Устройство для промывки деталей

Устройство для промывки деталей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К AITOPCNOhAV СЕИДИТЕЛЬСТВУ (") 570128 (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 06.08. 75 (21) 2160880/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 25,p8,77,Áþëëåòåèü № 31 (45) Дата опубликования описания 28.09.77 (51) М. Кл

Н 01 L 21/30

Гасударственный комнтет

Совета Мнннстрав СССР по делам нзобретеннй н аткрытйй (53). УДК621.382

I (088. 8) (72) Авторы изобретения

Н.,Н, Петров и Л,, Н,.Зайцев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОМЫВКИ

ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к устройствам для промывки и очистки деталей электронных изделий, например, для финишной промывки полупроводниковых пластин.

Известны устройства для промывки дета-лей под воздействием проточной воды, натуимер, однокаскадная промывочная ванна (1).

Известно также устройство, ьнтенсифйци,рующее процессы промывки, очистки и т.п. путем создания возвратно-поступательного щ движения рабочей жидкости, содержащее ватгну для изделий и нагнетательную пульсационную камеру с мембраной, оединенные между собой напорным каналом (2), .

Однако известное устройство сложно по 1к конструкции, так как для получения возврат но-поступательного движения реагентов в нем используются золотниково-распределительный механизм и специальный привод.

Бель изобретения - упрощение устройся- оО а в результате создания пульсации в потоке жидкости за счет энергии самого потока.

Для этого устройство для промывки дегалей снабжено дополнительной камерой, сое- диненной с магистралью подачи жидкости и а5 имеющей эластичную стенку в виде подпружиненной мембраны, причем пульсагчонная и дополнительная камеры соединены между собой нагнетательным клапаном, в котором в качестве перекрываюшего элемента использована часть мембраны пульсационной каме»

PbI

На чертеже изобрчжено предлагаемое устройство для промывки деталей.

Устройство состоит из ванны 1 для изделий и нагнетательной пульсационной камеры

2 с мембраной 3, соединенных между собой напорным каналом 4. Кроме того, в устроФстве имеется дополнительная камера 5, со».-! диняющаяся с магистралью подачи жидкости.

Одна из стенок 6 дополнительной камеры вы» полнена в виде подпружиненной мембраны„ движение которой во время работы устроФ» ства останавливается упором 7 с помощью штока 8, Пульсационная и дополнительная камеры соединены между собой нагнэтательным клапаном 9, р котором в качестве перекрывающего элемента использована часть мембраны 3 пульсаццонной камеры.

Устройство работает следующим образом.

570128

В: вааиу 1 помещается кассета с изделиями, модлежашими промывке. Устройство подключается к магистрали рабочей жидкости. жидкость в дополнительной камере 5 под давлением сначала движется вследствие перемещения и деформации эластичной подпружичюеиной стенки 6. Затем шток 8 соприкасается с упором 7 и стенка 6 останавливается, тем самым движение жидкости затрудняется. Давление в дополнительной камере повышается, открывается нагнетательный клапан 9, вследствие этого в нагнетательной пульсационной камере 2 и далее по напорному каналу 4 идет ударная волна с избыточным давлением. Когда эта волна достигает Ь ванны 1, в которой установлена кассета с изделиями, возникает обратная волна с давлением, близким K атмосферному, которая, дойдя до клапана 9, закрывает его. При этом;, эластичная стенка 6 дополнительной рр камеры успевает занять исходное „ положение

Инерция жидкости в напорном канале 4 вызывает раэряжение в камере 2 вследствие чего мембрана 3 прогибается, разряжение в камере 2 создает обратный ток жидкости щ иэ ванны. Обьем . жидкости, прохощпшей в обратную сторону за один цикл, будет близок к обьему, заключенному между крайними положениями мембраны 3. В это время давление в дополнительной камере достйгает д{) значения, при котором эластичная стенка 6 снова перемешается до соприкосновения с упором 7; что снова создает гидроудвр в дополнительной камере. Такчм образом создается пульсация в потоке жидкости за счет энергии самого потока.

Формула изобретения

Устройство для промывки деталей, содер» жащее ванну для иэделий и нагнетательную пульсационную камеру с мембраной, соеди-, ненные между собой напорным каналом, о т л и ч а ю ш е е с я тем, что, с цельк: упрошения устройства в результате создания пульсации в потоке жидкости за счет энергии самого потока, оно снабжено дополнительной камерой, соединенной с магистралью подачи жидкости и имеюшей эластичную стенку в виде подпружиненной мембраны, причем пульсационная и дополнительная камеры соединены между собой нагнетательным клапаном, в котором в качестве перекрывающего элемента использована часть мембраны пульсационной камеры.

Источники информации, принятые во вни мание при экспертизе:

1. Зо(Ы State ТесЬпо!ауу, 1970, с. 22-?4, 2, Карпачева С. И. и др., Пульсационная аппаратура, 197 1, UHHHTHX.имнефтемаш", с. 2-10.

570128

Составитель Ю. Цветков

Texpen H. Бабурха Корректор М. немчик! едактор P. Пурнам

Филиал ППП Патент", г. Ужгород,ул. Проектная, 4

3акаэ 3067/46 Тираж 976 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров ССС

СССР по делам изобретений и открытий

113 35, Москва, Ж 35, Раун окая наб., д. 4/5