Электродуговой испаритель материалов

Электродуговой испаритель материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСНОМУ СВИДВТИДЬСТВУ

Союз Советскии

Социалистииескии

Республик (»)565949 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.02.75 (21) 2110779/21 (51) М. Кл. с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 25.07.77.Бюллетень ¹ 27 (45) Дата опубликования опнсання17.08.77

С 23 С 13/08

Государстеениый еомнтет

Соввта Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК621,793.14, 00 2-5 1 (088.8) (72) Авторы изобретения

Ю. П. Ефимов В, В. Медвепников и Н. Л. Погорелов (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МАТЕРИАЛОВ

Известны электродуговые испарители материалов, содержащие катод, анод, поджигающий электрод и систему сканирования катодного пятна.

Скорость перемещения катодного пятна определяется суммарной величиной магнитного поля обоих соленоидов.

20, При прохождении одинакового электрического тока по обоим соленоидам перемещающееся катодное пятно будет удерживаться на оси рабочей поверхности катода. При

25 увеличении или уменьшении тока в одном из

Из бретение .относится к области радиотехники, в частности к процессам напыле щя тонких пленок в вакууме.

Однако в известных устройствах материал катода испаряется неравномерно из-за интенсивного изнеса осевой части катода.

Бель изобретения — повышение равномер ности испарения материала катода. Это дос-: тигается тем, что система сканирования катодного пятна электродугового испарителя

,материалов, содержащего цилиндрический катод, поджигающий электрод и систему сканирования катодного пятна, выполнена в ви» де двух соленоидов, размещенных соосно катоду с обеих его сторон.

На чертеже представлен электродуговой испаритель материалов.

Испаритель содержит катод 1 с экранируюшими торцевыми дисками 2 и 3, поджи- гающий электрод 4 и анод 5. Система сканирования катодного пятна включает соленоиды 6 и 7, обмотки которых подключены к источнику питания через регулировочные сопротивления 8 и 9.

Устройство работает следующим образом.

Поджигающий электрод 4- возбуждает ка1о тодное пятно электродугового разряда на рабочей поверхности катода 1. Дуга, горящая между катодом 1 и анодом 5, взаимодействуя с магнитным полем соленоидов 6 и 7, перемешает катодное пятно вдоль замкнутой

1а рабочей поверхности катода.

565949

Состаитель Н. Блинкова

Редактор A. Морозова Техред Н, Андрейчук Корректор Н. Ковалева

Заказ 2324/17 Тираж 1130 Подписное

UHHHHM Государственного комитета Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r, Ужгород, ул. Проектная, 4 соленоидов при помощи сопротивления 8 и

9 перемещающееся вдоль рабочей поверхности катодиое пятно будет смещаться от оси рабочей поверхности катода в сторону соленоща с большим током управления.

Таким образом, изменяя ток управления в каждом из соленоидов, можно добиться необходимого износа рабочей поверхности катода+ обеспечивающего оптимальные режимы напыления.

Формула изгбретения

Электродуговой испаритель материалов, .содержаший пилиндрический катод, анод,поджигаюший электрод и систему сканирования катодного пятна, отличающийся тем, что, с келью повышения равномерности испарения материала катода, система сканирования катодного пятна выполнена в

)p вйде двух соленоидов, размещенных соосно катоду с обеих его сторон.