Устройство для дозирования жидких диффузантов в поток газа- носителя

Устройство для дозирования жидких диффузантов в поток газа- носителя

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОЛЙСАНИ-Е

ЙЗОБРЕТЕЙ ИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДИ П!ЯЬСТВУ (6!) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено08.07.76 (21) 2381783/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет

2 (51) М. Кл.

Ст 01 V 13/00

Гесудеестеееивй еемнтет

6ееете Менестрее ИР ее деаи ееебретееей я етеуытей (43) Опубликовано 25.11.77,бюллетень №43 (Я) УДЫ 081.20(088.8) (45) Дата опубликования описания 07.12.77

И. B. Сербин, Г. K. Васильев и В. K. Самойликов (72) Авторы изобретения Московский институт електроняой техники (13) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДОЗИРОВАНИЯ ЖИДКИХ ДИФФУЗАНТОВ

В ПОТОК ГАЗА НОСИТЕЛЯ

Изобретение относится к доэированию материалов, s частности к устройствам для доэирования жидких диффуэантов в поток газа-носителя.

Известно устройство для дозирования жидких диффузантов, выполненное в виде поршневого доэатора Щ, Наиболее близким по технической супености к предлагаемому является устройся

so для дозирования мащких днффузантов в поток, газа-носитепя, сопержащее установ . ленные в термостатнруемом корпусе дози рувщий сосуд и смесительную камеру, со единеешые диффузионной трубкой P .

Недостатком этого устройства являет-. ся сложность управлении концентрацией диффузантов в mnoae, Цель изобретения - улучшение управления концентрацией диффузантов в 9ае» яя

Для достижения этой цели в предлагае мом устройстве диффузионная трубка снаб жена клапаном-регулятором, выполненным

s виде конуса с вершиной, обращаемой в направлении диффузионного потока. 25f

На чертеже показана принципиальная схема устройства, Устройство состоит из дозирующего сосуда 1,.смесительной камеры 2, соединенных меящу собой, диффузионной трубкой Э, нижняя часть которой служит седлом для клапане регулятора 4, внпвлнеещого и ви де койуса 6 с,,гущиной, обращенной по направлению диффузионного потока, и обте кателем 6 со сферической поверхностно, сопряженной с основанием конуса, Клайва регулятор 4 соед пяи с. приводным штоком

7 н снабжен направливщей втулкой 8, проке дашей через сосуйннтатель 9, Герметиза ция штока в сосуде.- питателе асуществпя ется сяаьфоном ХО, Для наполнения диффу зантом сосудепитатеая служит штуцер 11 с герметичной крышкой. Гаэ носитель в смеснтельиую камеру првизводнтся через штуцер 12 а отвод образовавшейся в ней наро-газовой смеси по штуцеру 13; Се суд-пятатель 9 сообщен с доэкрующкм со» судом двуми трубками 14 и 15„

Корпус 18 доватора снабжен теплоизо жщией 17, а температурный уровень диф ной камеры 2 через штуцер 13 в реакци онную камеру.

Управление концентрацией паро-газовой смеси в предлагаемом дозаторе осуществлзвется клапаномрегулятором 4 за счет изменения зазора между корпусом 5 и поверх нос гью. диф узионной трубки 3, приводящего к измененщо величины диффузионного со. противления. Увеличение етого зазора rrpH водит к уменьшенщо диффузионного сопро тивления и повышению уровня концентрации перо-газовой смеси в потоке газа-носителя, а с уменьшением зазора увейичиввется диф фузионное сопротивление» H уровень концен» трации наро-газовой смеси уменьшается

Йозатор )KHJxKBH диффузантОВ s потОк га за носителя может бьггь использован в диффузионных системах автоматизированных поточных пиний с управлением технологнчео ким процессом От электронно вычислитель иых машин при производстве микроприборов.

Предлагаемое устройство позвощгг ynpas лять концентрацией наро-газовой смеси в широком диапазоне при непрерывном доза резании и тем самим повысить качество диффузионных слоев по электрофизическнм свойствам, воспроизводимос гь их параметров и выход годных микроприборов.

581378

3 фузанта B дозирующем сосуде задается и поддерживается нагревательным устройс вом, 18.

По мере испарения жидкого диффузанта

Ф в дозирующем сосуде 1 уровень з. 9ГО уменьшается, и при неизменной темпера туре днффузанта увеличивается интенсивность: наро образования» что влечет K От клонению s сторону увеличения концентрации паро-газовой смеси от заданного уров lo

Hs. Для прецизионного поддержания уровня в дозирукнцем сосуде последний сообщен с сосудоь питателем 9 двумя патруб ками 14 и 15, одна из которых (трубка 14) соединена с сосудом-питателем через его 15 дно, а другой ее конец опущен в дозирукз

3ций сосуд ниже уровня диффузанта. Вера» ний конец трубки 15 соедннец с верхней полостыв сосуда»питателя, а ее нижний ко

89Q» Опущенкый в дозирующий СОсуду имеет @ с торца срез, плоскость которого расноло жена под углом K горизонтальной плоскос Гиу чтО уменьшает рввнодейств чошую сил по верхностного натяжения жидкого диффузанта во входном сечении втой трубки и умен шает инерционность при пОдпитке диффузан

ТОМ ДОЗИРУЮЩ9ГО СОСУД&» при уменьшении уровня диффузанта B Qo»» зирующем сосуде образуегся свободное про. странство между поверхностью диффузанта и торцом трубки 15, в которое поступает пар и, поднимаясь вверх по трубке, направ ляется в верхнюю полость сосудапитмелк

9. В вто BPMR из, ссуда-питателя AR4 фузант перетекает по Трубке i4 и заполняет дОзирующий сосуд Qo уровня f» (определив» мого полным перекрытием сеЧения среза трубки 18, в результате чего выравнивает ся давление паров днффузанта и сосуще-пи тателе и дозирукзщем сосуде и прекращает ся подпитка последнего. Йри последующем уменьшении уровня В в дозирующем со суде операция его подпитки повторяется.

Таким образом B Дозирующем сосуде автоматическИ поддеркивается заданный уровень днффузанта и тем самым обеспечи

Вается жесткая стабилизация KQHQBHTpal9lH наро-газовой смеси отводимой из смеситель

Формула изобретения

Устройство для дозирования жидких диф фузантов в. поток газа-носителя, содержа щее установленные в термостатируемом корпусе дозирующий сосуд и смеснтельную камеру, соединенные диффузионной трубкой, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целыэ улучшения управления концентрацией диф фузантов в потоке, диффузионная трубка снаб жена клапаном-регулятором, выполненным в виде конуса с вершиной, обращаемой в направлении диффузионного потока.

Источники информации, принятые во вни мание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

%186217» an G 01 Р 13/00, 1962.

2. Авторское свидетельства СССР

М23114В, кл Q 01 F 13/00, 1964.

Составитель А. Гулгазарян

Редактор Т. Иванова . ТвхредЗ. Фанта Корректор H. Ковалева

Заказ 4562/33 Тираж S07 Подписное

OIIHHIIN Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Рауиская наб., д. 4/5

Филиал ППП "11атент», r, Ужгород, ул. Проектная, 4