Устройство для зонной плавки

Устройство для зонной плавки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е п1562308

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Сооетских

Ссииалистичесиии

Респу5лии (61) Дополнительное и аВТ. свид-ву— (22) Заявлено 21.01.76 (21) 2316128/26 (51) Ч.Кл.а В 01 1 17/08

В 01 D 9/00

Н 05 В 5/!8 с присоединением заявки— (23) Приоритет— (43) Опубликовано 25.06.77. Бюллетень ¹ 23 (45) Дата опубликования описания 31.08.77

Государственный комитет

Совета Ыииистров СССР по дели иообретоний и открытий (53) УД К 66.065.52 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. Н. Вигдорович, Г. А. Ухлинов и К. H. Неймарк

Московский институт электронной техники (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗОННОЙ ПЛАВКИ

Изобретение относится к металлургии чистых металлов, технологии полупрсводн и ковых материалов и химических соединений и может найти пр именение при зонной плавке различных веществ, особен но апрессивных, взрывоопасных и радиоактивных, требующих абсолютной герметизации процесса, а также препар и рования в глубоком вакууме или при высоком да влени и газо вой среды.

Наиболее близким по теон ичеокой сущности х предложенному устройству является устройство для зонной пла вки фосф ида галлия, содержащее рабочую,камеру и индуктор, служащий для соэда н ия распла вленной зоны и перемещаемый относительно запрузки (ам- 15 пулы) с помощью штока, вводимого в а<амеру через уплотнение (1).

Одна ко у этого усттройства наблюдается невозможность обес печетоия полной герметичности камеры из-за необходимости подвижного ввода. Предлагаемое устройство для зонной пла эки исключает условия негерметичности рабочей:камеры.

Цель изобретения — обеспечение абсолютной гер метичности рабочей камеры, что яв- 25 ляется исключительно важным достоинством устройства при зойкиной плавке разлавающихся, взрывоопасных и àпресси вных .веществ.

Эта .цель достигается тем, что индуктор состоит из нескольких соосно расположенных нагревательных элементов, каждый из которых выполнен в виде последовательно соединенHûõ,äâóx незамкнутых колец — плавилb ного и управляющего, причем плавильные кольца,на,гревательных элементов расположены внутри рабочей камеры, а управляющие вне ее, и внутри управляющих колец ра сположен сердечник, зак р епленный с возможностью геремещения;вдоль их оаи.

Предлагаемое устройство схематически изображено на чертеже. Индуктор 1 состоит из кольца 2, являющегося пла вильным. Его располагают внутри рабочей камеры 8 в обхват загрузки 4. Кольцо б является управляющим. Его располагают вне рабочей ха меры.

Перемычка между кольцами проходит через стенку камеры. Проходные отверстия,соответствующим об разом герметизируют. Вдоль оси рабочей камеры устанавливают несколько таких налревательных элементов на,расстоянии, не превышающем требуемой длины зоны. Движение расплав.тенной зоны осуществляют с помощью сердечника б, . расположенного с возмоиностью перемещения по оси управляющих колец.

Устройство работает следующим образом.

Нагревательные элементы подключаются лараллельно к общему контуру генератора.

Когда сердечник находиться внутри управляющего кольца одно"o из нагревательных эле562308

Формула изобретения ) (5!

iL

Составитель И. Ненашева

Техред А. Камышникова

Корректор В. Гутман

Редактор P. Пурнам

Заказ 504/1173 Изд. № 73 Тираж 947 Подписно<

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» ментов, его collpoTHIB IBHiHQ уменьшается. В результате протекающий по нему ток становится больше, чем в друпих напревательных элементах, и расплавленная зона образуется именно в той части загрузки, которую îхватывает его плавильное, кольцо.

HipIH перемещении .сердечника IB управляющее кольцо соседнего нагревательного элемента .расплавленная зона также смещается в область, охватываемую его плавильным кольцом. Ежели сердечник изготовить .в виде двух усеченных конусов, можно, добиться плавного изменения мощно стаи в нагревательных элементах и обеспечить плачевное перемещение зоны.

Ес.и внутри управляющих колец предла-,àåìîãî индукционного устройства перемещать не один, а несколько сердечников, можно осуществить многозонный вариант плавки.

Предлагаемое устройство используется для зонной плавки фосфида галлия.

УсTipîéñòâо для зонной плаBèH, содержащее рабочую камеру,и индуктор, от JliH ч а ю5 щ еес я тем, что, с целью обеспечения абсолютчой ге рметичноспи рабочей камеры прп очп стке разлагающихся,взрывоопасных и агрессивных веществ, индуктор состоит из нескольких соооно ра сположенных нагреватель10 ных элементов, каждый из которых выполнен в,виде двух последовательно соединенных между собой незамкнутых колец — плавильного и управляющего, причем плавильные кольца нагревательных элементов расположе15 ны внутри рабочей камеры, а управл яющме вне ее, и внутри управляющих колец расположен сердечник, закрепленный с возможностью

ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ВДОЛЬ,ИХ OCIH.

Источник инфс р мации, принятый во внимание при зкспер.пизе.

1. Монография «Металлургия и технология полупроводниковых материалов», М., «Металлургия», 1972, с. 479.