Негативный фоторезист

Негативный фоторезист

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е (!!(595694

ИЗОБРЕТЕН ИЯ т)о(оа 4оветсиих

Социалиотичвоиих

Ресиувлии

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ б

° ° б >- 1

) .> )бб ббУбб)б) °,>Вб -. »б». » (01) Доно.!1!и!с.!!110(i(авт. c ill,(-il) (22) Заявлено 06.10.75 (21) 2179094/23-04 (51) Ч. 1 ;1. - G ОЗС 1, 52 с присоединением заявки М

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изооретеннй и открь>тий ()3) Приоритет (13) Опуб.шков;(но 28.02.78. 11:о...1cTc»I М 8 (-15) Д!11 <1 oil ) o, i ii!(01321!115(01!1> с !! i! !51 20.03. > 8 (53) У, (1х 771.1: 655.22 (088.8) (72) Авторы изобретения В. Г. Никольский, Д. Д, Мозжухин, В. И. Юкина и С. И. Иванов (71) Заявитель (54) НЕГАТИВНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ

16 21

2- 8

Изобретение относ!пся к области свсточувсlIIHTc)I! II! Ix материалов, в частности негативных фоторезистов, и может быть использовано при полу(спин копий, например, в микроэлектрok! икс.

Известен негативный фоторсзист, включающий светою вствптсльпу(0 компоненту, эпоксидную смолу и орг21! Iiчсский растворитсль.

В качестве светочу(3cTI ительпой компонснTl I псгатиl)п(.(й (poTopc311cT содсри и(2,(>-0!!в(азии,! 00() из!!. I! Iдсн) -. i c1 li.(цп к.1 01 ñ кс i i i 0. i () 1.

О1п!1 ко входяп(((я ч Iсомпо;3иц(!10 13cTÎ 13 !301 -! (птс 1!)НЕ(Я КОМ ПОПСI112 ii(. ПС)ЗВО 75ICT СОЗ I2T!> высококош,сп р(!ро!3!(нш.ш (с)олсс 20 )!„) Негативный фоторсзпст, гго н свою о гсредь не 1(o- 15 з(3оляст 7(о(>ит!.ся формирования фотослоя, обеспечивающего низкую микродсфектность, которая для таких фоторсзистов составляет

25 — 40 проколов на 1 см -, а коэффициент контрастности на стадии проявления пе превы- 20 шает 5 — 8 отп, сд. Кроме того, неоднородность свсточувствителы ои компоненты приводит к певоспроизводимости фотолитограсричсских параметров.

С цель!О создания псГативно! о Ч)оторезиста 25 с повышенной контрастностью и стабильностью фотолитогра(1)ических параметров во времени предлагается в состав известного негативного фоторезиста в качестве светочувствительной компоненты вводить эфир 1,2-наф! «х!(ilollдпазнд- (2) -5-с1 7!>@01>ilc;IQTI>I kl )clloë(!) ОР .)1 !! Л1>ДС Гl)lДНО!! С.\(О 1 Ы НОВОЛ 2 >и!ОГО 1 !1!12 С

coo!)!oii!ci!i!c)! мол. веса, вес. (>(о .

1200 40 — 50

950 8 — 10

400 800 Остальное

Iij)!! Слс,(уlol(j()i соотношении компонентов, () ) 0

;)фир 1,2-«;: )Tume!»o»дназнд() -5-су 11>(j)01(IIc.70T! I u (1>сноп форм адI>äcãllällo) j

СМОЛЫ НО!3(>С(;1 !НОГО Tllll!i, ) !10 К(I i;l l l . i:!

Орган !1 1((к!1!> р;1(т!3ор(> тс:I ь О("111>7ьнос! >) >Л 1)li1;151 С (l i(Пl), 1ЦПЛ >IРO(«1Н(151 П;1фТО Хи(К)H,) Iiii3ПДО >1, ОГP;1111!Ч(НП(1Я (3ЬIООРОМ ПО МОЛСКУлярно-вссовому p;ic(lpcдслснпю фснолфор>12.7I>,(сгидно1! Смолl>1, ооеспечиваст увеличсil li(ко.)фф111111(и та НОНТр 2(. Tilo(Ги Ilpo5I!3JIE Ния ,io 1() --20 отц. сд. (и как слсдствие этого мс ньш(с отк 1(>ii(1!l с гсÎмстр(ш микрорсльс(i) 2), (1 T! i l()i((б О. l k)1111 10 ВО(. II p 0112 130д и м Ость (j) o To. 11! T o à р 2 (1) 11 1(с к и х и 1 р 2 м ст р О в, поэтому нрсдл2Гаемыи . >1!11ернал хlожно использовать

13:>!! КРО .>(. IС! )О!i(IК(>)1)11 COЗДНHI!II 1 ОМ!!ОЗПЦИI! с улучшенными защитными свойствами, позволяющих получать негатньные нзооражения после травле!Н(я с минимальными размерами

595694

Формула изобретения

40 — 50

8 — 10

Остальное

Составитель Б. Сорокин

Редактор В. Мирзаажанова Тскрел Л, Гчачкога

Корректоры: Л. Денискина и E. Хмечева

3 1i 1 30! 15 11вл. X 250 Т: рож 568

НПО Государственного ковкитста Сове га Мини«тров СССР

IIo лслаги изобретений и открытий

113035, Москва, 7К-35, Рву|и«квя иаб., д. 4 5

Поппи Iloc

Типография, пр. Сапунова, 2

Негативный фоторезист, включающий светочувствительную компоненту, эпоксидную смолу и органический растворитель, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью повышения контрастности и стабильности во времени, он содержит в качестве светочувствительной компоненты эфир 1,2-нафтохинондпазид-(2)-5сульфокислоты и фенолформальдегидной смолы новолачного типа с соотношением мол. веса, вес. %:

400 †8 прп следующем соотношении компонентов, всс. %:

Эфир 1,2-нафто. (инондиазпд(2) -5-сульфокпслоты и фе олфорч альдегидной смо",û повод", шого типа 16 — 24

Эпоксидная смола 2 — 8

Органический растворитсль Остальное

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. авторское свидетельство СССР №433868, 15 кл. G 03C 1/52, 1972.