Зондовая головка для устройства контроля

Зондовая головка для устройства контроля

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

1Щ 560372

СО©й Сов этсини

С01>,ИВД11гтИЧЕСКИХ

Р Яс и $ áII?4 и

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ, ФфЪ ф, (G1) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлсно 1!.06.75 (21) 2143528/21 (51) М КII Н 05К 1/04 с присоед11неш1см заявки Хе вцрвРвтвеннв1й ивмитвт

Саввта Министров СССР ие делам изо5ретаней и втнРв1тий (23) Приоритет

Опубликовано 30.05.77. Бюллетень >Ь 20

Дата опубликования описания 13.07.77 (53) УДК 621.315.684 (088.8) (72) Авторы изобретения

Г. А. Мокеров и В. И. Бучин (71) Заявитель (54) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА ДЛЯ УСТРОЙСТВА КОНТРОЛЯ

Формула изобретения

Изобретение относится к радиотехнике и может использоваться в устройствах контроля и измерения микросхем.

Известны зондовые головки для устройств

IcoIITpoJIsi, содер>каlцис элясти 1ное Основание с закрепленными на нем контактами, при>кимаемыми к контактным площадкам микросхемы (1).

Однако при малом расстоянии между контактами площадь их незначительна, и поэтому трудно обеспечить необходимое контактное давление, так как оно зависит от площади контакта.

Цель изобретения — обеспечение надежности контактирования при уменьшении расстояния метдv контактами.

3Т0 достигается тем, что предлагаемая зондовая головка для устройства контроля снабжена упорами, размещенными с другой стороны эластичного основания над соответствующими контактами с возможностью взаимодействия с механизмом прижима.

На фиг. 1 и 2 изображена предлагаемая зондовая головка (разрез по А — А и вид сверху); на фиг. 3 — разрез по Б — Б на фиг. 1.

Зондовая головка для устройства контроля содер>кит эластичное основание 1 в виде фольгированной пленки, на нижней стороне которой размещены контакты 2 и проводники

3, упоры 4, расположс,нные на верхней сторо нс эластичного основания 1 над соответствуlo!l;1!. !il контактами 2, закрепленные па ocsix

5, Ilлспочную мембрану 6, столик 7, штуцер

8, упло,няющую прокладку 9.

Предлагаемая "-ондовая головка работае след, ющl!. I образом.

Прн откачкс воздуха через штуцер 8 пл1ночн2s. мембрана 6 под действием атмосфер1ого давления прижимает упоры 4 к пленке

Ос!102211ия 1, Обсспс 1ивяя псобходимос I QIIтактное давлени за счет нажима на соотiicTcTp t 1oIlllili контакт.

Поджим упоров 4 может быть осуществлен также с помощью давления воздуха на мембрану 6 от пнсвмонасоса II;Iil без мембраны с помощью пруж1ш.

Упоры 4 могут быть выполнены в виде пласти1, псремещающихся прямолинейно.

Зондовая головка для устройства контроля, 25 содержащая эластичное основание, на нижней стороне которого размещены контакты и механизм прижима, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения надежности контактирования при уменьшении расстояния меж30 ду контактами, она снабжена упорами, раз560372

А-А

Составитель H. Блинкова

Техред О. Тюрина

Корректор Е. Хмелева

РедакторЕ. Караулова

Заказ 1548/8 Изд. ЛЪ 523 Тираж 1014 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 мещенными с другой стороны эластичного основания над соответствующими контактами с возможностью взаимодействия с механизмом прижима.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авт. св. СССР № 301б24, кл. Н 05К 3/00, 12. 04. 69.