Припоечное стекло
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Союз Советских
Социалистических
Республик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К. АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ()1) .587:110
% ,б. (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено300676 (2)) 2377021/29-33 с присоединением заявки М— (23) Приоритет— (43) Опубликовано 050178.Бтоллетень И 1 (51) М. Кл.
С 03 С 3/10
Гввцвввтввиин% иавитвт
Свввта Миииатрав CCCP ив 4виаа иаабрвтвиий и вткрыткй (53) УДК
666.113 (088,8) (45) Дата опубликования описаиияОа.01.78 (72) Авторы В.Ф. Волкова, М.Б. Гаэян, Н.Ф. Иванова, E.H. Николаев, изобретения Г. Л. Семенов, К. Е. Францева, С. Н. Шаров и Л. Ф. Юрков (71) Заявитель (54) ПРИПОЕЧНОЕ СТЕКЛО
Приборы помещают в вакуумную камеру и нагревают до температуры герме30 тиэации (560-590 С1, вакуумируя при
Изобретение относится к легкоплавким припоечным стеклам, применяемым в электровакуумной промышленности, и может быть использовано для герметизации приборов, в частности вакуумных интегральных схем.
Известны составы стекол, содержащие p» АК20а, В(Оз а также Вд Оэ, РЬ О, Сс)0 у Оа ГРа0 и некоторые другие компоненты. Такйе стекла обеспечивают создание вакуумплотных спаев и могут быть использованы при температуре герметиэацйи
400 700оС.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является следующий состав припоечного .стекла.
Этот состав содержит, (вес.Ъ)а
8(Ох 15-75т СОО 2-10т АР 0 1,58,0; З вОэ 10-80; ВоО 0,5-10 (13.
Стекла такого состава позволяют проводить герметизацию вакуумных интегральных схем в вакууме 10 мм.рт.ст. при 600-650оС.
Недостатком этого стекла является то, что иэ-за низкой растекаемости при температуре герметизации, характеризуемой углом смачивания 70-105 шов между соединяемыми деталями получается неоптимальной конфи урации, что вызывает повышенный брак по натеканию приборов во время испытаний и эксплуатации.
Цель изобретения — Уменьшить угол смачивания, тем самым улучшить растекаемость стекла при температуре применения. укаэанная цель достигается тем, )О что в известный состав припоечного стекла, содержащий S i O, А Рх03, 8(а0а дополнительно вводЯт Сте 0 пРй следУющем соотношении компонентов, вес.В:
Б (0 < О, 5-60; 4 Р< Î О, 5-8 тВ ао 35-90 и Ствp> 0,5-60.
Конкретные примеры составов разработаного припоечного стекла и его свойства приведены в таблице.
Укаэанные составы варят в силито20 вой печи при 1000 С и выливают на стальную плиту.
Полученные стекла мелют в яшмовой ступке и просеивают через сито
10000 отв/см, а затем готовят суспен25 зию стекла в изоамилацетате, которую наносят на торцы стенок прибора.
587110 растекаемость стекла при температу-° ре герметизации по сравнению с известным. Это позволяет снизить брак ври изготовлении вакуумных интегральнгх схем.
0,8
015
560
1 с 9
590
60,0
8,0
0,7
565
580
6,9
3,0
7,7
1,7
570
16,0
0,9
565
1,4
2,2
560
Формула изобретения
0,5-60,0
0,5- 8 0
35,0-90,0
0 5-60,0
6i0q
А Н,05
В1 йео
Исъ-дачники информации, принятые во внимание при экспертизе:
1. Авторское свидетельство
9 541805, кл. С 03 С 3/10, 02.07.1974.
Составитель В.Резник
Редактор И.Квачадзе Техред g.емеца Корректор Е.Папп
Заказ 75/18 Тираж 595 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР йо делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 этом весь объем до 10 мм.рт.ст. В этих условиях происходит герметизация прибора. Предложенное припоечное стекло имеет угол смачивания от
48 до 58а, что позволяет улучшить
73,7 25,0
35,4 2,7
51,1 40,2
35,0 55,1
90 ° 0 0,6
82,6 0,5
36 4 60,0
Припоечное стекло, содержащее
&(0» А Р О 3 13(>O»o т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения 1гла смачивания, оно дополнительно содержит 480. при следующем соотношении компонентов, sec ° %:
Хорошее
Удовлет.
Хорошее
Удовлетвор.
Хорошее
Хорошее
Хорошее