Способ обнаружения натекания воздуха в высоковакуумную систему

Способ обнаружения натекания воздуха в высоковакуумную систему

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Оп ИСАНИЕ

H3OSPETE Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 56 7985 (61) Дополнительное к авт. свил-ву ! (22) Заявлено06.02.76 (21) 2320812/28 г (51) М. Кл.

QO1 М 3/40 с присоединением заявки №вЂ”

Государственный комнтет

Совета Мкннотров СССР оо делам кэооретеннй и открытой (23) Приоритет(43) Опубликоваио05,08,77.Бюллетень №29 (45) Дата опубликования описания 30.08.77 (53) УДК 621.3.064..42(088,8) А. И. Евлампиев, Л. Е. Левчна, И. А. Мясников и В. И. 11ивенко (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ НАТЕКАНИЯ ВОЗДУХА

В ВЫСОКОВАКУУМНУЮ СИСТЕМУ

Изобретение относится к испытательной технике в частности к способам контроля герметичности.

Известен способ обнаружения натекания воздуха в вакуумную систему при помощи б манометров, измеряющих повышение давления в системе после откачки(11. Однако поскольку повышение давления в системе . обусловлено не только натеканием, но и газовыделением со стенок, необходимо 10 значительное время для достижения стационарного уровня газовыделения.

Известен также способ обнаружения натекания воздуха в высоковакуумную систему при помойи масс.спектрометрического !б течеискателя (21.-Реализация данного способе сложна, а сами приборы громоздки и дороги.

Наиболее близким по технической сущности к предлатаемому является способ обна- 20 ружения натекания воздуха в высоковакуум ную систему, заключающийся в том, что в систему помещают пленочный чувствитель ный элемент из легко окисляюшегося металла и по изменению его сопротивления за 25 счет окисления при натекании воздуха в cu ìó судят о ее герметичности laI. Способ позволяет производить только од» нократное обнаружение натекания воздуха в специальные технологические системы,0ель изобретения - повышение производительности эа счет многократного исполт -зовання чувствительного элемента,Эта цель достигается тем, что в качеств ве материала чувствительного элемента используют химически и термически.устойчи вые окислы металлов с эпектронной прово-: димостью, изменяющейся при хемосорбаии кислорода.

Сущность способа состоит в том, что s высоковакуумную систему помешают пленоч, ный чувствительный элемент, например, иэ

2тт О, Gd 0 или Т О,.

При натекании воздуха в систему элемент изменяет свое сопротивление за счет хемосорбпин кислорода на поверхности пленки. По изменению .сопротивления элемента судят о герметичности системы.Чувствительный элемент готовится термическим вакуумным напылением металла

567985

Составитель А. Шалыгина

Редактор В. Другова 7ехреН. А, Богдан Корректор E. Папп

Заказ 2792/32 Тирана 1101 Подписное

101ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 (соответственно 7п, Cd или Т1 ) на кварцевую подложку, снабженную двумя платиновыми контактами, с последуюшим окислением металла на воздухе при температуре

500 C.

После обнаружения натекания регенерация элемента осуществляется нагревом эле» мента до 300-350оС. Чувствительный элемент не изменяет свои свойства при храКении его на вбздухе в течение длительного времени.

Способ позволяет осушествлять много кратное использование чувствительного элемента для контроля высоковакуумных си-1 стем в широком диапазоне натеканий 1010 лмкм рт.ст.сек а

Формула изобретения

Способ обнаружения натекания воздуха в высоковакуумную систему, заключакяций ся в том, что в систему помешают пленочный чувствительный элемент из токопроводяшего материала и по изменению его сопротивления при натекании воздуха в систему судят о ее герметичности, о.т л и - . ч а ю ш и Й с я тем, что, с целью повышения производительности за счет многократного использования чувствительного элемента, в качестве материала чувствищ тельного элемента, используют химически а термически устойчивые окислы метал, лов с электронной проводимостью, изме ц няющейся при хемосорбции кислорода.

I

Источники информации, принятые во вниф мание при экспертизе:

1,- la@ac В.- A.< Левина Л. Е, Техника вакуумнык испытаний. М.П., -Госэнергоиздат, 1963, с. 139-144, 2,-Там же, стр. 151, 3, - Авторское свидетельство N 46 2224, «л, r. 4 3/16, 1 973,