Способ измерения скорости испарения веществ в вакууме

Способ измерения скорости испарения веществ в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

, i ij 56000

Союз Советских

Социалисти()еских

Республик (61) Дополнт(тсльпос к авг. спид-ву (22) Заявлено 24.03.75 (21) 2122318 25 (51) (1. 1:,л. - С 23С 13j00 с присоединением заявки Ле

Гасударственным ноынтет

Саввта Ммнмстроа С(,:р аа делаы нзооретеннн н Ртхоьтнн (23) Приоритет

Опубликовано 30.05.77. Бюллетень ¹ 20 (53) УДК 621.359.4 (088.8) Д2T2 0)!3 бгп!ЯО!32!!Пя Описаппя 22.0).7) (72) Автор изобретения

П. Н. Гольфенц).гейи (11) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ ИСПАРЕНИЯ

ВЕЩЕСТВ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к получению тонких пленок в вакууме, точнее к способам измерения динамических параметров в процессе испарения материала и получения пленок.

Известен способ измерения скорости испарения (11, основанный иа измерении тока )i2сыщения положительных ионов с помощью разделения положительно и отрицательно заряженных потоков во всем паровом обтсмс.

Этот способ требует примспс)(пя высоких папряжепий, которые оказывают сушсств())по влияние на стехиометричсский coc);i!; то)!кой пленки.

Наиболее близким техпи !секим рсл)(н: (м к изобретению является способ и:)мср(п)гя скорости испарения всгцеств в вакууме лnc )C lc;— вом измерения тока термоэлсктроппой эмиссии испаряемого вещества 12).

Этот способ ие обеспечивает достаточпой точности измерения скорости испарения в вакууме веществ, частично диссоципров2)IHLli il расплаве (например, твердых электро(и!то» типа RbAg

Цель изобретения — повып:спис точности измерения скорости испарения в вакууме веществ, частично дпссоципроваппы 13 расплаве, при одповрсмсппом сохраисппп стсхиомстР И И П,1 С И !(И 110 O Т 1101! I P i! l! !O К 1! С П 2 Р Я С М 0 М М B Cществу.

Это дocòi!ãàåòñH тем, что поток испаряющихся !астиц модулпрустся псрсмснпым электрическим полем и пзмсрястся амплитудное зп2÷åíèå частотно-модулированного тока иасышспия электродов) эмиттироваппых повер. (остью испарения.

Апа Iilз 130.11)ò-2. )lпсрпь<х кар()ктсрпс Гик пj))i

1!сп 2 f) 1lïè р ассм а три ва с. )i ы. 13(1!Icст13 ПО!(2зь!— !

32с 1, ITo 1 О! ilil сьlп((и)! 51 э1()к 1 f)o}lo)3 )12 ()л10Д2 СTС 51 . I f)! i 1(I)З Кll. i;)1!,) 1):31(! I!15! Х (!)Оf) H;(К;1 ! 00 —:200 В), 1 12

11(2 !! Шl li li р(<д, i 2! ;1 < )101 О С)10(0 б<1. .),ат 1)!и l3l(i1!О !;! T !3 сс051 ти) сль 1 с испар51c мы м вспlcст130м. !х поьt р .1!Ост!! Пcпарcпl!я по,(водят проволочный электрод (катод) 2.

Тигель обхватi»3;)cTc5! цилиидрп !сской сет - () кой 3 II цплппдри )сски3! ко1.1сктором 4 отрицатсльпo заря,кс:! !ых частиц (2)10$0 1).

От рсгулпрусмого источника 5 постоянного

11 1 ill) 51)1 си и 5) I!Ри к(пl 11>)132 0 . (. Я )l ап," и ж си и с мсЖ Д т ) 0 В (f) Õ C O C : >10 П С 1 2 f) () l i i l 5! П !. O Л.1 (1:. ТО Р О М, "0C1 )ТО) ПОC Д 51 ГOi)3 1(CC;)!и 10!(;! !!()СЬIП!(ППЯ

- л l тронов.

O T I i C 10 1 П И 1 ); > () i (. 1> Ь) С О К !1 Х 1! ) П ), 1 Ь 0 11 Ь) Х

ПРЯЖС:111:! . )СЖ..Г )!O:3 j) ),H()C) 1))0 I!CLl < Р()111 и 1!

ССТКО); П ПИК,I)H;!(! СЯ 1)2:1()ЯЖ(illl(. С I;)CТО Oi1 ) ()! <» il j) Я Жсilllc ) <) (. к(l I l(11) . Э ГО I! <) Ii )) и Ж(560006

Составитель А. Лобанов

Тскред Л. Брахнина Корректор Л, Брахннна

Редактор И. Грузова

Заказ 1469/12 Изд. М 512 Тираж 1130 Подписное

1!НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР

llo делам изобрсзсиий и открь,тий

113035, Москва, iK-35, Рау:искал ииб., д. 4, 5 типографии ир. С; иуиоии, 2 ние модулирует электронный поток по истоте и слабо влияет на поток тяжелых отрицательных ионов и комплексов. 1-1а нагрузо гном сопротивлении 7, включенном в анодную цепь, при помощи измерителя 8 амплитудного значения переменной составляющей, измеряют амплитуду напряжения на частоте (, пропорциональную току насыщения электронной составляющей. Это значение и определяет с орость испарения вещества, так как является функцией величины поверхности испарения и температуры.

Формула изобретения

Способ измерения скорости испарения веществ в вакууме посредством измерения тока термоэлектронной эмиссии испарясмого вещества, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения скорости испарения в вакууме веществ, частично дпссоциированных в расплаве, при одновременном сохранении стехиометрии пленки по отношению к испаряемому веществу, поток испаряющихся частиц модулируется переменным электрическим полем и измеряется амплитудное значение частотно-модулированного тока насыщения электронов, эмиттированных поверхностью испарения.

Источники информации, принятые во внимание прп экспертизе:

1. Лвт. св. ¹ 328215, кл. С 23с 13/00, 15 12 11 1971, 2. Авт. св. ¹ 297303, кл. С 23С 13/00, 14. 12. 1970.