Адсорбционный ваакумный насос

Адсорбционный ваакумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(и 585311

83QSPeXeSVS

Союз Советских

Социалистических

Республик (б!) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 03.05.76 (2т) 2355057/25-06 (5l ) М. Кл.

Р 04 В 37/02 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликован 25.12,77. Е1оллетень № 47

Государственный иомнтет

Соввтв Министров ЮР по делам нэооретений и открытий (53) УДК 621.527..Е(0ВВЯ) (45) Дата опубликования описания 21.12.77 (72) Автор изобретения

B. М. Лебедев

Ленинградский ордена Ленина политехнический институт им. N. И. Калинина (71) Заявитель (54) АЙСОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен адсорбционный вакуумный насос, содержаший корпус с адсорбентом, расположенным HG Внутреннеи поверхности сосуда, заполненного жидким азотом 11) .

Однако в известном насосе скорость откачки вследствие небольшой поверхности контакта газа с адсорбентом ограничена, Известен также адсорбционный вакуум- ð ный насос, содержаший корпус с размешенной в нем емкостью для хладоагента, имеюшей двойные стенки, внутренняя иэ которых образует полость, соединенную с откачиваемой емкостью j2). и

При охлаждении адсорбента до температурь близкой .к температуре жидкого азота (77 К), происходит активное поглошение адсорбентом газа, иаходяшегося в насосе и в присоединенном к нему откачиваемом щ обьеме. С течениемвремени давление в объеме уменьлается. Однако в связи с тем, что такие газы, как гелий и неон, почти не адсорбируются на адсорбентах имеюших температуру жидкого азота, достигаемое насосом npe-- х дельное остаточное давле)пю определяется суммой иарциальных давлений этих газов.

Бель изобретения - повышение достигаемого вакуума.

Зто достигается тем, что в предложенном насосе в пространстве между стоиками размешена дополнительная камера, связанная через клапанные затворы с откачиваемой емкостью и источником углекислого газа.

На чертеже изображен описываемый насос, продолытьтй разрез, Адсорбционный вакуумный насос содержит корпус 1 с размешенной в ием емкостью 2 для хладоагента, пмеюшей двойные стенки, внутреннюю 3 и наружную 4. Внутренняя стенка 3 образует полость А, соединенную с откачиваемой емкостью (на чертеже не показана), 8 пространстве между стенками

3 и 4 раэ:. ешеиа дополнительная камера 5, Ъ связанная через клапаииые затворы Ь и 7 соответственно с откачиваемой емкостью и источником углекислого газа.

Внутри полссти А раэмешен слой 8 адсорбента. Открывание и закрывание клапацпых

585311 з затворов 6 и 7 осуществляется мехвниэмом

9 прииг;дв.

Работает насос следующим образом.

В исходном положении затвор 6 открыт, а элтвор.7 закрыт. В емкость 2 заливает ся жидкий хладоагент (азот}. Адсорбент

5 охлаждается и поглощает гвэ. Таким образом, происходит отначка полости А, камеры 5 и присоединенной откачиваемой емкости до давления 1,7.10 торр. По достижении

30 этого давления механизм 9 приводв одновременно закрывает клвпанный затвор 6, отсекая объем камеры 5 от полости А, и открывает клвпвнный затвор 7, через который производится напуск углекислого газа в камеру 5. Углекислый газ полностью конденсируется на внутренней поверхности камео. ры 5, охлажденной до 78 К, образуя при этом тонкий твердый слой углекислоты

-4 (10 см). Звтем механизм 9 привода зэк- gg рывает клвпвнный затвор 7 и открывает кнвпанный затвор 6. !!ри этом слоем твердой углекислоты осуществляется криоэахввт i плохо сорбирующихся газов,;и таившихся в

25 отквчиваемой емкости насоса, и общее дввление в нем уменьшается. формула изобретения

Адсорбционный вакуумный насос, содержащий корпус с рвзмеаенной в нем емкостью для хлвдовгента, имеющей двойные стен«и, внутренняя из которых образует полость, соединенную с отквчиавемой емкостью, о тл и ч а ю ш и и с я тем,что, с целью иовыщения достигаемого вакуума, в прострвнстве между стенками рвзмешена дополнительная камера, связвннвя через клариные звтворы с отквчиввемой емкостью и источником углекислого газа.

Источники информвции, принятые an внимвние при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

N> 363811, кл, F 04 В 37f02, 1967.

2. Волчкевич А. И. Высоковвкуумные адсорбционные насосы, M., «щв>пнностроецце

1973, с. 131.

585311

Составитель О. Ти.иииа

Редактор Т. Загребельная Техред Н. Анарейчук Корр. ктор Л. Лакнда

Закта 4983/24 Тираж НЕ 7 (!одиисиое

UIllIIII Государствеиного комитета Сои та Министров CCCP ло делам изобретеиий и открыл ий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Рауц скпя иаб„д. 4/5

Филиал Ill Ill 1!атент, r. Ужгород> ул. Проектная, 4