Способ изготовления твердотельного электрохромного устройствп

Способ изготовления твердотельного электрохромного устройствп

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

с сеюзндоо итинтщ

4 л ет тн(ОЙ М Е (i) 548136

Союз Советских

Социалистическин

Республик (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 22.12.75 (2) ) 2197452/26-25 с присоединением заявки № (51) М. Кл, СО2 Г1ЫЗ (23) Приоритет

Гооудоротвенньй квинтет

Соввто Мнннотров ИСР оо делам ноооратоннй н открытнй (43) Опубликовано 30.08 785юллетень ¹ 82 (45) Дата опубликования описания 14.07.78 (53) УДК 535.8".659. 135(088.8) (72) Авторы А. Р. Лусис, Я. К. Кпявинь, Т. В. Замозцик, Ю. Л. Лагзцонс, изобРетЕ иЯ О. А. Ропе я. я. П ннис

Латвийский т"осуцарственный университет им. Петра Стучки

{7)I) Заявитель (54) СПОСОВ ИЗГОТОВЛКНИЯ ТВН ДОТЯЛЬНОГО

ЗЛЕКТРОХРОМНОГО УСТРОЙСТВА

Изобретение относится к способам из-> готовпения. электрооптических устройств, в час тиос ги, э не к трохромных.

Известны эпекгрохромные устройства, изготовленные в вице кристаллической пластины, состоящей из галогеницов щелочных металлов, на которую напыпены эпектроцы из металлов ипи полупровоцниковых веществ (1)

Наиболее близким к описываемому изоб- в ретению по технической сущности и цостигаемому результату является способ изготовления тверцогепьного электрохромного устройства путем нанесения термическим испарением в вакууме на прозрачную электропровоцящую поцпожку эпекгрохромного материала, изолятора и верхнего эпектроца (2j .

Оцнако без специального выбора режимов нанесения эпектрохромного материала, изолятора и верхнего эпектроца невоз можно обеспечить наилучшее бысгроцействие электрохромного устройства.

Пель изобретения — созцание электрохромного устройства, в котором увеличе- 25 на скорость окрашивания и обесцвечнвания слоя электрохромного материала.

Эта дель цостигается тем, что эпект рохромный материал (например 4fO> оо 33

Мо Оз ) испаряют при 1400-1800 С

m цавлении осц точных2газов в вакуумной камере 5 lO — 10 мм рг.cr. из поцочки тугоппавкого металла (вольфрам, мопибцен, тантал), прн этом температура прозрачной элекгропровоцящей поцпожки о

190-210 С, после этого изолятор (М тР, CQ Г ) испаряют в вакуумной камере из лоцочкй тугоппавкого металла при 1400о

15® С при4цавлении остаточных газов

10 — 10 мм рт.ст., при этом температура прозрачной элекгропровоцящей поцо ложки 140-200 С. Наконец, нац слоем изолятора наносят верхний электрол, например из золота. Золото испаряют при 1500о

1600 С и цавлении остаточных газов в вакуумной камере 10 — 5 10 мм рт. ст. из молибценовой ипи вольфрамовой лоцочки, при этом температура прозрачной эпектропровоцящей поцложки 1 30180 С.

3 5481

Таким способом полу .«ен.- устройство, B о ором испопьзуется АО в качестве эпектрохромного материапа, Я Г в качестве изопятора, Аи. в качестве верхнего эпектроца и стекпянная ппастинка, покрытая споем окиси инция в качестве е

5 прозрачной апек тропровоцящей поцпожки. .:- .à, спое.,» окиси инция наносят спой ф О,,;: в:.куумной камере при цавпении

ocãàòî÷Hûê газов 6 10 мм. рт.ст. способом "взрывного" испаовения из мопибцено- во.":. попо- ки при 1700 С; при этом темпе ратура прозрачной эпектропровоцящей поцпожкп 2С:0 C. Нац споем 5fO наносят слой ,. 4„-гГ„ :спарением в вакуумной кдмере при

-аЭ яви енин остаточных газов 5 10 ммрт. ст., из мопибценовой поцочки при 1400 С.

При этом температура прозрачной эпекто ропровоцящей поцпожки 19О С. Поспе этогс наносят слой зопота испарением в вакуумной камере при цавпении остаточных газов 2.10 мм рт,ст. из мопибценовой поцочки прч 1550 С, при этом температура прозрачной энектропровоцящей поцпожки 160 С. Топщина споя 1ФО 1 мкм, споя М@Г - 0,06 мкм, споя зопота—

0,04 мкм. Твер цотепьное эпектрохромное устройство, изготовпенное описанным способом, имеет времена окрашивания и обесцвечи.вания поряцка 100 мс. зо

Формупа изобре тен ия

Способ кзготовпения тверцотецьного эпектрокр i 1нс."о устройства путем нанесе иия термическим испарением в вакууме на прозрачную эпектропровоцяшую поцпожку эпектрохромного материапа, изопятора и верхнего эпектроца, о т и и ч а ю— шийся тем, что, с цепью увеличения скорости окрашивания и обесцвечивания споя эпектрохромного материапа, поспец о ний испаряют при 140O - 1800 С и цавпении остаточных газов в вакуумной камере i5 "10 — 10 мм рт.ст., температуру прозрачной эпектропровоцящей поцпожки при нанесении эпектрохромного материапа поццерживают в прецепах 190210 С, изопятор испаряют при 1400= о

150О С и цавпении ос аточнь с газов в вакуумной камере 10 —. 10 мм рт.сг.-, температуру прозрачной эпектропровоцящей поцпожки при нанесении слоя изопятора о поццерживают в прецепах 140-200 С, материап верхнего эпектроца испаряют при о

1500-16OO С и цавпении оуаточных,газов в вакуумной камере 10 — 5 lO мм рт.ст., температуру прозрачной эпектропровоцящей поцложки при нанесении верхнего эпектроца поццерживают в прецепах 130180 С.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент ФРГ № 1036388, кп. 21 g 4/07, 1967.

2. Патент США № 3521941, кп. 350-160, 1970.

Составитель Н. Решетников

Рецактор Т. Копоццева Техрец И. Климко Корр ек тор А. Кра вче нко

Заказ 4966/1 Тираж 621 Поцписное

БНИИПИ Госуцарственного комитета Совета Министров СССР по цепам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., q. 4/5

Фипиап ППП "Патент, г. Ужгороц, уп. Проектная, 4