Криогенный конденсационный насос

Криогенный конденсационный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

11 11 545768

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬСТВУ (61) Доно.шительнос к авт. Свид-ву (22) Заявлено 10.06.74 (21) 2032456/06 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 05.02.77. Бюллетень М 5 (51) .х1. Кл. - Г 04В 37j08

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) 1 ДК 621.528.1 (088.8) по делам изобретений и открытий

Дата опубликования описания 04.03.77 (72) Авторы

II:10брстт ии;1

В. А. Коваленко, В. Н. Козлов, С. Ф. Гришин, E Я. Гришина, А. Н. Кирнос и В. Я. Чернышенко (71) Заявитель (54) КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен криогенный конденсационный насос, содержащий корпус, соединенный с откачиваемым обьемом вакуумпроводом, и размещенную внутри корпуса криопансль, подключенную к источнику хладагента (1). B известном насосе имеет место градиент температуры на поверхностях .крпопанели и вакуумпровода, который пр;1водит к процессу перекондепсации газа с более теплых частей криопансли на более холодные, что увели швает время достижения предельного вакуума насоса.

Известен и другой крпогенный конденсационный насос, содержащий размещенную внутри гелиевого сосуда Дьюара камеру. в которую введен вакуумпровод (2j. Однако и в этом насосе имеет место градиент температуры на поверхности вакуумпровода, что влечет за собой псреконденсацию газа внутри насоса и увеличение времени достижения предельного вакуума.

Цель изобретения — сокращение времени достижения предельного вакуума. Это достигается тем, что участок вакуумпровода, расположенный внутри камеры, выполнен из высокотеплопроводного материала, например меди, и заключен в кожух с вакуумной изоляцией. Участок вакуумпровода, расположенньш за пределами камеры, помещен в сосуд с жидки;! азотом. а камера герметично сосдинена с кожухом в зоне горловины гелиевого сосуда.

5 НЯ че()тсн(с изОбражеи насос, продолы1ы11 разрез.

Внутри корпуса 1 насоса размещен азотный экран 2, Охлаждаем ЫЙ жидким Язотоъl, и гелисный сосуд Дьюара 3 с расположенной внутри

10 камерой 4. В камеру 4 введен вакуумпровод 5, участок которого, расположенный внутри камеры 4, выполнен i!ç в ".ñîêîòåïëîïðîâîäíîãî материала, например мсдп, и заключен в ко>кух 6 с вакуумной пзляцией. Для уменьшения расхода гелия участок вакуумпроводя 5, расположе1 ный з;1 пределами камеры 4, пол1ещсн В сосуд I L жидким язотоъ1, а камс(1;1

4 герметично соединена с кожухом 6 в зоне горловины гслисього сосуда Дьюара 3.

Насос ряботяс.. следующим образом.

В азотный экран 2 и сосуд 7 заливают жидкий азот, а в гслисвьш сосуд Дьюара 3 жидкий гсл11и. О гкачивасмый газ, охлажденный в вакуумпроводе 5 до температуры, близкой к температуре жидкого азота, поступает в камеру 4 и конденсируется на ес стенках.

B результате насос работает без перекоидснсяцип, что сокращает время достижения

30 предельного вакуума.

Формула изобретения

10 и

1!

1 !! ! !

Со".! воители H. Юпп!н

K !ррсктор A. Николаева

Тскрсд Л. 1!!1орозова

Редактор О. Филиппова

3!!кав 243/13 Ивд. ¹ 408 Тираж 869 Подписное

ЦИИИПИ Государс! в: ипого ком:!тета Cof;cT;l Мипист!1ов СССР г!о дев!ам eçîáðåòåïè0 и отк1в!тий

113035, Моск!и!, )К-35, Ра ешскаи паб,,;l. 4, 5

Типографи!!, f!p Сапунова, 2

1. Криогснн1,ш конденсационнын насос, содержаlfflfi! i; 1з1!сн!ениу!о вимтрlf гс, Iисвого сосуда 1, юара камеру, в которуlo введен Bcl куумировод, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени достижения предельного вакуума, участок вакуумировода, расположенный внутри камеры, выполнен из высокотснлопроводного материала, например ! еди, 11 зак,11oчеи в 1 о)! х с ваку мной изо .1 Я1 IICII.

2, Насос Ilo II, 1, от Ill÷ающнйся тем, что, с пель о уменьшения рас:01да гелия, участок вакуум провода, расположенный 3а пределами камеры, помещен в сосуд с жид ким азотом

3. IIBcoc Ilo и. 1, 0òë lf ч а к1 щ ll и с я Teil, ITo камера герметично соединена с кожуком в зон!с горловины гелисио10 сосуда.

Источники 1шформацllli, нринятыс во внимание ири экспертизе:

1. Патент Англии ¹ 1170824, кл. Г 1М, 1967, 2. Журнал тс:снической физ;1ки Л о 7,,1., «1-1аука» 197 1, с. 1528 — -1530