и нагреватель, тигель выполнен в виде пакета

23 закрытых с одного конца капиллярных трубок с диаметром, обеспечивающим подавление конвективного перемешивания расплава.

На чертеже показан предлагаемый испаритель.

25 Нагреватель 1 состоит из коаксиально расположенных цилиндрических печек, пространство между которыми занимает тигель 2. Такая конструкция нагревателя обеспечивает равномерный подогрев тигля до нужной темзО пературы. Тигель представляет собой связку

Г. Ф. Долидзе, Д. В. Якашвили, В. Н. Вигдорович и Г. А. Ухлинов о44711

Формула изобретении

Составитель П, Лягни

Корректор Л. Брахнина

Техред Л. Гладкова

Редактор Е. Караулова

Заказ 126/15 Изд. Мю 156 Тираж 1124 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 с одного конца запаянных трубочек диаметром, при котором конвективное перемешивание расплава подавлено.

При включении нагревателя сплав нужного состава, помещенный в тигель, расплавляется и при достижении определенной температуры начинает испаряться. Спустя некоторое время после начала испарения (время переходного процесса), в расплавах устанавливается стационарное состояние, обеспечивающее их,ко нгруэнтное испарение.

Испаритель для нанесения многокомпонентных пленок, содержащий тигель из тугоплавкого материала и нагреватель, отличающийся тем, что, с целью получения пленок заданного состава, тигель выполнен в виде пакета закрытых с одного конца капиллярных трубок с диаметром, обеспечивающим подавление конвективного перемешивания расплава.