Вакуумный насос

Вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1111 59048 l

Со1оз Советских

Социалистнческих

Республик (61) Дополнительное к авт. свпд-ву (22) Заявлено 21.06.76 (21) 2398858, 25-06 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.01.78. Бю,-.летень № 4 (45) Дата опубликования ош са1 1я 10.02.78 (51) М. Кл.з F 04В 37/02

Н 01J 7/18

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло лолам изобретений и открытий (53) УДК 621.528.3 (088.8) (72) Авторы изобретения

Б. И. Веркин, А. Г. Гимпелевич, Ю. А. Захарченко, В. Ф, Удовенко и И. Я. Фуголь

Физико-технический институт низких температур

АН Украинской ССР (71) Заявитель (54) ВАКУУМ Н Ы Й НАСОС

Изобретение касается вакуумной техники.

Известны вакуумные насосы, содержащие испаритель геттера, расположенный в охлаждаемом корпусе (1).

В этих насосах испаритель и охлаждаемая поверхность корпуса неподвижны, поэтому II2пыление геттера на поверхность неравномерно.

Это ограничивает быстроту откачки насоса.

Известен также вакуумный насос, содер;кащий герметичный охлаждаемый корпус и испаритель геттера, размещенный внутри защитного кожуха (2).

Этот насос является наиболе близким решением к описываемому изобретению по своей технической сущности.

В таком насосе напыление геттера происходит на подвижный сорбционный элемент, охлаждаемый за счет механического контакта с холодной стенкой корпуса. Это приводит к ухудшению условий охлаждения и снижению быстроты откачки насоса.

Целью изобретения является повышение быстроты откачки насоса.

Указанная цель достигается тем, что испаритель и кожух выполнены с возможностью перемещения относительно поверхности корпуса.

На чертеже схематически оказан предлагаемый насос в разрезе.

Внутри герметичного охлаждаемого корпуса

1 установлен нспарптель 2 геттера, размещенный внутри защитного кожуха 3. Испаритель

2 и кожуx 3 закреплены на валу 4, что обеспе5 чп1вает нм возможность осевого перемещения относительно поверхности корпуса 1.

11рн вращешш вала 4 нспаритель 2 перемеill,àcTcÿ относительно поверхности корпуса 1, прн этом проис: однт равномерное напыление

10 c.ID I IiciIOcpcgcTBcilili3 113 ох,таждаем 1 Io IIQBepxность. Кожух 3 защищает откачиваемый объем от запьlлсння 1Iарами геттера> что Величнвает быс1роту откачк11.

Формула изобретения

1 акуумшш llасос, содержащий расположенный в герметп ном охлаждаемом корпусе испаритель геттера, размещенный внутри защитного кожуха, от7нчающийся тем, что, 20 с целью увел" .ения быстроты откачки, испарнтель и кожух выполнены с возможностью перемещения относительно поверхности корпуса.

Источники информации,, рпнятые во внимание при экспертизе

25 1. Данпл1ш Б, С. Основы конструирования вак 1 ук1ных clicTcli. М.-Л., «Энергия», 1971, с. 76.

2. Авторское свидетельство СССР № 559037, кл. F 01В 37,02, 1975.

590481

Составитель H. Юшин

Тсхред И. Михайлова

Корректоры: Л. Котова и E. Мохова

Редактор Н. Суханова

Подписное

Типография, пр. Сапуноза, 2

Заказ 3176/10 Изд. М 148 . нра;к 881

НПО Государственно о компт TB Совета Мш;истров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5