Раствор для избирательного химического травления многослойных металлических структур

Патент 560898

Авторы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11) 5608gg (61) Дополнительное; авт, свнд-ву (22) Заявлено 24.12.74 (21) 2089878/02 с присоединением заявки №(23) Приоритет вЂ” (43) Опубликовано 05.06.77.Бюллетень №21 (45) Дата опубликования описания 08.09.77 (51) М. Кл.е

С 09 К 13/Og//

//С 23 F 1/02

Госуда рствеиный комитет

Совета Иииистроа СССР ао делам иэаоретений и открытий (53) УДК 621 794 4 (088.8) Д.И. Королев, В.В. Лутовинова и В.А. Матнссен изобретения (71) Заявитель (54) РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ СТРУКТУР

Изобретение относится к области химической обработки поверхности металлов, в частности к составам для травления на основе неорганических кислот.

Широко известны растворы для химического травления многослойных структур, содержащие смесь минеральных кислот и различные органические добавки (lj, (2) .

Наиболее близким к предложенному изобретению является раствор для избирательно- lp го травления многослойных металлических структур, содержащий азотную и соляную кислоты, органические добавки (трнлон Б, фенилмочевина, уксусная кислота) и воду.

Однако при вытравливании таким раство- ти ром элементов рисунка в металлической структуре ковар-медь-ковар фактор травления не превышает 1,0, неровность края составляет 0,02-0,03 мм, что не обеспечивает получения годных изделий, например. не- gp обходимых размеров выводных рамок интег- ральных схем.

Целью изобретения является повышение равномерн ости вытравливания элементов рисунка при обработке триметалла ковар-медь-ковар.

Поставленная пель достигается тем, что в качестве органических добавок предлагаемый раствор содержит метафенилендиамин солянокислый и дннатриевую соль,хромотроповой кислоты при следующем соотношении компонентов, весЛ:

Азотная кислота 35-45

Соляная кислота 0,3-1,5

Метафенилендиамин солянокислый 0,01-0, 1

Динатриевая соль хромотроповой кислоты 0,01-0, 1

Вода Остальное.

Для приготовления раствора в расчетное количество воды добавляют необходимые количества азотной и соляной кислоты, после чего в состав вводят при перемешивании органические добавки.

Пример. Выводные рамки интегральных схем со структурой ковар-медь-ковар размером 28х24х0,25 мм травят одновременно с двух сторон в растворах, состав которых и полученные результаты, приведены ниже.

560898

Компоненты

Азотная кислота

Соляная кислота

1,5

0,3

Метафенилендиамин солянокислый

0,05

О, 05

0905,Бинатриевая соль хромотроповой кислоты

0,05

Результаты:

Скорость травления, мкм/мин

Фактор травления

Неровность края травления, мм

40 65

2,0-2 5 2,0-2,5

2,0-2,5

Ое0О2 Ов003 Оэ002 ОЭ003 Ое002 Оэ003

400

400 внутренних выводов внешних выводов

400

Клин травления; мкм

20-2 5

20-25 20-25

Предложенный раствор по сравнению с известными обеспечивает высокое качество травления изделий из многослойных металлических структур ковар-медь-ковар и позволяет практически исключить брак произЗО родства по геометрическим размерам выводных рамок интегральных схем. Кроме того, этот раствор обладает высокой полирующей способностью (чистота обработки соответс гвует 9 классу), исключает шламообразоваЪ5 ванне.

Изобретение может быть использовано при производстве деталей электронной техники е

Раствор для избирательного химического травления многослойных металлических струк.45 тур, содержащий азотную и соляную кислоты, органические добавки и воду,, о т л и ч а юСоставитель А. Рычагов

Редактор Е, Братчикова Техред Н, Андрейчук Корректор Е, Папи

Заказ 1659/138 Тираж 834 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Ширина контактных площадок, мкм:

Формула изобретения

Соотношение компонентов, % вес. шийся тем, что, с целью повышения равномерности вытравливания элементов рисунка при обработке триметалла ковар-медьковар, в качестве органических добавок он содержит метафенилендиамнн солянокислый и динатриевую соль хромотроповой кислоты при следующем соотношении компонентов, вес.7:

Азотная кислота 35-4 5

Соляная кислота 0,3-1,5

Метафенилендиамин солянокислый 0,01-0, 1

Динатриевая соль хромотроповой кислоты 0,01-0,1

Вода Остальное.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.ПатентСША,№ 3702273, кл. 15618, 1972.

2. Коваленко В.С. Справочник "Металлографические реактивы". М., "Металлургия"

1973, с. 59-60.