Способ динамической градуировки манометров низкого давления

Способ динамической градуировки манометров низкого давления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОР СКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскии

Социалистических

Республик (») 564553 (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 16.03.76 (21) 2335266/10 с присоединением заявки №(23) Приоритет (43) Опубликовано 05.07.77, Бюллетень № 25 (45) Дата опубликования описания 26.08.77 (51) М. Кл,о

:501 4 27/00

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР по делам изооретоний н открытий (53) УДК 531.787 (088.8) В. В. Кузьмин (72) Автор изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ДИНАМИЧЕСКОЙ ГРАДУИРОВКИ

МАНОМЕТРОВ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к области прибо ростроения, в частности к способам для определения метрологических характерис тик манометров.

Известен способ динамической градуировки манометров низкого давления, основан ный на расчетном понижении давления, происходящем при молекулярном течении газа через отверстия известной проводимости $1), Известный способ не обеспечивает достаточной точности градуировки.

Известен также способ динамической градуировки манометров низкого давления путем расчетного повышения давления в градуировочной камере известного объема во времени, происходящего при непрерывной подаче газа в камеру через диафраг му известной проводимости иэ соседней камеры с измеряемым более высоким давлением (z J. Недостатком способа является низкая точностьградуировки, обусловленная наличием неучитываемых побочных газовых процессов в градуировочной камере таких, как газовыделение со стенок камеры или внутри градуируемого манометра, в особен2 ности при высоком М сверхвысоком ваку1 ,ме.

Цель изобретения - повышение точности градуировки.

Это достигается тем, что после расчбтного повышения давления в градуировочной камере известного объема, происходящего прн непрерывной подаче газа в градуировоч ную камеру через:диафрагму известной

1О проводимости иэ камеры с более высоким давлением, по окончании повышения давления измеряют установившееся высокое давление в градуировочной камере, затем, откачивая ее через другую диафрагму, известной

15 проводимости, понижают в ней давление. При атом aaMepsam промежутки времени, соответствующие двум одинаковым показаниям градуируемого манометра при повышении и при понижении давления, и по известным

20 зависимостям определяют давление в градуи ровочной камере, соответствующее показаниям манометра.

На чертеже изображена вакуумная система предлагаемого способа градуировки ма25 нометров.

56-4553 ((- — И -1 ) . — — (<; <". )

5 р =р Е Ч о Ф 1Е Ч о U (2) Г( где Р - давление в начальнь(й момент (( времени 1,> (момент откры10 тия клапана 9).

Давления, соответствующие двум любым одинаковым показаниям градуируемого манометра, при повышении давления и при понижении давления рассчитывают по форь уле„

15 полученной совместным решением уравнений (1) и (2), т.е. при допущении: P„ =P(",- .! (1е U " 1о

„1 — Ì(; l0) 99, Ч (;-t-) !

Р при P, (.P4) и PÄ=P,, .) зо

Р=Р 1 1 ! и — — (t - 6 )

Ч 1 0

)-е (!

- т (+ „-t ) 35

0 !! (! — -И -1 )

4-Е Ч о (— — "(-t ) о

P„.=9, Е + р! — (1„-1

-е,(!)

I45

I где Р - давление в момент времео ни Ср(I ((— суммарный поток сорбции 50 и десорбции газа в каме- ., ре 1, Открывают клапан 8 и после установления (r и измерения равновесного давления е в камерах 1 и 4 закрывают, натекатель 5.

Открывают клапан 9 и в процессе непре рывного понижения давления в камере А отсчитывают (или записывают) показания градуируемого манометра 2 во времени.

It

Давления Р газа в камере 1, соответ- 60

Вакуумная система, реализующая предлагаемый способ гра(гуировки манометров, включает камеру 1 (известного объема ) с присоединением к ней градуируемым мано .метром 2. Через диафрагму 3 известной ма(( лой проводимости U камера,1 соединена . с камерой исходного давления 4. B камеру

4 через натекатель 5 поступает градупровочный гаэ, давление которого измеряют образцовым манометром 6, Параллельно диафрагме 3 установлена другая диафрагма 7 также известной проводимости

Ц (0 "»u). Диафрагма 7 может быть герметично закрыта клапаном 8. К камере

4 через клапан 9 присоединен насос, отка. чиваюший е6 до давлений, пренебрежимо малых по сравнению с давлениями ф.в каг мере 1.

ПредлагаемьпЪ способ градуировки манометров низкого давления состоит из следующей последовательности операций.

После предварительной откачки камер

1 и 4 открывают натекатель 5, устанавливают некоторое постоянное давление Р4 газа в камере 4 и измеряют его маномет ром 6 (при закрытых клапанах 8 и 9). В процессе непрерывного повышения давления в камере 1 отсчитывают (или записывают) показания градуируемого манометра 2 во ( времени, начиная с некоторого. момента 4 о (при этом контролируют постоянство давлениЯ Р4 ) ..

Давления 9. газа в камере 1, соотвеч ствующие произвольным моментам времени !

6 °, описываются уравнением

I (t -t )

+ 1-е

0 ствуюшие произвольным моментам времени

Н описываются точнь(м уравнением г 1 I

Сопоставляют эти расчетные значения дав. лений P„с соответствующими показания ми градуйруемого манометра 2.!

Рассчитанные по уравнениям (3 и 4) значения давлений Р. свободны от програшно- ностей, связанных с .(обочными процессами газоотделения в градуировочной камере и и градуируемом манометре, что повышает точность градуировки.

Ф ормула изобрете ния

Способ динамической градуировки манометров низкого давления путем расчетного повышения давления в градуировочной камере известного объема, происходящего при непрерывной подаче газа в градуировочную

564553

tf euency

Составитель О. Сафонов

Редактор О. Филиппова Техред I H. Асталош. Корректор 1Н. Ковалева

Заказ 2143/208 Тираж 1101 fIoQBHoHoB

ЧНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, уп. Проектная, 4 камеру через диафрагму известной проводимости из камеры с измеряемым более высоким давлением, о т л и ч а ю ш н и с я тем, что, с целью повышения точности градуировки, по окончании повышения давления измеряют установившееся высокое давление в градунровочной камере, затем, откачивая ее через другую диафрагму известной проводимости, понижают в ней давление, при атом измеряют промежутки времени, соответствую-10

Шие двум одинаковым показаниям градуируеммого манометра при повышении и при понижении давления, и по известным зависимостям определяют давление в градуирозочной камере соответствующее показаниям мапо» метра.

Источники информации, принятые во внимание при акспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

436253, кл,601 27/00, 1972.

4 Du)bmep 5„Гоиид 6.6,РЦ, РСи1 1920, 15. % 2, стр. 133-134.