Турбомолекулярный двухпоточный насос горизонтального типа

Турбомолекулярный двухпоточный насос горизонтального типа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(zs) Я (и) 552823 А1 (51) 5 F04D19 04

IAJI

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК.

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР)

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2144568/06 (22) И06.75 (46) 30.1093 Бна Ne 39-40 (У5) Черный ВЯ„Доброхотов Л,В„Гальперин БГ:, Мелюхов ВП (73) ЦКБ машиностроения

{54) ТЯ БОМОЛППЛЯ НЫЙ ДВИаотОЧНЫЙ НАСОС ГОРИЗОНТАЛЬНОГО ТИПА

552823

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен турбомолекулярный насос, содержащий корпус с патрубком, по оси которого расположен ротор. В нижней части корпуса насоса имеются значительные поверхности, не используемые при работе насоса.

Известен также турбомолекулярный двухпоточный насос горизонтального типа, содержащий корпус с центральной сферической частью, имеющей входной патрубок, и сопряженными с ней с противоположных сторон цилиндрическими частями, по оси которых установлен ротор.

Такой насос является наиболее близким к предлагаемому изобретению по технической сущности и достигаемому результату.

Однако и в этом насосе велики неиспользуемые поверхности, и, кроме того, он сложен в изготовлении.

Цель изобретения — уменьшение габаритов насоса, Зто достигается тем, что в предлагаемом насосе сопряжение сферической и цилиндрических частей корпуса выполнено по встречно наклоненным под острым углом плоскостям и центр сферической части расположен выше оси ротора.

На фиг. 1 схематически изображен предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг. 2 — вид по стрелке А на фиг, 1; на фиг.

3 — насос в аксонометрии, общий вид.

Предлагаемый турбомолекулярный двухпоточный насос содержит корпус с центральной сферической частью 1, имеющей

Формула изобретения

ТУРБОМОЛЕКУЛЙРНЫЙ ДВУХПОТОЧ- 40

НЫЙ.НАСОС ГОРИЗОНТАЛЬНОГО ТИПА, содержащий корпус с центральной сферической частью, имеющий входной патрубок, и сопряженными с ней с противоположных сторон цилиндричвски- 45 входной патрубок 2, и сопряженными с ней с противоположных сторон цилиндрическими частями 3 и 4, по оси которых установлен ротор 5, Сопряжение сферической 1 и цилиндрических 3 и 4 частей корпуса выполнено по встречно наклоненным под острым углом а плоскостям 6 и 7, и центр сферической части 1 расположен выше оси ротора 5.

На цилиндрических частях 3 и 4 корпуса

10 размещены электронагреватели 8 и 9 и патрубки 10 и 11 для подачи продувочного воздуха.

В результате того, что площадь входа сферической части 1 постепенно уменьша"5 ется от верхней части к низу корпуса и в нижней части его близка к нулю, что в точности соответствует распределению входного газового потока в этой части насоса, поверхности входа минимальны. Следова20 тельно, загрязнение этой части насоса от газовыделений иэ стенок минимально.

Кроме того, все сварные швы легко доступны, и поэтому их качественное исполнение и тщательная зачистка не представляют

25 трудности, что способствует высокой вакуумной гигиене в корпусе насоса.

Благодаря тому. что центральная часть корпуса выполнена сужающейся книзу, внутри него можно установить большее ко30 личество дисков, при этом на цилиндрических частях 3 и 4 свободно размещаются нагреватели 8 и 9 и патрубки 10 и 11 для подачи продувочного воздуха. Зто позволяет уменьшить габариты насоса беэ измене35 ния производительности. ми частями, по оси которых установлен ротор, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов, сопряжение сферической и цилиндрической частей корпуса выполнено по встречно наклоненным под острым углом плоскостям и центр сферической части расположен выше оси ротора.

552823

Корректор Е;Папп

Производственно-издательский комбинат."Патент", г. Ужгород„ул. Гагарина, 101

Редактор О,Колоскова

Заказ 3187

Составитель .

Техред М..Моргентал

Тираж Подписное

НПО "Поиск" Роспатента

113035. Москва, Ж 35, Раушская наб., 4/5