Электролит для осаждения палладия
Иллюстрации
Показать всеРеферат
О П И С А Н И Е (() 572539
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. спид-ву (22) Заявлено 29.04.76 (21) 2356574/02 с присоединением заявки Ме (23) Приоритет
Опубликовано 15.09.77. Бюллетень Ке 34
Дата опубликования описания 04.09.77 (5!) М. Кл. - С 250 3/50
Гасударственный комитет
Совета Министров СССР аа делам изааретений и открытий (53) УДК 621.357.7:
: 669.234(088.8) (72) Авторы изобретения А. П. Достанко, П. П. Гойденко, Л. К. Кушнер и Ю. Д. Чистяков
Минский радиотехнический институт (71) Заявитель (54) ЭЛ ЕКТРОЛ ИТ ДЛЯ ОСАЖДЕН ИЯ ПАЛЛАДИ
Изобретение относится к области гальваностегии, в частности к электролитическому осаждению палладия; okIO может быть использовано в радиотехнической и электронной промышленности.
Известны сульфаматный, аминохлоридный и бромидный электролиты палладирования (1). Однако микротвердость покрытий, полученных из этих электролитов, недостаточная (310, 260 и 220 кг/мм соответственно).
Наиболее близким к описываемому изобретению по составу компонентов являетсяэлектролит для осаждения палладия, содержащий хлористый палл адий, сер но кислый аммоний и сахарин (2), Электролит содержит также соляную кислоту и аммиак, Из указанного электролита получают полублестящие покрытия микротвердостью 250 кг/мм, Предлагаемый электролит отличается от известного тем, что, с целью повышения микротвердости и степени блеска покрытия, он дополнительно содержит мочевину и 2,2 -дипиридил при следующем содержании компонентов, г/л:
Хлористый палладий 10 — 30
Сернокислый аммоний 20 — 40
Мочевина 50 — 130
Сахарин 0,3 — 0,8
2,2 -Дипиридил 0,02 — 0,03.
Процесс осаждения рекомендуют проводить
2 при рН 6 — 8, комнатной температуре и катодной плотности тока 0,5 — 1,5 А/дм .
Описываемый электролит позволяет получать блестящие покрытия толщиной до 30 мкм, 5 воспроизводимые по качеству, однородные, обладающие высокой износостойкостью. Кроме того, покрытия, полученные из предлагаемого электролита, имеют высокую адгезию с медью, никелем, коваром, серебром и други10 ми металлами, применяемыми в микроэлектронике.
Микротвердость осадков 330 — 340 кг/мм2, что значительно превышает микротвердость осадков, полученных из известных электроли15 тов. Общая отражательная способность покрытий — 73%, зеркальная отражательная способность -45%. Переходное сопротивление при нагрузке на контакт 50 г 0,003 м.
Вследствие высокой плотности и мелкой зер2О нистости осадки являются коррозионно-стойкими в серу- и влагосодержащей среде. Коррозионные испытания показывают, что покрытия толщиной 3 — 5 мкм защищают от коррозии. Износостойкость палладиевых покрытий
25 толщиной 4 мкм при режиме постоянного тока; напряжение 150 В и ток 100 мА, составляет 120000 переключений по сравнению с
80000 переключений для покрытий из известного электролита.
30 Пример 1. Осаждение палладиевого по572539
Формула изобретения
Микротвердость осадка, кг/ммв
Время осаждения, мин
Толщина осадка, мкм
Плотность тока, A/äì
15,8
16,1
345
0,5
1,0
1,5
Составитель В. Бобок
Техред И, Михайлова Корректор Т. Добровольская
Редактор Н. Корчеико
Заказ 2223/19 Изд. № 742 Тираж 671 Подписное
НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 крытия на корпуса интегральных схем проводят из электролита следующего состава, г/л:
Хлористый палладий 10
Моч евина 100
Сернокислый аммоний 20
Сахарин 0,3
2,2 -Дипиридил 0,03. рН электролита 7; температура 20 С; катодная плотность тока 1 А/дм, время осаждения
11 мин. Толщина полученной пленки 2 мкм.
Покрытие равномерно по толщине, имеет однородную структуру, мелкокристаллическое, обладает хорошей адгезией. Оно хорошо смачивается легкоплавкими припоями, позволяет подсоединять проволочные выводы методом термокомпрессии и ультразвуком.
Пример 2. Осаждение палладия проводят из электролита, содержащего, г/л:
Хлористый палладий 30
Мочевину 70
Сернокислый аммоний 40
Сахарин 0,6
2,2 -Дипиридил 0,02. рН электролита 8.
Из данного электролита в зависимости от плотности тока получают покрытия микротвердостью 330 — 345 кг/ммз (см. таблицу).
Прим е р 3, При осаждении из электролита, содержащего, г/л:
Хлористый палладий 20
Мочевину 120
5 Сернокислый аммоний 30
Сахарин 0,8
2,2 -Дипиридил 0,03, при рН 6,5 и плотности тока 1,2 А/дмз в течение 20 мин получают покрытие толщиной
10 4 мкм. Общая отражательная способность
его 73 /о, зеркальная отражательная способность 45 /o.
Электролит для осаждения палладия, содержащий хлористый палладий, сернокислый аммоний и сахарин, отличающийся тем, что, с целью повышения микротвердости и
20 степени блеска покрытия, он дополнительно содержит мочевину и 2,2 -дипиридил при следующем содержании компонентов, г/л:
Хлористый палладий 10 — 30
Сернокислый аммоний 20 — 40
25 Мочевина 50 — 130
Сахарин 0,3 — 0,8
2,2 -Дипиридил 0,02 — 0,03.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Вячеславов П. М. и др. Гальванотехника благородных и редких металлов. Л., Машиностроение, 1970, с. 150 — 152.
35 2. Авторское свидетельство Ко 224243, кл.
С 25D 3/50, 1967.