Устройство ввода многокомпонентной газовой смеси в реактор для осаждения слоев

Устройство ввода многокомпонентной газовой смеси в реактор для осаждения слоев

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е (ii)587987

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Савв Советских

Социалистических

Республик Ъ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 06.01.75 (21) 2094225/23-26 с присоединением заявки № (51) М. Кл.- В 011 17/32

Госуларстеенный комитет (23) Приоритет

Совета Министров СССР ло лолам изобретений н открытий (53) УДK 621.315.592 (088.8) (43) Опубликовано 15.01.78. Бюллетень № 2 (45) Дата опубликования описания 30.01.78 (72) Авторы изобретения

H. C. Веремейчук, 1О. В. Кириллов и Н. А. Горлов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ВВОДА МНОГОКОМПОНЕНТНОЙ ГАЗОВОЙ

СМЕСИ В РЕАКТОР ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ

Изобретение относится K устройствам, предназ|наченным для газового химического осаждения слоев, .преимущественно полупроводниковых материалов, и может быть использовано в электронной промышленности.

Известны устройства ввода газовых смесей, используемые в реакторах для осаждения слоев, выполненные в виде трубчатых колец и Т-юбразных трубок с отверстиями (1). Недостатками таких устройств является форма, непригодная для использования их в вертикальных реакторах и нерегулируемость раз. меров отверстий.

Известно устройство ввода многокомпонентной газовой смеси, включающее смесительную камеру и приспособление для подачи в нее компонентов, выполненное в виде взаимоизоли рованных вертикальных коллекторных хамер с рядом о тверстий в сплошной фронталыной (по отношению распространения потока газа) .стенке каждой камеры, расположе н ных по высоте стенки (2).

Недостатком такого устройства является выполнение парохода для газа во фронтальных стенках камер в виде Отдельных отверстий, что не позволяет регулировать подачу газовой смеси и приводит к неоднородности смешения.

Для повышения однородности смешивания коипоне нтов в предлагаемом устройстве приспособление для подачи компонентов выполнено в виде отдельных впускных камер, соединенных со смесительной камерой общей стенко й, имеющей, регулируемые зазоры, вы5 полненные под углом 35 — 40 к горизонтали.

Общая стенка закреплена с помощью гибкой пластины и снабжена регулировочными винтами, установленными во впускных камерах с помощью сильфонов. Стенки .смесителыной

10 камеры, контактирующие с реактором, выполнены в виде отдельных пластин, установленных с зазором и под углом 110 — 120 по отношению друг к другу.

15 На чертеже изображено описываемое устрой ство,,вертикалыный разрез.

Устро и ство ввода состоит из двух впускных камер 1 и одной смесителыной камеры 2.

Впускные камеры 1 разделены между со20 бой стенкой 3. Задняя стенка каждой впускной камеры снабжена двумя входными штуце рами 4. Камеры 1 имеют общую сте нку 5, отделяющую их отсмесительной камеры 2 и имеющую регулируемые зазоры, выполнен25 ные под углом 35 — 40 к горизонтали.

Общая стенка 5 закреплена с помощью гибкой пластины 6 и снабжена регулировочным винтом 7, установленным с помощью сильфонов 8, герметично введенных вовпуск30 ные камеры 1.

587987

Смесительная камера 2 имеет сборочные стенки 9, выполненные.в виде отдельных пластин, установленных с зазоро м 10 под углом

110 — 120 по отношению друг к p!pyry.

Устройство работает следующим образом.

Предварительно перед включением реактора для осаждения слоев устанавливают необходимую ширину зазоров устройства ввода.

При этом регулирование ширины зазоров осуществляют поступательным пеpeMeIIIением .стенки 5 и винтом 7. Особенность регулирования параметров зазоров состоит в том, что благодаря герметичному, вводу ви нта 7 в полость впускной камеры оно возможно и в ходе процесса.

После установки ширины зазоров включают реактор.

Потоки тазовых компонентов поступаютчерез штуцеры 4 в камеры 1, наполняя их по всей высоте. Через регулируемые зазоры в стенке 5 потоки входят под острым углом друг к другу в камеру 2, пересекаются, падают на наклонные стенки 9 камеры 2 и смешиваются.

Поток образовавшейся газовой смеси через зазор 10 поступает .в реактор для осаждения слоев.

Наличие смесительной:камеры, выполнение составных частей ее стенки наклонными по отношению к направлению входящих з нее потоков компонентов и размещение регулируемых зазоров под углом друг к другу при водит к увеличению степени однородности потока газовой смеси, поступающей в,реактор для осаждения слоев.

Размещение средства перемещения общей стенки внутри герметичной камеры, а средства управления им вне камеpbI, наряду с гибким типом крепления общей .стенки, поз воляет производить регулировку зазоров непосредственно в ходе процесса, не прерывая работы устройства (без разгерметизации ipeактера) и производить корректировку процесса в ходе его.

Применение устройства способствует повыб шению процента выхода годных слоев, снижению нерационального расхода рабочего времени на обслуживание, упрощает эксплуатацию установки.

>о Формула изобретения

1. Устрой|ство ввода м нопокомпонентной газовой смеси в реактор для осаждения слоев, включающее,смесительную камеру |и приспо15 собле ние для подачи в нее компонентов, отл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью по вышения о днородности смешивания компонентов, приспособление для подачи компонентов выполнено в виде отдельных впускных KaMeip, соединенных со смеситель ной камерой общей стенкой, имеющей регулируемые зазоры.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью регули рован ия подачи газовой смеси, общая стенка закреплена с помощью гибкой IIJIBGTHIHbI и снабжена регулировочными винтами, установленными во впусеных камерах с,помощью сильфонов.

3. Устройство ао пп. 1 и 2, отлич а ющееся тем, что зазоры,в общей стенке выполнены под углом 35 — 40 (K горизонтали.

4. Устройство по пп, 1 — 3, отличающее с я тем, что .стенки смесительной камеры выполнены в виде пластин, установленных с зазором и под углом 110 — 120 по отношению

35 друг к руту.

Источ ни ки информации, принятые во внима ние lIIipH экспертизе ,1. Электронная промышленность. 1973, №7, с.,82.

4О 2. Электронная промышленность. 1973, Хо 3, с. 84.

587987

Составитель В. Безбородова

Техред И. Карандашова Корректор И. Федорова

Редактор И. Марголис

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2984/13 Изд. № 122 Тираж 947 Подписное

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5