Проекционный объектив

Проекционный объектив

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (») 547706 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) ЗаЯвлено 29.07.75 (21) 2163403/10 (а) М. Кл.

G 02 В 9/64

G 02 В 13/24 с присоединением заявки №

Государственный номнтет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

{23) Приоритет (43) Опубликовано 25.02.77. Бюллетень №. 7 (53) УДК

535. &24.2 (088.8) (4б) Дата опубликования описания 12.07.77 (72) Авторы изобретения

Э. С. Гуревич, Л. Н. Казаченок и В. М. Новиков (71) Заявитель (54) ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКГИВ

20

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к проекционным объективам, и может быть использовано в микроэлектронике как объектив фотоштампов и фотоновторителей.

Известны проекционные объективы для фотоштампов и фотоповторителей, содержащие шесть компонентов и диафрагму, размещенную между вторым и третьим компонентами (1). Этот объектив имеет недостаточную разрешающую способность.

Наиболее близким к предлагаемому является объектив, содержащий две группы линз с размещенной между ними диафрагмой, первая из кото. рых состоит иэ двух компонентов, один из которых — склеенный мениск, обращенный вогнутостью к диафрагме, а вторая группа линз состоит из положительного склеенного мениска и двух одиночных положительных линз, за которыми установлен менисковьй компонент, обращенный вогнутостью к плоскости изображения (2).

Недостатком этого объектива является малая апертура, что не позволяет получить элементы модуля с-размером менее 1 мкм.

Цель изобретения — увеличение разрешающеи способности.

Поставленная цель достигается тем, что первая группа лннэ снабжена отрицательным мениском, обращенным вогнутостью к плоскости предмета и установленным перед первым компонентом, выполненным в виде двояковыпуклой линзы с фоку ным расстоянием, превышающим в два раза фокус. ное расстояние объектива, а менисковый компонент второй группы, рассположенный 1тозади двух положительных линз, выполнен двухсклеенным, положительным, с фокусным расстоянием, равным фокусному расстоянию объектива, причем фокусное расстояние первой группы линз в десять раз ïðåвышает фокусное расстояние второй группы линз, а расстояние между ними равно 0,2 фокусного расстояния всего объектива.

На чертеже представлена оптическая схема предложенного проекционного объектива.

Объектив содержит две группы линз 1 и 2 и расположенную между ними диафрагму 3. Группа линз 1 содержит одиночный отрицательный ме-ниск 4, одиночную положительную линзу 5, поло-, жительную 6 и отрицательную 7 линзы, образующие двухсклеенный мениск 8, обращенный вогнутостью

547706

5 b

15 15 16

7 3 10 11

12 Ъ

Ъ

bE

Со

Составитель С. Коврина

Техред А. Богдан

Корректор Е. СкУчка

Редактор Т. Иванова

Заказ 875/98

Тираж 628 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент™, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 к диафрагме 3. Фокусное расстояние линзы 5 превышает в два раза фокусное расстояние объектива.

Одиночный мениск 4 расположен на расстоянии, равном половине фокусного расстояния объектива, от линзы 5.

Отрицательный мениск 9 обращен вогнутостью к диафрагме 3 и склеен из отрицательной 10 и положительной 11 линз, показатели преломления которых не ниже 1,6 и модуль разности показателей преломления не превышает 0,045.

Далее установлены одиночные положительные линзы 12 и 13, причем линза 12 выполнена из флюорита и имеет фокусное расстояние, равное 1,35 фокусного расстояния всего объектива, и толщину 0,55 фокусного расстояния объектива.

Полом тельный мениск 14 с фокусным расстоянием, равным фокусному расстоянию всего объектива, обращен вогнутостью к иэображению, и склеен из положительной 15 и отрицательной 16 линз. Линза 15 выполнена из сверхтяжелого крона и имеет толщину, равную 0,3 фокусного расстояния объектива. Линза 16 выполнена иэ тяжелого флинта. Фокусное расстояние группы линз 1 превышает фокусное расстояние группы линз 2 в десять раз, а расстояние между ними составляет 0,2 фокусного расстояния всего объектива.

Предложенный объектив имеет фотографическое разрешение до 0,6 мкм на всем поле диаметром 3 мм и увеличение — 0,1, задний отрезок

Ф увеличен до 6 мм при длине от плоскости предмета . до плоскости изображения 400 мм.

Формула изобретения

Проекционный объектив содержащий две группы линз с размещенной между ними диафрагмой, первая из которых состоит из двух компонентов, один из которых — склеенный мениск, обращенный вогнутостью к диафрагме, а вторая группалинэ состоит из положительного склеенного мениска и двух одиночных положительных линз, за которыми

1О установлен менисковый компонент, обращенный вогнутостью к плоскости изображения, о т л ич а ю щи и с я тем, что, с цель увеличения разрешающей способности объектива, первая группа линз снабжена отрицательным мениском, обращенным вогнутостью к плоскости предмета и установленным перед первым компонентом, выполненным в виде двояковыпуклой линзы с фокусным расстоянием, превышающим в два раза фокусное расстояние объктива, а менисковый компонент второй О группы, расположенный позади двух положительных линз, выполнен двухсклеенным, положительным, с фокусным расстоянием, равным фокусному расстоянию объектива, причем фокусное расстояние первой группы линз в десять раз превышает фокусное расстояние второй группы линз, а расстояние между ними равно 0,2 фокусного расстояния в сего объектив а.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: о

1. Авторское свидетельство Р 486298, М.Кл

G 02 В 9/64, 1973.

2. Авторское свидетельство N 333525, М,Кл

G 02 В 9/64, 1971 (прототип).