Стекло

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 24.07.75 (21) 2159959/33 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 05,03.77. Бюллетень № 9 (45) Дата опубликования описания 25.05.77

Союз Советских

Социалистических

Республик (1 Ц 5494 35 (51) М. Кла

С 03 С 3/IO

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК

666.112.4 (088.8) (72) Авторы изобРетения Б.В. Тарасов, Э.Н. Каплина, Г, И. Артамонова и B.H. Нырчеов (71) Заявитель Государственный научно-исследовательский институт стекла (54) СТЕКЛО

Изобретение относится к составам легкоплавких стекол, которые могут быть использованы в качестве изолирующих покрытий в полупроводниковой и радиоэлектронной промышленности.

Известен состав стекла применяемый в полупроводниковой промышленности, включающий

РвО, SiO> ВгОз, А1гОз, ZnO, MgO (11.

Указанное стекло имеет сравнительно высокую температуру плавления (640 С) и коэффициент термического расширения не более 60.10 7 1/ С, lp вследствие чего невозможно его нанесение на керамическую подложку с намыленным алюминиевым рисунком. Оно также нестойко к растворам кислот при нормальной температуре.

Наиболее близким к изобретению по техничес- 15 кой сущности и достигаемому результату является стекло, включающее РвО, S10г, В Оз, А)г p„

Rz0(2).

Недостатком указанного стекла является сравнительно высокий коэффициент термического рас- го ширения (90 — 100) ° 10 1/ C;

Целью изобретения является создание стекла со следующими свойствами: — температурой плавления не более 600оС; хб — коэффициентом термического расширения порядка (70 — 80).10 1/ C, — диэлектрической проницаемостью 8 — 10.

Эта цель достигается тем, что, в стекло,включающее РвО, SiOz, Вг Оз, А1гОз, йагО, КгО,допол. нительно введены ZnO, CuO при следующем соотношении указанных компонентов (в вес. %):

SiOг 27 — 31

Вг Оз 5 — 10

А г Оз 2 — 7

1Чаг О 1 — 5

КгО 1 — 5

Zn0 1 — 6

Си О 1 — 5

PbO Остальное.

Стекло указанного состава обеспечивает изолирующее покрытие толщиной 5 — 40 мм с пределом прочности стекла с подложкой 100кг/см .

Стеклянное покрытие химически устойчиво к травителю алюминия — смеси СНз СООН, HNOq Нз Р04 кислот.

В качестве сырьевых материалов для варки стекла используются: окись свинца, борная кислота, фтористый алюминий, азотнокислый натрий, 549435 марки "4" или "х4". Конкретные составы стекол приведены в таблице.

Состав стекла, вес. %

Компоненты

57

48

59

31

27

29

$iог

8,5

Вг Оз

Д г - з

ZnO

1,5

Nag 0

1,5

КгО i,5

Си О понижения коэффициента термического расширения, оно дополнительно содержит ZnO и СиО при следующем соотношении ингредиентов (в вес. %):

Источники информации, прчнятые во внимание при экспертизе:

1, Автор жое свидетельство У 231762, кл С 03 С 3/10, 1967.

2, Авторское свидетельство по заявке

N 2138037, кл. С 03 С 3/10, 1975 /прототип) .

Составитель Г. Буровцева

Техред М. Левицкая

Корректор И. Гоксич

Редактор И. Квачадзе

Заказ 352/118

Тираж 592 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Рмушская наб., д, 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 азотнокислый калий, гель кремневой кислоты, окись цинка, окись меди. Сырьевые материалы

Указанные стекла имеют следуюп1ие характерисТемпература варки, С 1000 — 1100

Температура плавления, С 580--600 30

KTP (20 — 300) (70 — 80) ° 10 7 1/град

Химстойкость (кипячение 5мм в смеси кислот), мг/дмг 0,2 диэлектрическая проницаемость 8 — 10 3S

Указанные стекла относятся к типу изолирующих и могут применяться в радио - и электронной промышленности, Формула изобретенчя

Стекло, включающее РвО, $10г, ВгОз, AI 03, 1чагО, КгО, отличающее ся тем, что, с целью

$iOz

Вг Оз

А40з аг О

Кго

ZnO

СиО

РЬО

27-32

7 — 10

2 — 7

1 — 5

1 — 5

1 — 6

1 — 5

Остальное.