Держатель для полупроводниковых пластин

Держатель для полупроводниковых пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСЛНИЕ„„

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (61) Дополнительное к авт. свид-sy— (22) Заявлено 28.10.75 (21) 2184670/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (51) М. Кл.е H01 L 21/68

Гасударственный иамнтет

Саветв Миннстрав СССР аа делам изааретений и атнрытий (43) Опубликовано 05 06 77 Бюллететть № 21 (53) УДК 621.382(088.8) (45) Дата опубликования описания 23.09.77 (72) Авторы изобретения

Л. А. Сепорян, Д. Г. Мхитаряи н В. В. Агаджанян (71) Заявитель (54) ДЕРЖАТЕЛЬ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

ПЛАСТИН

Изобретение относится к оборудованию для изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем и может применяться для транспортировки и крепления полупроводштковьтх пластин при выполнении технологических операций.

Известен держатель для пластин, содержащий корпус с направляющими и окном, а также прижимные упругие элементы (1) .

Известный держатель не предохраняет пластины от соприкосновения с их рабочими поверхностями.

Кроме того, установка и извлечение полупроводниковых пластин в известньй держатель может привести к поломке хрупких полупроводниковых пластин, а также быстрому износу направляющих и упругих элементов держателя.

Известен также держатель для полупроводниковых пластин, содержащий корпус с вогнутой опорной поверхностью и прижимные элементы (21.

Полупроводниковая пластина, уложенная в гнездо, контактирует с вогнутой поверхностью гнезда только своими краями. Каждьй прижимной элемент выполнен в виде вогнутой пластины или в виде усеченного конуса, причем его обращенная к полупроводниковой пластине сторона контактирует с центральной частью нерабочей стороны пластины, обеспечивая ее фиксацию.

Известньй держатель предназначен для хранения и транспортировки полупроводниковых пластин и не обеспечивает свободный доступ к поверхностям пластины, подлежащим технологической обработке например при сверлении сквозных отверстий лазерным лучом. Кроме того, в известном держателе невозможно осуществить ориен ицию

10 базового среза пласппты по отношению к поверхности гнезда и укладку пластины с произвольным расположением ее рабочей поверхности, так как в известном держателе рабочая сторона полупроводниковой пластины должна быль обязательно обра15 щена вниз, к дну гнезда.

Цель изобретения — расширение технологических возможностей держателя.

Для этого прижимные зелементы выполнены в виде направленных навстречу друг другу упругих

20 вогнутых крае м пластины.

На фиг. 1 — общий вид держателя с полупроводниковой пластиной; на фиг. 2 — разрез А — А.

Держатель для полупроводниковых пластин содержит корпус 1 с направляющими 2 и окном.З, 25 над которым от направляющих отходят направлен561236

Я-А

Составитель Ю. цветков

Теярсд H. Андрейчук

Редактор Г Петрова! 584/155 Тираж 976 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

) 13035, Москват Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ

Филиал ППП "Патен"", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ные встречно упругие прижимные элементы 4. Поверхности корпуса 1, а также прижимных упругих элементов 4, обращенные к пластине 5, выполнены вогнутыми, чтобы предохранить обе стороны пластины 5 от механических повреждений, так как при прохождении технологического цикла заранее не известно, акая сторона пластйны будет рабочей.

Прижимные упругие элементы 4, направленные встречно, контактируют с противоположным краем пластины 5 и выходят за ее габариты, фиксируя пластину 5 в двух точках по краям.

Деожатель для полупроводниковых пластин работает следующим образом.

Держатель устанавливается в устройство ориентации, толкатели которого отводят концы прижимных упругих элементов, нажимая на них в точках, указанных стрелкой (фиг. 2;. Обеспечивая этим свободную установку и извлечение пластины 5 лыской 6 вниз, после чего толкатели возвращаются в исходное положение, а прижимные упругие элементы 4 держателя за счет упругой деформации надежно фнкаируют алватинр 5 в ориентированном ааааа. янин.

Конструкция держателя технологична, что обес печивает возможность его промышленного изготовления прогрессивными способами — литьем или прессование м из упругих пластмасс.

Формула изобретения

Держатель для полупроводниковых пластин, содержащий корпус с вогнутой опорной поверхностью и прижимные элементы, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что,.с целью расширения технологических возможностей держателя, прижимные элементы выполнены в виде направленных навстречу друг другу

15 упругих вогнутых пластин, контактирующих с краем полупроводниковой пластины.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР Н 440642, G 03 b 23(14, 1972 г.

2, Патент США Р 3 661 253, 206 — 65, опубликованный в 1972 г.