Стекло
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскнк
Социалистических
Республик (11) 579241 (6l) Дополнительное н авт. свид-ву (22) Заявлено 070676(21) 2370141/29 — 33 с присоединением заявки №вЂ”
{5l) М. Кл.
С 03 С 3/10
ГЬЬЯ161тюююЮН6 Ююяютьт
61ЮЮТЮ МЮЬЮЮТЮЬЮ 666Р
11 64141 юьюббютю416
1 ЬТЮритю6 (23) Приоритет (3) УДК 666. 112. 93 (088. 8) (43) Опубликовано 0511.77Бтоллетень М 41 (45) Дата опубликования описания 231177 (72) Авторы изобретения
А. А. Герчиков, У. Я. Седмалис, р. А. Цимдинь и Я. П. Лиепинь
Рижский Ордена Трудового Красного знамени политехнический институт (7l) Заявитель (54) СТЕКЛО
Таблица 1
-Содержание, вес.В
Температура варки С
Номер стекла п0 сна .6 0 0
50, И О в 0
15,05
19,1
25 5
5,1
ll 4
17 0
57, 45
47,3
37 5
l2
19,2
13,8
5 4
Изобретение относится к стеклам с низким коэффициентом термического расширения, способным образовывать тонкие пленки на кремнии и других полупроводниковых материалах, исполь- 5 зуемых в радиоэлектронной и радиотехнической промышленности.
Известно стекло, включающее
510 49-51; А О 23-25; Mg 0 — 3, 54,5; Zn0-5-10; СФО 7-8; В оз 5 10
5,5; Со0. -2,5-3,5 (1)
Указанное стекло нв облаДает достаточно низким коэффициентом термического расширения и не способно образовывать тонких пленок при рас- )5 пылении в вакууме.
Цель изобретения — понижение коэффициента термического расширения стекла и получение из него тонких пленбк на кремнии при термическом распылении в вакууме. Это достигается тем, что стекло имеет следующий состав (по синтезу), вес.Ю: 610 — 35-60;
АГ О, — 5-25 < $0 — 5-17; 2пΠ— 1526; Сд0 — О, 5-6; Ьг0 — 0,5-6; 3 0
0 5-6.
Стекло варят в электрической печи в корундовых тиглях при максимальных температурах — 1340-1450 С.
Стекла размалывают и шаровой мельиице и полученные после рассева фракции порошка стекла 200-300 мкм и ниже 63 мкм используют для нанесение на деталь методом вакуумного терми» ческого распыления и методом плазменного напыления.
Пример составов стекол приведен в табл. 1.
0,5 0,6Ü 2,05 1340
3,0 3,3 2,1 1380
5,8 4,7 4,1 1420
579241
Ф
Физико-химические свойства сос0 05
0,07
0,10
0,07
0,09
0,12
6,0
6,8
8,3
680
41
918 с я тем, что, с целью понижения коэФфициента термического расширения и получения пленочного покрытия на полупроводниковых материалах, преиЯО мущественно на кремнии, оно дополнительно содержит 5г0 и ВаО при следующем соотношении между компонентами, вес.%:
Полученные стекла имеют ряд преимуществ по сравнению с известными.
Они обладают малыми коэффициентами термического расширения. Благодаря отсутствию екиси бора и щелочных окислов они способны сохранять свой сос ав при термическом распылении в вакууме и даже при плазменном напылении и давать также пленочные покры тия на кремнии и других полупровод- Q6 никовых материалах. Стекла являются бесщелочнымн и имеют высокие диэлектрические свойства и хорошую химическую устойчивость к воде.
610, АС,О, М о
Zn0
СаО
5v0
Вс О
Формула изобретения
Составитель A. Цуриков
Редактор С. Головенко Техред A.Áîãäàí Корректор Н.Ковалева
Заказ 4327/24 Тираж 583 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, %-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Стекло включающее 510, М О
Mg0,Zn0,СаО, отличающеетазов стекол приведены з таблице 2.
Таблица 2
3 5-60
5-25
5-17
15-26
0,5-6
0 5-6
0 5-6
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:
1. Авторское свидетельство СССР
В 380599, кл. С 03 С 3/04, 1973 °