Способ изготовления микрофильтров

Способ изготовления микрофильтров

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

()9) (nl (q))q а 21 Н ЦОО

44 A i гос) дм ствинный комитат

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИД ТЕЛЬСТВУ (21) 2054365/25 (22) 15.08. 74 (46} 15.02.9). Бюп. У 6 (71) Объедннеыиаай институт ядерных исследований (72) Г. Н.Флеров, В. С,Барашенков, С.П. Третьякова и В.А.Щегопев (53) 539.1.06(088.8) (56) Патент США Р 3335278, кл. 250-83.), опублик. )963.

Патент США У 3303085, кл. )61-109,. опублик. 1962.

Изобретение относится к ислользованию ионизирукщиих излучений в технологии.

Известни способы изготовления мик" рофильтров.

Блккайжим техническим решением является известный способ изготовления микрофипьтров, заключающийся в том, что полимерную пленку облучают пучком тяиелых ионов и производят травление, в результате чего в ипенке образуются микроканапы.

В известном техническом решении используют осколки деления атомыых ядер и тяыелые иоиаи, получеыыые на соответствующем ускорителе °

Использование осколков деления атомных ядер обусловливает образование неоднородных по диаметру микрока-. налов, а кроме того, невозмоано использовать пленки с толщиной, большей, чем пробег осколков деления.

Г54) (57) Сй)СОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЖКРОФИЛЬТРОВ, заключающийся в том, что полимерную пленку облучают пучком тяжелых ионов и производят травление, о т— л и ч а io шийся тем, что, с целью повышения качества микро4ильтров, пучок тяхелых ионов направляют под непрерывно изменякщимся в заданном интервапе углом к поверхности ппенки.

В случае использования пучка тя- "

:келйх ионов ° полученного на ускорителе, укаэанные недостатки частично ус" 3 траыяются, однако существует значительная- вероятность перекрывания мик".: роканапов, образованвых в результате падения иа один и тот ае участок,. пленки нескольких частиц, что приводит такые к неоднородности ппощади сечения.микроканапов, ухудшакщей качество микрофиильтров.

Цель иэобретеыия заключается в том, чтобы повысить качество микро4ипьтров.

Поставленная цель достигается тем, что пучок тжкелых ионов ыаправляют под непрерывно нзменянщимся в заданном иытервале углом к поверхности . ппенки.

Способ .реапиэуют следукщим обре зом.

574044

Техред Л.Сердюкова

Корректор М.Кучерявая

Редактор Л. Письман, 3 акаэ 769 тираж 261 Подписно е

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент"; г.ужгород, ул. Гагарина,101

Полимерную ппенку иэ лавсана, по-. ликарбоната и других полимеров, регистрирукщих заряженные частицы, об-, лучают пучком ионов с определенной энергией при непрерывном изменении в заданном интервале угла падения. пучка на поверхность пленки, Материал облучаемой пленки, ее толщину и тип ионов выбирают таким образом, чтобы удельные потери энергии выбранного типа ионов при прохождении через полимер превышали величину критических потерь энергии данного типа ионов в выбранном материале. После облучения полимерная ппенка травится в выбранном травителе, который удапяет дес5 труктированный вдоль трека материал.

При этом образуются сквозные цилиндрические микроканапы с существенно од.нородным диаметром ("! Х) по всей длине канала. Непрерывное изменение угла падения позволяет устранить перекрытие каналов, а выбор. углового интервала углов падения - более эффективно использовать ускоритель тяжелых ионов