Устройство для перемещений объекта

Устройство для перемещений объекта

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАЙИ 6

ИЗОБРЕТЕНИЯ и11 570867

Союэ Советских

Социалистических

Республик

5 (51) М, Кл. (g 03В 7!12 (61) Дополнительное к авт. св. д-ву (22) Заявлено 13.10.75 (21) 2183442121 с присоединением заявки ¹

Совета Министров СССР по делам изобретеиир и открытий

Опубликовано 30.08.77. 51оллстспь ЛЪ 32

Дата опубликования описания 20.10.77 (53) УДК 621.396.6.002, .5 (088.8) (72) Лвторы изобрст,гия

В. В. Бероасов и И. Л. Стремепов (71) Заявитель (54) УСХРОЙС 1 ВО ДЛЯ т"1ЕРЕЛ"":111(ÅHЦ1"1 3."::.-, СЕКТА

Изобретение относится к прецизионным устройствам координатных перемещений в горизонтальной плоскости с угловым поворотом для точной установки объекта и может применяться при производстве полупроводниковых и микроэлектронных приборов.

Извсстен микроманипулятор, содержащий координатный стол, выполненный из двух частей, одна из которых установлена на шариковых опорах с возможностью перемещения во взаимно перпендикулярных направлениях горизонтальной плоскости (1).

Однако в таком координатном столе отсутствует нспосредствснная передача необходимых движений объекту, установленному на предметном столике, что приводит к нсплоскостности при перемещениях объекта и деласт конструкцию относительно сложной.

Цель изобретения — обеспечение минимальной неплоскостности при линсйных и угловых перемещениях объскта. Это достигается тем, что устройство для перемещений объекта, преимущественно в установках для изготовления микроэлектронных изделий, выполненное в виде установленного на опорах координатного стола с возможностью перемещения е о в горизонтальной плоскости, снабжено кольцевой направляющей, обхватывающей координатный стол, и опоры выполнены

1осУларствеииый комитет (23) Приоритс

f3 впдс шаровых э. смснтов, устанозлспных на п.;оском основании.

На фпг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 — вид по

5 стрелке А на фиг. 1.

Устройство для перемещений объекта, преимущественно в установках для изготовления микроэлектронных изделий, содержит координатный стол 1, обхвачснный кольцевой наl0 правляющсй 2 и установленный на трех шаровых опорах 3, которые опираются на плоскос основание 4. Кольцевая направляющая 2 связанa с элементом 5 направляющего механизма посредством шарнира 6. Направляю1 щий механизм служит для перемещения стола 1 в горизонтальной плоскости.

Угловой поворот прсдмстного столика осуществляется с кольцевой направляющей 2.

Использование трех шаровых опор, связанных с предметным столиком, дает ему возможность перемещаться в любых направлениях горизонтальной плоскости. Для поворота предметного столика кольцевая направляющая 2 снабжена шариками в сепараторе.

Для устранения нспараллельности между поверхностями Б и В в устройстве предусмотрена регулировка положения шаровых опор по высоте с последующей фиксацией положе30 ния

570867

Формула изобретения

Вид 4

Фиг. 1 фиг.L

Составитель Н. Блинкова

Редактор Е. Караулова Техред И. Карандашова Корректор H. Аук

Подписное

Заказ 2084/13 Изд. № 715 Тираж 585

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Устройство для перемещений объекта, преимущественно в установках для изготовления микроэлектронных изделий, выполненное в виде установленного на опорах координатного стола с возможностью перемещения его в горизонтальной плоскости, о т л и ч а ю щ е еся тем, что, с целью обеспечения минимальной неплоскостности при линейных и угловых перемещениях объекта, оно снабжено кольцевой направляющей, обхватывающей координатный стол, а опоры выполнены в виде шаровых элементов, установленных на плоском

5 основании.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 315152, 10 кл. G ОЗВ 7/12, 21.09.71.