Устройство для дозирования

Устройство для дозирования

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

-Ф .-"i

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ,1 F11 552513

Союз Слветсник

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 04.04.75 (21) 2120028/10 (51) М. Кл. С 01F 11/28 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.03.77. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 15.04.77

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 66.028(088.8) пе делам изобретений н открытий (72) Авторы изобретения

А. А. Новичков, В. В. Морозов и Л. И. Гришин (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОЗИРОВАНИЯ

Изобретение относится к области дозирования жидких и вязких продуктов и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Известны дозирующие устройства, содержащие расходную емкость с магистралями подачи давления и жидкости, а также дозирующий узел с заторными элементами.

Наиболее близким к изобретению является устройство, содержащее герметичную расходную емкость, магистраль подачи рабочегодавления.

Для такого устройства характерны отсутствие всасывания остатков жидкости на выходе и невысокая надежность.

Известно также устройство для дозирования фоторезистора, состоящее из герметичной расходной емкости с крышкой и входным штуцером, дозирующего пневматического клапана, форсунки. Оно управляется программным устройством. Фоторезистор заливается в расходную емкость и все время находится под определенным давлением воздуха, поступающего через входной штуцер. При открывании дозирующего клапана фоторезистор подается из расходной емкости через форсунку на полупроводниковую пластинку. Далее идет процесс центрифугирования.

После дозирования на конце форсунки остается капля фоторезистора. Отрываясь от форсунки, капля попадает на уже нанесенный слой фоторезистора и приводит к браку на данной операции.

Цель изобретения — повышение точности и

5 надежности дозирования.

Это достигается тем, что магистраль подачи давления выполнена в виде введенного в верхнюю воздушную полость расходной емко10 сти патрубка с отогнутым вверх свободным торцом, над которым в крышке расходной емкости выполнено большего диаметра отверстие с запорным клапаном, связанным через программное устройство с дозирующим кла15 паном выхода.

На чертеже показана схема устройства для дозирования.

Устройство для дозирования состоит из рас20 ходной емкости 1, дозирующего клапана 2, форсунки 3, крышки расходной емкости 4, входного патрубка 5, запирающего клапана 6.

Устройство работает следующим образом.

В расходной емкости 1, заполненной фото25 резистором, постоянно поддерживается давление Р1 очищенного технологического газа, например азота, поступающего через патрубок 5, при этом отверстие 7 в крышке 4 перекрыто запирающим клапаном 6, а отверстие форсун30 ки 3 закрыто дозирующим клапаном 2.

552513

Формула изобретения 2

Составитель Б. Херсонский

Техред А. Камыгиникова Корректор Л. Брахнина

Редактор С. Заика.Заказ 689/24 Изд. М 304 Тираж 899 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, К-35, Раушская паб., д. 4/5

Типографии, пр. Сапунова, 2

При подаче воздуха под давлением Р2 в дозирующий клапан 2 открывается отверстие форсунки 3, и фоторезистор под действием давления газа Р1 поступает через форсунку, По окончании процесса дозирования запирающий клапан 6 срабатывает и открывает отверстие 7. Технологический газ через патрубок 5 и отверстие 7 поступает в атмосферу, при этом за счет эжекции газа создается разряжение в расходной емкости 1, подача фоторезистора прекращается, оставшаяся капля 8 фоторезистора втягивается через форсунку в расходную емкость. После этого последовательно закрываются дозирующий клапан 2 и запирающий клапан 6 и в расходной емкости создается избыточное давление Р .

Устройство для дозирования, содержащее герметичную расходную емкость, магистраль

5 подачи рабочего давления, дозирующий клапан и форсунку, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и надежности, магистраль подачи давления выполнена в виде введенного в верхнюю воздушную полость

10 расходной емкости патрубка с отогнутым вверх свободным торцом, над которым в крышке расходной емкости установлен запорный клапан, связанный через программное устройство с дозирующим клапаном выхода, 15 причем проходное отверстие запорного клапана выполнено с диаметром большим, чем диаметр выходного отверстия патрубка.