Способ определения качества коррекции микрообъектива

Способ определения качества коррекции микрообъектива

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Класс 4211, 35„

Ко 60129

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ю. В. Коломийцов

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КАЧЕСТВА КОРРЕКЦИИ

МИ КРООБЪЕКТИВО В

Заявлено 2 з!арта 1010 г. за М 313061

Опубликовано в «Бюллетене изобретений и товарных знаков» М 10 за 1964 г.

Предметом изобретения является способ испытания микрообъективОв, основанный на применении оптической схемы, являющейся видоизменением интерферометра Тваймгна.

Отличие предлагаемого способа от известных заключается в том, что обе волны, применяемые в исследовании, создаются совершенно

Одинаково, а именно при поъ! Ощи вставлснных В каж!ую BpTBb интерферометра сферического зеркала и микроооъектива, фокус которого совмещается с поверхностью или центро»! кривизны зеркала.

На чертеже изображена оптическая схема прибора для осуществления предлагаемого способа.

Прибор имеет источник 1 монохроматического света, конденсор 2, диафрагму 8 с круглым отверстием и стеклянную пластину 4. Стеклянная пластина 4 состоит из двух плотно склеенных параллельных пластинок с тонким полупрозрачным слоем серебра между !!ими. 3а пластиной 4 установлен микрообъектив 5 хорошего качества. Испытуемый микрообъектив б того же увеличения, что и объектив 5, устанавливается геред пластинкой 4. Фокусы объективов совмещаются с фокусами двух одинаковых сферических зеркал 7 и 8 достаточно хорошего качества., !ля устройства этих зеркал можно использовать поверхности двух одинаковых линз, посеребренных или алюминировачных, с целью получения большего количества света.

Описываемый интерферометр можно навинтить на тубус обыкновенного микроскопа вместо объектива.

Свет от источника 1 собирается конденсором 2 на отверстие диафрагмы 8, находящейся на расстоянии нормальной длины тубуса от объективов 5 и б. Пластина 4 разделяет на два пучка расходящиеся лучи, подающие на нее. Пучки эти затем собираются объективами 5 и б в точках 9 и 10, с которыми совмещаются центры кривизны или поверх¹ б0129

:!Ости сферических зеркал 7 и 8. Вследствие этого, отразившись ог зср1:,ял, пучки Возвращаются к пластине 4 теми путями, какими шли От нее, и соединяются ею в один пучок.

При хорошей юстировке прибора «окуляр микроскопа Вид:ю о.но резкое изображение отверст!!я диафрагмы, состоящее из двух совпадаloщих изООРажcни!1 этОГО Отге(зстия. Выl!УВ ОK)>лЯР и акKОк102iиРО«213 глаз на плоскость выходного зрачка обьектнва 6, можно увидеть интерфЕРСНИИОННую 1:.2PTIi«V, ПО ВИДУ КОТОРО!! 310)K110 СУДИТЬ О 13ЕЛИЧИНС BOЛПО«ОЙ 200pp2HHH HI! Оси ОоьpKTHВЯ и, следовательно, О еГО кя !Сстве.

Если объективы 5 li б на«сдены на пог>ерхности, а н)с:!а це !Tpl>! кривизны зеркал 7 и 8, ошибки поверхностей последних исключаются.

НО В таком ва(зи2нтс зlетод нрнГО !с;! лишь для 00112 р3 жен„.lя сизlметри тlЕСКИХ ОШИООК.

Воз. lожно пР11ъ101!е!1Ие ОслОГО сВсТ2 с ИСЛью УлУ1HIIcHI!ß Ви;!и. 10 ти полос. )Та «озх!Ои(ность появляется от того, что интсрферируюшие пучки проходят пример!1О ОдинякОВыс пути В стекле. рс,l,мет изобрстения

Способ определения качества коррекиии 3!H!(ðooo.ьсктliv2 с помощью и!Iтс(зфе(эометря ВЯЙ мана, !3 КоТор031 испыт(031ü;(1 00 ьектиВ уст2на!3лиь210т Н2 сОВпядение е 0 (()Оы ся с ие!!тром кри:3изны с(!)е(эичсскОГО зеркала или H013ppx«ocT!>!c) Нос Iсд)IСГО, О т л и 1 я ю HI H >i c я тем, что

В КЯЧЕСТВЕ ВОЛНЫ CP2«iH!ill:и HCI:0ËÜ2",IOT ВОЛН ), Полк ЧСННУIО Hi)H П03101ЦИ аналогичным образом установле:шых ">0 второй ветви интерферометра

Э Т Я Л О Н И 0 Г 0 31 H K P G G () T> C K T H l3 2 И . Р У Г 0 Г 0 С ф Е Р и -i P C K O i 3 Е Р К 2 Л Я .

)II

fi

fk

Редактор Г. Б. Субботина Текрсд Л. К. Ткаченко Корректор Г. Е. Опарина

Подп. к печ. 23/ )г — 64 г. Формат бум. 70 >(108)/д Объем 0,18 изд. ги

Заказ 1215/1 Тираж 200 Цс: а 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного ко), итста по делам изобретенi,è и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типографии, пр. Сапунова,