Фотографический материал

Фотографический материал

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

н„-. °,..... г

L) 7

О П И С А Н И Е ("i893579

Союз Советских

Социалистических

Реслублик

ИЗОБРЕТЕН ИЯ ЫТ Р CSegarae C SV (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 08.06.76 (21) 2369542/23-04 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 15.02.78. Бюллетень № 6 (45) Дата опубликования описания 24.02.78 (51) 41.Кл. 6 03 С 1/72

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 771.5(088.8) оо делам изобретений н открытий (72) Авторы изобретения

В. В. Свиридов, Г. А. Браницкий и В. Г. Соколов

Белорусский ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. В. И. Ленина (71) Заявитель (54) ФОТОГРАФИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ

Изобретение относится к фотографическим материалам, проявление которых осуществляется в растворах физических проявителей.

Такие фотографические материалы, могут быть использованы, например, для изготов- 6 ления фотошаблонов с высоким разрешением для полупроводниковой промышленности.

Известен фотографический материал, проявляемый физическим проявителем, состоящий из подложки, светочувствительного слоя из двуокиси титана и защитного слоя водопроницаемого полимера, например полиакрилата или поливинилового спирта (1). Активирование светочувствительного слоя известного материала проводят путем высокотемпературного прогрева материала в атмосфере, содержащей кислород. Недостатками известного фотографического материала являются его невысокая светочувствительность, а также возможность загрязнения светочувст- 2О вительного слоя ионами щелочных, металлов и другими примесями из подложки при высокотемпературном прогреве:материала, вследствие чего изменяются фотографические õàрактеристики материала.

Целью изобретения является повышение светочувствительности материала и стабилизация его фотографических параметров.

Поставленная цель достигается тем, что известный фотографический материал дополнительно содержит между подложкой и светочувствительным слоем слой двуокиси кремния толщиной 200 — 600 A.

В соответствии с изобретением для получения слоя двуокиси кремния используют известные способы. В частности, слой SiO> может быть получен путем нанесения на подложку кремнийорганических соединений, подвергающихся гидролизу прн контакте с влагой воздуха. Наилучшие результаты получают при нанесении на поверхность подложек растворов кремнийорганических соедипений в третичном бутиловом спирте. Для обеспечения лучшей адгезии материал после нанесения слоя прогревают в окислительной атмосфере, например на воздухе при 400 С

30 лин.

Светочувствительный слой двуокиси титана формируют на поверхности слоя Si02 нанесением раствора полибутоксититана в третичном бутиловом спирте известным способом (окунание, вращение смоченного образца на центрифуге, полив) с последующим прогреванием на воздухе при 400 †6 С

2 — 4 час. Толщина светочувствительного слоя в зависимости от концентрации раствора н

1 метода нанесения может быть 50 — 3000 А, 593179

Показатель

15 (27. (0"

) .10-з

Яа,, дж/см

5,3

4,8

> 4

>- 4 (0,05

< 0,05

0,003 í. AgNO

Б (г/л) Метол 5

Лимонная кислота 20

А (г/л)

CuSO4 - 5 Н20

Сегнетова соль

NaOH

Триэтаноламин

4 мл/л

На светочувствительный слой двуокиси титана наносят слой водопроницаемого полимера, например поливинилового спирта (ПВС), толщиной 0,05 — 3 мкм с последующи м высушиванием при нагревании до

100 †1 С.

В качестве подложки могут быть использованы любые материалы, устойчивые к нагреванию до 600 С в окислительной атмосфере — стекло, кварц, слюда, ситалл, керамика и др.

Пример 1. На стекло поливают 2 — 6%ный раствор тетраэтоксисилана (T30C) в третичном бутиловом спирте (мольное соотношение компонентов раствора ТЭОС:

: Н20: НС1=1:4: 0,1), избыток раствора удаляют вращением образца .на центрифуге и после испарения растворителя прокаливают при 400 С 30 мин. Таким же способом наносят слой пленкообразующего раствора (1—

10%-ный раствор полибутоксититана в третичном бутиловом спирте) и прокаливают при 550 С 2 час. После охлаждения образца пленку Ti02 покрывают слоем ПВС из

1 — 10%-ного водного раствора и высушивают при 100 — 120 С 30 лаан.

Фотослой экспонируют полным спектром ртутно-кварцевой лампы ПРК-2 на .расстоянии 25 см. Время экспонирования через трафарет 0,1 сек, через фотопластинку или фотошаблон 3 сек. После экспонирования фотослой проявляют в серебряном физическом проявителе состава:

Части А и Б берут в соотношении 1: 4.

Компоненты раствора сливают непосредственно перед проявлением. Температура проявления 20 С, время проявления 4 мин.

Получают негативное изображение.

Пример 2. Условия приготовления фотографического слоя такие же, как в примере 1. Время экспонирования через трафарет

5 сек, через фотошаблон 20 сек. После экспонирования фотослой проявляют в медном .физичеокдм проявителе состава:

30%-ный водный раствор формальдегида.

Части А и Б берут в соотношении 8: 1.

Температура проявления 20 С, время проявления 10 мин.

П р,и м е р 3. Условия приготовления, экспонирования и обработки фотографического материала такие же, как в примере 1, но фотографический материал не имеет между подложкой и светочувствительным слоем слоя SiO .

Полученные значения фотографических характеристик предлагаемых слоев 1,и слоев П без подслоя Si02 приведены в таблице.

Сопоставление результатов свидетельст25 вует об очень .существенном влиянии на фотографические характеристики материала наличия подслоя SiOq. светочувствительность увеличивается почти в 300 раз.

Стабилизация фотографических характе80 ристик фотослоев с подслоем SiO, заключается в том, что при использовании в качестве подложек различных по своей природе материалов фотографические характеристики изменяются незначительно, в то время как без подслоя Si02 фотографические ха рактеристики фотослоя определяются в основном материалом подложки.

Формула изобретения

1. Фотографический материал, состоящий из подложки, светочувствительного слоя из двуокиси титана и защитного слоя водопроницаемого полимера, проявляемый физиче45 ским проявителем, отл ич а ю щи и с я тем, что, с целью повышения светочувствительности;материала и стабилизации его фотографичеоких параметров, он дополнительно имеет между подложкой и светочувствительным

50 слоем слой двуокиси кремния толщиной

200 †6 А.

2. Фотографический материал по п. 1, о тл и ч а ю шийся тем, что светочувствительо ный слой имеет толщину 50 — 3000 А, а защитный слой водопроницаемого полимера

0,05 — 3 мкм.

Источник иноформации, принятый во внимание при экспертизе:

1. Патент США № 3409429, кл. 96-27, 1968.