Способ контроля дефектов фотошаблонов с прямоугольной топологией рисунка

Способ контроля дефектов фотошаблонов с прямоугольной топологией рисунка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советснин

Социалнстнчеснин

Ресаублин

onисАнИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ и АВТОРСКОМУ СВНДВУИЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свнд-ву(22) ЗаЯвлено 02.08. 76 (21) 2 3 94565/2 5-2 8 с присоединением заявки № (23) Приоритет () Опубликовано05 04 78Рюллетень № 13 (45) Дата опубликования описания 14.03.78. (и).601 5 62 (5Ц М. Кл.

601 В 11/24

ГаауданетаенныФ нюпат

6авата Инннстраа ССР на данам наабрнтнннй н атнннпнй (53) УДК 531.715 2 (088.8) (72) Авторы д, К. Блинов, B. I". Кравцов, M. П. Кутявин изобретения Б. В. телешов и Я. Б. Шац (71) Заявитель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДЕФЕКТОВ ФОТОШАБЛОНОБ

С ПРЯМОУГОЛЬНОЙ ТОПОЛОГИЕЙ РИСУНКА

Изобретение относится к контропьно-из» мерительной технике, а именно к оптическим методам измерения, и может быть использовано в частности для контроля фотошабпонов дпя производства интегральных схем с прямоугольной топологией рисунка .

Известен способ контроля дефектов фотошабдонов, заключающийся в блокировке про странственных частот, соответствующих. регулярной структуре, голографическим фильтром (1)

Однако такой способ имеет невысокую точность контропя, так как иэображение дефектов накладывается на изображение беэдефектиого рисунка фотошабпона в виде светящихся точек и бопее слабые дефекты могут быть не эамеченм оператором. Кроме того, способ недостаточно производитепен иэ-аа спожностей в изготовлении фильтра и юстировки системы при смеиефотошаблоиа.

Наибопее близким по технической сущности и решаемой задаче к данному изобретению является способ контроля дефекта фотошаблонов с прямоугольной топологией рисунка, закпючаюшийся в том, что освещают фотошаблон коплимированным пучком света, формируют изображение спектра пространственных частот с помощью объектива, бпокиру» ют пространственные частоты, соответствующие прямоугольной топопогии рисунка, я получают иэображения дефектов P).

Известный способ осуществпяется с помощью крестообразного фильтра и объективов прямого и обратного фурье преобразования.

Недостатками этого способа являются низкая точность контроля, обусловленная тем, что фильтр не подавляет полностью пространственные частоты, соответствукчцие прямоугольной топологии рисунка, а также низкая производительность контроля, обусловленная необходимостью настройки системы при смене фотошаблона.

Цель изобретения - повышение точности и проиэводитапьности контроля.

Для этого фотошаблон освещают двумя скрещивающимися коплими рованными пучка.ми света, направленными под yr .îì Р к оп60 1562

ИНИИПИ Заказ 1650/6

Тираж 872 Подписное тической оси объектива, определяемым неравенствомм 2

Р ага4 г

2R где 3 — апертура объектива.

Q — рабочий отрезок объектива. 5

На чертеже изображена принципиальная схема устройства, осушествпяюшего предлагаемый способ контроля.

Устройство содержит источник света (на чертеже не изображен), создающий (p два коллимированных пучка 1 и 2 света, исследуемый фотошаблон 3, имеющий прямоугольную регулярную топологию рисунка, объектив 4, создающий фурье преобразование, и экран 5. 15

Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.

Контролируемый фртошаблон 3 освещают двумя скрещивающимися KorrAHMHpoBBHBblMH пучками l. и 2 света, падающими под углом щ

Р к оптической оси объектива 4 фурье преобразования. При этом в результате дифракции на структуре фотошабпона. в дапьней зоне формируется пространственный спектр, (дифракция Фраунгофера). Затем блокируют фэ пространственные частоты, соответствующие нрямоугольной топологии рисунка (роль бпокирующего элемента выполняет оправа объек: тива). Дапее осуществляют фурье преобразование с помощью объектива 4 и наблюдают 30 дефекты фотошаблона на экране 5. Величина угла Ъ определяется неравенством

/6 э щГОЪя ъ

2 где P - угон между осью пучка и оцтичео-35 кой осью обьктива;

Q - апертура объектива;

11 - рабочий отрезок объектива.

В результате такого освещения фотошабнона компоненты пространственных частот, 40 соответствующие прямоугольной топологии

4 рисунка, не попадают в апертуру объектива, так как их энергия практически полностью локализована вблизи оси пучка, а компоненты пространственных частот, соответствующие непрямоугольной Toïoëoãèè локализованы в гораздо более широкой обпасти и значительная часть их энергии попадает в апертуру объектива, на выходе которого в плоскости экрана 5 формируется изображение дефектов фотошаблона.

Формула изобреяения

Способ контроля дефектов фотошаблонов с прямоугольной топологией рисунка, заключающийся в том, что освещают фотошаблон колпимированным пучком света, формируют иэображение спектра пространственных частот с помощью объектива, блокируют прост ранственные частоты, соответствующие прямоугольной топологии рисунка,. и получают изображения дефектов, î r и и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точности и производитепьности контроля, фотошабпон освещают двуми скрещивающимися коши мированиыми пучками света, направленными под угпом Р к оптической оси объектива, определяемым неравенством

З

Р Г 2З где 1 - апертура объектива

g - рабочий отрезок объектива.

Источники информации, принятые .во внимание при экспертизе 1.Патент США%3614232,кл.350-1 62, 1968.

2.Патент США %365 8420,кл.350-1 62, 1969.

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, уа. Проектная, 4