Устройство проекционной печати фотошаблонов

Устройство проекционной печати фотошаблонов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Сокиалистических

Реслублик

11ц 600502 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) 3 аявлено 23.11.76 (21) 2423498/18-10 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.03.78. Бюллетень ¹ 12 (45) Дата опубликования описания 13.03.78 (51) М. Кл. - 6 03В 27! 12

Н 011 21/70

Государственный комитет

Совета Министров СССР ао делам изобретен и и открытий (53) УДК 655.287(088.8) (72) Автор изобретения

А. Е. Шабанов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ПРОЕКЦИОННОЙ ПЕЧАТИ

ФОТО ШАБЛОНОВ

Изобретение относится к устройствам для фотопечатания и может найти применение в электронной промышленности при изготовлении интегральных схем.

Известны микрофотонаборные устройства 5 для изготовления фотошаблонов, содержащие двухкоординатный стол с гнездом для крепления фотопластин, наборную диафрагму, проекционный об ьектив, осветитель, датчик ориентации по штриховым знакам il систему управления (1).

Недостатком известных устройств является их сложность.

Известны устройства проекционной печати фотошаблонов, содержащие корпус, внутри которого размещены светооптическая система с источником света и конденсором, высокоразрешающий объектив и средство защиты от пыли для фотооригинала, установленного в предметной плоскости высокоразрешающего 0 объектива (2).

Для таких устройств характерна сложность смены фотооригиналов.

Чтобы упростить конструкцию предлагаемого устройства, средство защиты от пыли для фотооригинала снабжено крышкой, верхняя часть которой обращена к высокоразрешающему объективу и выполнена из плоскопараллельного оптического стекла, размещенного за пределами глубины резкости предметпой плоскости высокоразрешающего объектива.

На фиг. 1 схематически показано средство защиты от пыли для фотооригинала с проецированием фотооригинала вверх; иа фиг.

2 — общий вид устройства.

Устройство состоит из корпуса 1, светооптической системы с источником 2 света, коп;, ст11иов;Iснпои на 1 00p;IIIиатиом столе 6, средства защиты от пыли для фотоорш инала 7 с рамкой 8, крышкой 9, дно которой выполис;ю из плоскопараллелы|ого оптичсскогO стекла 10.

Устройство работает следующим ооразом.

Фотооригинал 7, прикрспленньш к рамке 8, очищениьш от частиц пыли в контролируемой среде и закрытый илоскопараллсльным 0IITIIческим стеклом 10, устанавливается в оптическу10 систсму и экспонируется иа фотопластипу 5, установленную иа координатном столе 6, который может перемещаться с опредслеп1 ым шагом для пол чения р азмножечп10го изображения.

Расстояние от предметной плоскости до дна крышки зависит От конкретной конструкции оптической системы.

Оснсвным требованием является размещение оптического стекла за глубиной резкости предметной плоскости с целью просцпрования

600502

Рог. 2 частиц пыли, осевших на стекло за плоскостью изображения, а следовательно и непропсчатыванпя и); па фотопластине 5.

Фотоорпгпналы, защищенные таким образом, могут «ранит! ся в кассстак и устанавливаться в предметную плоскость как вручную, так и автоматически.

Формула изобретения

Устройство проекционной печати фотошаблопов, содержащее корпус, внутри которого размещены светооптпческая система с источником света и конденсором, высокоразрешаю-! цп и !)01 еKT1 !3 II 1) c;IcTI30 зашиты QT пыл!! Для (!)!) )1)ори! IIII tла, 3 ct t ltol3, lcIIIIQI и пред3!ство!!

llлоскости объектива светооптической системы, отличающееся тем, что, с целью упрощс ппя конструкции, средство защиты от ныли для фотооригинала снабжено крышкой, верхняя часть которой обращена к высокоразрешающему обьективу и выполнена из плоскопараллельного оптического стекла, размещенного за пределами глубины резкости предметной плоскости высокоразреша)о10 щего объектива.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 447б64, кл. G ОЗВ 27/32, 1974.

15 2. Патент Франции № 2141205 кл. В 44D

5/00, 1973.