Устройство для травления фольговых тензорезисторов

Устройство для травления фольговых тензорезисторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Севвтсння

Соцналистнчесииа

Республик

561084 (62) Дополнительное и авт. свид-ву (22) Заявлено 2512.73 (22) 1985332/28 с присоединением заявки Ph— (23) Приоритет(43) Опубликовано0М677 Бюллетень Рй 21 (45) Дата опубликования оннсания 221077

2 (52) М. Кл.

O0 k в 7/20

Гвврррвтвввиыр ввивтвт

Ввввтв Иввввтрвв 6NP вв авив» вввврвтви6 в впрмпр (53) УДК531.781.2

f088. 82

{72) Авторы изобретения

Ю.М.Баэжин и С.О.Львович,.

Научно-исследовательский и конструкторский институт испытательных мамин, приборов и средств измерения масс (7t) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ФОЛЬГОВЫХ

ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ

Изобретение относится к измерительной технике, а именно, к измерениям деформаций фольговыми тензодатчиками.

Известно устройство для травления фольговых теиэореэнсторов, содерЖащее ванну с травильным раствором, в которой осуществляется свободное травпение заготовок тенэореэисторов..11).

Недостатком этого устройства: явля; ется неравномерное травление от аель - 18 иых резисторов, вследствие чего ха рактеристики резисторов одной партий имеют существенный разброс..

Известно также устройотво для травления фольговых тенэореэисторов, со- 18 держащее вращающийся барабан с приводом и уэламн крепления заготовок тензорезисторов и ванну, заполняемую травйльным растворяем, расположенную ниже оси вращеинк барабана 12j. 20

Недостаток укаэанного устройства заключается. в том, что; как и в дру" гих устройствах, разброс сопротивлений тенэореэисторон в одной партии ос. тается существенным. 25

Целью настоящего изобретения является уменьшение разброса сопротивлений тензореэисторов в одной партии.

Это достигается тем, что устройство снабжено травильным валиком, ось З0 которого параллельна оси барабана, а поверхность покрыта носителем травильного раствора, например иэ ткаМого материала, имеет контакт с барабаном но его образующей и частично погружается в раствор, и приводом валика, обеспечивающим его вращение в направлении, противоположном направлению врацения барабана.

Такое устройство обеспечивает проведЕнне процесса травления в условиях трения заготовки и носителя травильного раствора, что приводит к болев равномерному травлению и уменьшению разброса сопротивлений твнэореэнсторов в одной партии.

На чертеже показана схема устройства.

Устройство содержит вращаюав йся барабан 1 с приводом 2 и узлами 3 крепления заготовок тенэорезисторов и ванну 4, заполняемую травнльным раствором, расположенную ниже оси вращения барабана 1. Травильный валик 5, ось которого параллельна оси барабана 1, а поверхность покрыта носителем 6 травижьногб раствора, например иэ тканого материала, имеет контакт с барабаном 1 по его образующей и частично погружается в раствор. Валик имеет при561084

Формула изобретения

Составитель Н. Тимошенко

Редактор О.Иванова Техред М.Левицкая Корректор С.Патрушева

Заказ 1560/147 Тираж 907 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

1l3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная,4 вод 7, обеспечивающий его вращение в направлении, противоположном направле нию вращения барабана. Узлы 3 крепления заготовок тенэорезисторов выполнены в виде зажимов, прнжимающих заготовки к цилиндрической поверхности бар.а.бан.а 1.

Благодаря движению поверхности барабана в про 1своположном направлении относительно поверхности травильного ва. лика раствор выкимается иэ носителя и травление осуществляется по линии контакта барабана 1 и валика 5. Поскольку процесс травления протекает в условиях механического трения, скорость процесса увеличивается в 4-6 раз, 8 а продукты травления эффективно удаляются из эоны травления.

Равномерность процесса обеспечивается идентичностью условий травления для каждой точки поверхности барабана

Кроме того, в случае окончания процесса на определенном участке заготовки скорость бокового подтравлнвания оставшегося пад маской иэображения резко падает, так как этот процесс про- 35 текает уже без трения. При этом разброс сопротивлений тенэореэисторов в партии уменьшается с 20-30% до 5-10%.

Устройство для травления фольговых тензореэисторов, содержащее вращающийся барабан с приводом и узлами крепления заготовок тенэорезисторов и ванну, заполняемую травильным раствором, расположенную ниже оси вращения барабана, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения разброса сопротивлений тенэореэисторов в одной партии, оно снабжено травнльным валиком, ось которого параллельна осн барабана, а поверхность валика покрыта носителем травильного раствора, например из тканого материала, имеет контакт с барабаном по его образующей и частично погружается в раствор, и приводом валика, обеспечивающим его вращение в направлении, противоположном направлению вращения барабана °

Источники информации, принятые во внимание прн экспертизе

1.Авторсоке свидетельство СССР

Ю 143586, кл. Я 01 В 7/20, 1960.

2.Анкудинов Б.Т.,Мамаев К.Н., Малобаэные тензодатчики сопротивления, N. Машиностроение, 1968, с.46.