Устройство для вращения изделий

Устройство для вращения изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДВТВЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлена 03.12,78 (21) 219601д/21 с присоединением заявки _#_& (23) Приоритет (43) Опубликовано 25,07.77,Бюллетень Х< 27 (45) Дата опубликования описания 17.08.77

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) f 65 948 (51) М. Кл

С 23 С 13/00

Госуд& рстеенный комнтет

C0BBT& 1йнннотро& СССР оо делом изобретений н открытий (53) УДК 621.396,6-181.48 (088.8) (72) Авторы изобретения

С. П. ФедоРов, В, И Паленный и О В Акиншин (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВРАШЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к металлизации в вакууме и может быть использовано для других видов покрытий напылением.

Известны устройства для двухстороннего покрытия подложек, в которых подложка, проходя . зону напыления, поворачивается периодически на 180 (3.g, Однако известные устройства не обеспечи вают всестороннего равномерного покрытия подложки. о

Бель изобретения - повышение равномерности покрытия.

Это достигается тем, что в устройстве для вращения иэделий, преимущественно для установок вакуумного нанесения тонких пле- >а нок, содержащем траверсу с отверстиями, держатели изделий, установленные в отверстиях траверсыс отверстиями, держатели изделий, установленные в отверстиях траверсы, привод вращения траверсы, отверстия в траверсе выполнены под углом, отличным о от 90 к оси ее вращения, а держатели изделий установлены в отверстиях с радиаль ным и осевым зазорами, обеспечивающими при вращении траверсы принудительное воа- щение держателей изделий вокруг своих осей.

На фиг. 1 изображено описываемое устройство, общий вид; на фиг, 2 — разрез

А - А на фиг. 1; на фиг, 3 — вариант исполнения устройства; на фиг. 4 - разрез

Б-Б на фиг. 3.

Устройство состоит из траверсы 1 круглого сечения с отверстиями 2, обработанными под углом к оси траверсы(см. фиг. 1).

На входе и выходе отверстия перпендикулярно, и его оси сняты лыски 3, Держатели 4 вставлены своими цапфами 5 в отверстия 2 с зазором и закреплены корончатыми гайками 6 так> что имеют осевой зазор> причем гайки 6 зашплинтованы, Покрываемая деталь 7 навертывается на резьбовой конец 8 держателя 4 и кре-пится контргайкой 9.

Устройство работает следующим образом.

Траверса 1 приводится во врашение вокруг оси О. При этом держатели 4 с деталью

7 за счет сил трения, возникающих гри обкатывании цапфы 5 по поверхности отвращаются вокруг оси 0 . Tàдеталь 7 с ов ерш ает сл ож н ое псе лвиже ние В двух пл пл оск остях.

: аклона де ржателя следует выби.:. л из геомет

° етрии покрываемой де =:д,ежное устой и . у чивое вращение деробеспечивае в ется при угле наклона триверсы, отличающимся от 90о, —.;эе, чем 5, Ск, Скорости вращения т аО св л;,.,ьжруг оси О и держателя вокруг . язаны соотношением:

565948

Формула и з обр е т етения

Уст р ойс тв о пре дель но и ост п" осто по конструкции. Испытание в пр в производственных условиях подтвердили его эффективность в улучшении покрытия, а также вь надежност а также высокую ть при работе в вакуум повышенных температ ах У е и и и

Р же б пе атурах. Устройство л .с жет ыть использован ано в установках с горизонтальной камерой с п иво щения т траверсы. о с приводом для âðàи. d

D-d

:,i. ором ва иан 5 р те исполнения устройсти (фиг. 3и4 ,а,тч вращения подложки (фиг ъ /ержателей 4 вставлены в отверсти

10 и Й тия у.., приваренных под углом

П м к тра-129 ь крепится

>, покрываемая детал 7

«; .». .= .еле 4 гайкой 11.

Устр йство позв

У: - оляет передавать врау практичес аащение де жат — р . еля в двух плоскостях .-:ает гзл!ожпость и о производить покрытие фасо. нных деталей ф-" - " - сложной конфигурации с о а - 1ел пазов, отверстий и высту . остато пой рав ол1 и зов тупов с р ол1ер по толщин

Устр ойство дпя вращения изделий, п еимущественно для уст н, пре, нанесения тонк становок вак мн r уу во су с вс ями их пленок со е отвевсти ими д ржащее траьер рс ями, держатели изделий новленные в отв ли, у аерстиях траве ы п вращения траве рсы, привод тем аверсы, о т л и ч а ю щ, что, с целью повышения ееся ия, отверстия в траверсе выполнены под углом, отличным от 90о ния, а держатели издел коси ее в ращеотверс ерстиях с а изделий установлены в р диальным и осевым зазорами, обеспечивающими п и траве сь ми при вращении аверсы принудительное вращ телей и ащение держаизделий вокруг своих осей, Источники информации, ин мание при и, принятые во внипри экспертизе:

1. Авто ск

Ъ 301380 рско@ свидетельство СССР, кл. С 23 С 13/08, 1970,.

565948

Составитель О. Богомолов

Редактор Q. Пинчук Техред Н. Андрейчу Корректор Н. Ковалева

Заказ 2324/17 Тираж 1130 Г!одиисное

Ш!ИИГ!И 1осударственного комитета Совета Министров СССР ио делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раун окая наб., д. 4/5

Филиал !!П!! Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4