Устройство для нанесения тонких пленок

Устройство для нанесения тонких пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ (51) М. Кл.2

С 23 С 15/00 (22) Заявлено 049675 (21) 2141197/18-21 с присоединением заявкн №

Гоордаротооооыр ооыотот йооата Моовотроо CCCP оо аолом ооооротоооо о опрытой (23) Приоритет (43) Опубликовано 050378.6толлетень № 9 (45) Дата опубликования описания 130278 (53} УДК 621. 793. 12. .002.51 (088 ° 8) (72) Авторы изобретения

Л.П. Саблев, В.А. Осипов и P.И. Ступак

Pl) Заявитель (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ

ПЛЕНОК

1

Изобретение относится к технологии нанесения металлических покрытий и может использоваться в микроэлектронике.

Известно устройство для нанесения тонких пленок, содержащее вакуумную камеру и крышку, электроизолированные между собой и выполненные из немагнитных материалов, электродуговой испаритель, размещенный в вакуумной камере, и соленоид, закрепленный на крышке. Однако это устройство не обеспечивает высокого качества тонких пленок.

Цель изобретения — повышение качества тонких пленок.

Это достигается тем, что предлагаемое устройство для нанесения тонких пленок снабжено дополнительным соленоидом, установленным снаружи вакуумной камеры соосно соленоиду электродугового испарителя и включенным встречно с ним, вакуумная камера снабжена электроизолированным экраном, установленным внутри нее напротив электродугового испарителя.

На фиг. 1 схематически показано ттредлагаемое устройствот на фиг. 2 конфигурация магнитных полей в каме ре.

Устройство для нанесения тонких пленок содержит вакуумную камеру 1, крышку 2, электроизолированные между собой при помощи изолирующей прокладки 3 и выполненные из немагнитного материала. Электродуговой испаритель состоит из катода 4 и поджигающего электрода 5. Соленоид б закреплен снаружи на крышке 2. Дополнительный соленоид 7 установлен на вакуумной камере соосно соленоиду б и включен встречно с ним. Вакуумная камера 1 .снабжена электроизалированным экраном 8, установленным внутри нее напротив катода 4 электродугового испарителя.

Устройство для нанесения тонких пленок работает следующим образом.

Напыляемые изделия 9 устанавливаются на крышку 2 так, чтобы поток макрочастиц от катода 4, движущийся прямолинейно, не мог попасть на них.

Питание соленоидов б и 7 осуществляется от разных источников.

Воздух из вакуумной камеры 1 откачивается до давления порядка

l0 мм рт.ст. Через соленоид б пропускается ток, создающий магнитное поле

50-200 Э, достаточное для удержания катодного пятна на торце катода 4.

563826

Через соленоид 7 пропускается ток, создающий магнитное поле 20-50 Э.

На камеру 1 подается напряжение

40-80 В относительно катода 4, на крышку 2-30 В. При этих параметрах конфигурация магнитных полей имеет 5 вид, показанный на фиг. 2. Силовые линии 10 поля соленоида 6 входят в крышку 2, силовые линии 11 поля соленоида 7 имеют преобладающую по величине составляющую, параллельную 10 внутренней поверхности камеры l. При такой конфигурации магнитных полей электронный ток (ток дуги) стремится двигаться по силовым линиям поля. кратковременным касанием катода 4 !5 поджигающим электродом 5 возбуждается электрическая дуга.

В парах металла дуга горит при сколь угодно низком давлении остаточных газов. Напряжение на электродах дуги устанавливается близким к катодному падению потенциала, так как падение.напряжения на положительном столбе вакуумной дуги незначительно.

Напыление испаренного с катода 4. металла происходит потоком металлических ионов, отражающихся от потенциального барьера, образованного скрещенными Е и Й полями.

Микрочастицы и нейтральные атомы распространяющиеся промолинейно с поверхности катода 4, попадают на камеру 1, поскольку электрическое поле на них не действует.

Формула изобретения

Устройство для нанесения тонких пленок, содержащее вакуумную камеру и крышку, электроизолированные между собой и выполненные из немагнитных материалов, электродуговой испаритель, размещенный в вакуумной камере, и соленоид, размещенный на крышке, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества тонких пленок, оно снабжено дополнительным соленоидом, установленным снаружи вакуумной камеры соосно соленоиду электродугового испарителя и включенным встречно с ним, а вакуумная камера снабжена электроизолированным экраном, установленным внутри нее напротив электродугового испарителя.

563826

Составитель Ю. Еркин

Редактор Е. Караулова Техред Н.дидрейчук Корректор Н. Ковалева

Заказ 951/8 Тираж 1177 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва Ж-35 Раушская наб. д. 4 5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород., ул. Проектная, 4