Вакуумная камера

Вакуумная камера

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советским

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свид-ву— (22) Заявлено зао1.75 (21) 21о1огб/об с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано 2 0577. Бюллетень № 19 (45) Дата опубликования описания,201077 (51) М. Кл.Я

F 04 В 37/02

Н 01 Э 7/18

Геердаретненнын намнтет

Салата Мнннетрае GCCP на делам неабретанн1 н вткрытнй (53) УДК б21.528.3 (088 ° 8) (72) Авторы изобретения В . и . Бондаренко, ю . A. Захарченко н е. A . .Таранов

Физико-технический институт низких температур

АН Украинской ССР (71) Заявитель (5 4 ) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известна вакуумная установка, содержащая испаритель геттера, охлаждаемую сорбционную поверхность, располо- 5 женную между нспарителем и о,качиваеьым объемом.

В известной установке загрязнение рабочего объема геттером вследствие наличия вторичного излучения, возника-то ющего в результате рассеивания молекул при нх взаимных столкновениях.

Известна также вакуумная установка, содержащая герметичный корпус н подвижный охлаждаемый сорбционный элемент.5

Данная установка является наиболее близкой к изобретению.по технической сущности и достигаемому результату.

Однако нз-за ограниченной пропускной способности молекул газа через ох-ЯО лаждаемый экран и сорбционный элемент эффективность откачки, невелика.

Целью настоящего изобретения является повышение чистоты создаваемого вакуума. 25

Для этого сорбционный элемент. установлен с торца корпуса и с внешней стороны снабжен охлаждаеемтм экраном, в нише которого расположен испаритель геттера. 80

На чертеже изображен продольный раз-. рез вакуумной установки.

Вакуумная установка содержит герме" тнчный корпус 1 н подвижный охлаждаемый сорбционный элемент 2, который установлен с торца корпуса 1 и с внешней стороны снабжен охлаждаеьым экраном 3, в нише которого расположен испаритель

4 геттера. В корпусе 1 установлены также экран 5 и контактирующий с экранами

3 н 5 сосуд б для хладагента, в кото--pose расположен насос 7 для откачки инертных газов.

В корпусе 1 создается разрежение с помощью вспомогательного насоса (на чертеже иа доказан). По достижении некоторого давления (10 — 10 тор) охлаждаеьые экраны 3 и 5 и являющийся нх частью сосуд б заполняются жидким азотом, после чего начинается распыление геттера включением испарителя 4, Распыленный геттер осаждается в виде тонкой пленки на элементе 2, непрерывно перемещающемся из зоны распыления в рабочий объем. При этом за счет теплового контакта со стенками сосуда б элемент 2 и. нанесенный на нем слой геттера охлаждаются и последний начинает активно поглощать молекулы газа, нахо559037

Составитель О.Тишина

Р ак P.Ï нам Те е Н.Бабурка Ко екто П.Макаревич

Заказ 1467/89 Тираж 867 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретениЯ и открытий

113035 Москва Ж-35 Ра ская наб. . 4 5

Филиал ППП Патент . r. Ужгород, ул, Проектная, 4 дящнеся в рабочем объеме установки. Од. новременно с откачкой геттером основных газовых составляющих воздуха происходит адсорбция инертных газов насосом

7, запуск которого в связи с медленным охлаждением сорбционного материала несколько запаздывает по сравнению с началом распыления геттера, что дает воэможность полнее испольэовать сорбцион,иую емкость насоса для откачки инерт- щ ных газов. Высокая чистота создаваемого вакуума в установке обеспечивается отделением зоны распыления геттера от рабочего объема узким и длинным каналом изогнутой форьк, образованным охлажденными поверхностями экрана 3 и сорбционного элемента 2.

Формула изобретения

Вакуумная установка,- содержащая герметичный корпус и неподвижный охлаждаемяй сорбционный элемент, о т л ичающая с я тем, что, с целью повышения чистоты создаваемого вакуума, сорбционный элемент установлен с торца корпуса и с внешней стороны снабжен охлаждаемым экраном, в нише которого расположен испаритель геттера.