Способ переноса изображения с фотошаблона на подложку с фоточувствительным слоем

Способ переноса изображения с фотошаблона на подложку с фоточувствительным слоем

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Е Л!11 ОР(. Ii() M > (В11ДН Е.!1 Ь С1 В У

Cows С@вятских

Социалистических

Республик (11) 57750б (61) Д»«0.!Н1!!ельное к авт. свил-ву (22) За„в:!ено 300372 (21) 1765393/12 с т!рисоелинениелт заявки ¹â€” (23) 11риоритет— (43) Опубликовано 25,10.77,Бтоллетень X 39 (45) Дата опубликования описании j0,1277

2 (51) И. Кл. (03 Г 7/20

Гощаротввкиый комитат

Соввта Фвииистров СССР оо ивоаы изоорвтвиий и открытий (53) УДК 774 . 777 (088.8) (72) Автор изобретения

Г.И.Алкин (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПЕРЕНОСА ИЗОБРАЖЕНИЯ С Ф > 1 О!1!АЫ!ОНА

HA ПОДЛОЖКУ С ФОТОЧУВСТВИТЕ>нг!!! 1М С.!!(г1:1!

Изобретение относится к приборост— роению и может найти применение при изготовлении прецизионных линейных оптических и индуктивных линеек, шкал, датчиков и других деталей. )

Известен способ переноса изображения с фотошаблона на подложку с фоточувствительным слоем путем расположения фотошаблона непосредственно перед подложкой и экспонирования ()J

1!!

Недостатком известного способа является то, что получаемое изображение может иметь погрешности линейных раз меров, вследствии, например, неточности изготовления фотошаблона или изме- 15 нения размеров изображения при фотохимической обработке фоторезиста. Произвести коррекцию размеров получаемого изображения путем внесения изменений в размеры фотошаблона бывает очень сложно, особенно при получении высокой точности изображения.

Целью изобретения является повышение точности в линейных размерах получаемых изображений. 25

Это достигается тем, что определяют разницу в линейных размерах изображении фотошаблона и оригинала и корректируют размеры изображения фотошаблона путем нагревания экспони- ®0 руемых элементов ь > cäå>>ьн ости или совместно до температуры, определяемой из выражения:

l. !.> г>С ггг. «» > Зг V п)7 гг где а„, и .х „— коэффициенты линейного расширения фотошаблона и подложки;

1 и 1„ — температуры нагрева фотошаблона и подложки; !.> — линейный размер изображения ори ги н ала;

1 — линейный размер изображения фоток;аблона; температура, при которой определяют разницу в линейных размерах изображений фотошаблона и оригинала, при этом экспонирование проводят при данной температуре.

Способ осуществляют следующим образом.

Вначале изображение переносится с фотошаблона, изготовленного на стек— ле, на фоточувствительный (лой подложки, изготовленной из стали. Изображение имеет вид, например, линейнои шкалы.

В результате экспонирования, про— веденного три одинаковых температурах фотошаблона и подложки, дальнейшей об577506

Составитель В.Ипполитов

Техред И. Климко Корректор Л. Небола

Редактор М.Рагова

Заказ 3681/35 Тираж 574 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва, Ж-35 Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патен, r. ужгород, ул. Проектная,4 рабогки измерения первых образцов шкалы устанавливают, что шкала имеет систематическую ошибку изготовления. Определяют коэффициенты линеиного расши— рения фотошаблона и подложки, после чего для определения необхМимои величины коррекции, аппроксимируют кривую погрешности и подставляют в формулу, указанную выше, известные величины, получая необходимые температуры нагрева фотошаблона и подложки, которые могут быть как равны, так и различны, т.е. при последующем экспонировании можно компенсировать погрешность размеров фотошаблона путем на!

5 грева фотошаблона и подложки до одинаковой температуры или при разных, выбираемых в зависимости or свойств обрабатываемых материалов. После экспонирования подложку охлаждают до первоначальной температуры, получая от- 20 корректированное изображение фотошаблона.

Предложенный способ применим не только для коррекции ошибок размеров фотошаблона, но и других систематичес- 25 них ошибок, возникающих в процессе дальнейшей обработки получаемого изображения детали.

Формула изобретения

Способ переноса изображения с фото-30 шаблона на подложку с фоточувствитель ным слоем путем расположения фотошаблона непосредственно перед подложкой и экспонирования, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точности в линейных размерах получаемых иэображений, определяют разницу в линейных размерах иэображений фотошаблона и оригинала и корректируют размеры иэображения фотошаблона путем нагревания экспонируемых элементов в отдельности или совместно до температуры, определяемои из выражения:

L-Lg

"гр р с (п п 1, э((р о ц)г где сс, — коэффициенты линейноД17 я го расширения фотошаблона и подложки; температуры нагрева фо(P л тошаблона и подложки;

I — линейныи размг р изображения оригинала; линеиныи размер иэображения фотошаблона; температура, при которой определяют разницу в линейных размерах изображении фотошаблона и оригинала, при этом экспонирование проводят при цанной темпера|уре.

Источники ин(1ормации, принятые во внимание при:>t(oпертизе:

1. Авто1(."ко свидетельство СССР

9 173606, (л. П 41 M 3/08, 1963.