Парогазовая среда для нанесения окисных покрытий

Парогазовая среда для нанесения окисных покрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ! ц 576352

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 09.06.75 (21) 2145017/02 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 15.10.77. Бюллетень ¹ 38 (45) Дата опубликования описания 13.10.77 (5! ) .Ч. Кл."- С 23С 11/08

Государственный камнтет

Совета Мннн."тров СССР по делам нзаоретеннй н отхрытнй (531 ДК 621 793 16

:54-35 (088.8) (72) Авторы изооретення Ю. А. Александров, В. Н. Алясов, В. П. Масленников, В. П. Сергеева, В. А. Яблоков и H. В. Яблокова

Научно-исследовательский институт химии при Горьковском государственном университете им. H. И. Лобачевского (71) Заявитель (54) ПАРО-ГАЗОВАЯ СРЕДА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ОКИСНЫХ

ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится, в частности, к составам среды для пиролитического нанесения окисных покрытий.

Широко известны составы паро-газовой среды для пиролитического осаждения окисных покрытий, содержащие органические алкоксипроизводные элементов (1 — 3J.

Наиболее близкой к предлагаемой по технической сущности и достигаемому эффекту является наро-газовая среда для нанесения окисных покрытий элементов ill — I V групп периодической системы пиролитическим разложением на нагретой подложке, содержащая органическое оксисоединение (3J. Ее недостатком является относительно высокая температура образования окисного покрытия, что в значительной степени ограничивает ассортимент покрываемых материалов. Например, для осаждения покрытий из окиси алюминия необходима температура 250 — 500"С, двуокиси титана — 350 †4, двуокиси кремния— более 500 С.

В целях снижения температуры процесса в качестве органического оксисоединения предлагаемая среда содержит соединение общей формулы

R„„„3 {OOR )„, где R — алкил или оксиалкил с 1 — 4 атомами углерода;

Э вЂ” элемент III или IV групп периодической системы;

R — алкил с 2 — 5 атомами углерода, m=

=3 — 4 и п=1 — 4.

Предложенная паро-газовая среда позволяет снизить температуру нанесения окисного покрытия до 200 — 300 (;. В частности, осаждение покрытий пз окиси алюминия и двуокиси титана становится возможным при 200, !

0 двуокиси кремния — при 250 — 300 С.

Для получения окисных покрытий исходные органические перекиси, например этоксиди(грег — бутплперокси) - алюминий, диэтокси-! трет - бутилперокси) — алюминий, диэтокси15 (трет-бутплперокси) -бор, и-бутокси-ди-(третбутилперокси) -бор, три (трет-бутилперокси)бор, три-и-бу токси- (трет-бутилперокси) -титан, тетра- (трет-бутилперокси) -силан, метил-(тритрет-бутилперокси) -силан, диметилди - (трет20 бутплперокси) -силан, переводят в парообразное состояние испарением при температуре

20 — 90 С и атмосферном давлении или вакуу»L 5 10- — 5 10-" мм рт, ст.

Прп контакте нагретой подложки с пароБ газовой средой протекает пиролиз последней с образованием на поверхности подложки окисного покрытия.

Используемые элементоорганические перекисные соединения получаются в результате

30 взаимодействия гидроперекиси алкила и со576352 или

С2НзОЛ1С1

Форму, Iа пзоорстcния

Составитель А. Рычагов

Texpe:I И. Карандашова

Редактор Т. Юрчикова

Коррсктор Е. Хмелева

Заказ 2310/13 Изд. М 842 Тира>к 1130

ИПО Государственного комитета Сонета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, >К-35, Раушская наб.,;t. 4/5

Подписное

Типография, ир. Сапунова, 2 ответствующих элемсптсодержащих хлоридов в органическом растворителе при — 10—

+20 С.

Например, для получения три(трет-бутилперокси) -бора эквивалентные количества гид- 5 роперекиси трет-бутила и борсодер>кащего хлорида смешивают в растворе н-пентана при

0 — 5 С, растворитель удаляют, остаток перегоняют при давлении около 10 — мм рт. ст.

Для получения алюминийорганической пере- 10 киси гидроперекись трет-бутила смешивают с соответствующими количествами (C,Н;О),Л!С! в эфире в токе сухого аммиака при — 10 С, образую1цийся осадок хлористого аммония отфильтровывают, из фильтр ата отгоняют эфир при пониженном давлении. 20

П р и м с р 1. Димстилди-(трет-бутилперокси)-силан помещают в испарптель, нагревают до 80 — 90 С и пропускают над его поверхностью аргон со скоростью 1 л/мин. Насыщенный парами перекиси газ-носитель на- 25 правляют в камеру, где располо>кение подложка из кремния, нагретая до 250 С. На поверхности подложки получа1от сплошную пленку двуокиси кремния.

Пример 2. Три(трет-бутилпероксп)-бор 30 о, помещают в испаритель, нагрсвают до 70 С.

Процесс осуществляют как в примере 1 при температуре медной подло>ккп 200 С и давлении в системе 5.10 —" мм рт. ст. Получают сплошную пленку борного ангидрида. 35

П р и м с р 3. Процесс осуществляют как в примере 1, но в качестве исходной перекиси берут три-я-бутоксп- (трет-бутилпс",окси) -титан, температуру пспарителя поддср>кивают

40 С, подложки -- 200 С, давление в системе 40

5 10 — " мм рт. ст. Получают сплошную пленку двуокиси титана.

П р и мер 4. В качестве исходной псрекисп берут дпэтокси- (трет-бутилпероксп) — алюминий, процесс осуществляют при температуре 45 пспарителя 30"С, температуре подложки из фторопласта 200 С и давлении в системе

5 10 — мм рт. ст. Получают сплошную пленку окиси алюминия.

Предло>кенная наро-газовая среда обеспечивает снижение температуры нанесения окисного покрытия, энергозатрат при осуществлении процесса, получение однородных сплошных окисных покрытий на изделиях из кремния, стекла, фторопласта, меди и других материалов. Она мо>кет быть использована в электронике при получении диэлектрических покрытий, для пассивации поверхностей, стабилизации параметров полупроводниковых приборов, в качестве маскирующих покрытий, при создании пленочных конденсаторов, оптических и фотоэлектронных приборов.

Паро-газовая среда для нанесения окисных покрытий элементов III u IV групп периодической системы пиролитическим разло>кением па нагретой подложке, содержащая органическое оксисоединенпе, отличающаяся тем, ITo, с целью снижения температуры процесса, в к" ÷åñòâå органического оксисоединения она содср>кит соединение общей формулы

R„, „Э(OOR )„ где R — -алкпл плп окспалкил с 1 — 4 атомами углерода;

Э вЂ” элемент III пли IV групп периодической системы;

R — алкил с 2 — 5 атомами углерода, т=

=3 — 4и п=1 — 4, Источники информà IIIII, принятыс Во внимание при экспертизс

1. Патент США ¹ 3809574, кл. 117--201, 1975.

2. Патент СШЛ М 3833399, кл. 117 — 33.5, 1975.

3. Разуваев Г. А., Грибов 5. Г., Домрачев Г. А., Саламатпн Б. А. Металлоорганические соединения в электронике, М., «Наука», 1972, с. 318 — 335.