Измеритель потока разреженного газа

Измеритель потока разреженного газа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТО СКОМУ СВИДНВЛЬСТВУ

Сотоз Советских

СОциэлмстмцасичх

Рвсиублни (1) 60384S (6!) Дополнительное к авт. саид-вщ 45ч575 (22) Заявлено 16.12.7В (2т)2429529/18-1 с присоединением заявки №

У (5)) М. Кл.

С 01 Г 1/34

ГесударетаеиаФ аеиинт

Сфаата Веастрое ССР а делам ызабратаххх я втхритий (23) Приоритет— (53) УДК681..121.8 (088.8) (43) Опубликовано 25,04.78, Бюллетень ЗЬ1 (4о) Дата опубликования .описания 29.0д.78 (12) Автори изобретения

Е, М. Орлеанская и Е, А, Пенчко (71) Заявитель (54) ИЗМЕРИТЕЛЬ llOTCKA РАЗРЕЖЕННО)О ГАЗА

Изобретение относится к вакуумной тех-. нике, в частности к потокомерам, и может быть использовано для контроля пот<жа при обработке и обеэгажнваннн электровакуумных приборов. 5

Иэ основного авт.св. М 453575 известен измеритель потока разреженного таза, содержаптий модулнрующую заслонку с приводом и манометрический преобразователь (1$.

Работа етого прибора основана на частич- lg ном перекрытии трубоправода то с одной,.ro с Npyrol стороны манометрнческого преобразователя. Заслонка, перекрываюшая трубопровод, закреплена на верттткальной торсионной . пружине, установленной перпендикулярно к ц каналу трубопровода. На stol же пружине вместе с заслонкой закреплен постоянный магнит, иаходяшийся в поле электромагнита.

Питание алектромагнита оеутпествляется от генератора, который обеспечивает качание до васлонкя с частотой питания электромат витаю

Такаи система работает в режиме вниуя денных колебаний ы любое изменение внешних или внутренннх параметрсв системы р5

2 (свойств магнита, упругости пружины, отклонение параметров генератора во времени) приводит к нзменению1амплитуды-колебаний заслонки, качанию с биениями и даже полной остановке заслонки.

Нестабильность «ачання заслонки препятст вует надежному измерению потока раэрежени ного газа, постоянству его характеристик и сокраптает рабочий ресурс пружины пря иэлнитне большом угле качания.

Цель изобретения - обеспечение стабильности качания заслонки н повышение надежности в работе измерителя rroroaa разрежен ного race.

Эта пель достигается тем, что измеритель потока разреженного газа по авт. св, М 48Э575, снабжен датчиком скорости движения заслонка, связанным с усилителем, блатом сравнения и визуальным индикатором, при этом выходы усилителя и блока сравнения совдинеиы с входом стабилиэируюаего устройства, которое подключено к обмотке питания электромагнитного приама заслонки.

На чертеже представлена crnyarrprraa схема измерителя потока разреженного газа, 603848

В корпусе 1 иэмернтеля размещены манометряческяй преобразователь 2 и растянутый на гибких нитях 3 держатель 4 с заслонкой

5 и магнитом 6. Магнит находится в поле электромагнита 7. Измеритель потока снаб» жен индуктивным датчиком 8 скорости двнжейня заслонки,б, визуальным индикатором

9, усилителем 10 и блоком сравнения 11, а выходы усилнтеля н блока сравнения соединены со стабнлнэируюшнм устройством р

12, которое подключено к обмотке электро магнита 7. Манометрический преобразователь 2 связан с устройством 13 отсчета потока. /

В процессе работы качание заслонки 5 15 я магнита 6 регистрируется индуктивным датчиком 8. Последний регистрирует качание магнита 6. Наведенная в нем ЭДС подается на визуальный индикатор 9, усилитель 10 н блок сравнения 11. Усилен- 20 ный сигнал ЗДС подается на стабнлизи» руюшее устройство 12,а с егр выхода - в цепь питания. электромагнита 7. Поток раз реженного газа по переменной составляющей давления регистрируется устройством 13 1 ЯЬ отсчета потока.

Наводимая в индуктивном датчике 8

ЭДС цропорциональна скорости движения магнита 6 и заслонки 5. Визуальный ян днкатор 9, например, с помощью светорезистора позволяет судить о работе заслонки в любой момент времени..

В блоке сравнения 11 наведенная ЭДС сопротивляется с опорным сигналом, подводямым к нему я обеспечнваюшнм регупи- ..@ розку угла максимального поворота заслонки, Разностный сигнал на выходе блока сравнения 11 управляет стабилизирующим устройством 12 с отрицательной обратной связью - прн повышении величины наводимой ЭДС напряжение питания алектромагнита 7 уменьшается, н наоборот. В реэуль тате наводимая s индуктивном датчике 8

ЭДС н угол максимального отклонения заслонки 5 прн качании поддерживаются постоянными на заданном уровне, à сама заслон» ка качается на своей резонансной частоте, Стабилизация угла поворота заслонки обеспечцвает надежное н достоверное измерение потока разреженного газа, а также позволяет визуально контролировать работу модулнрукицей заслонки, Это увеличивает работоспособность н надежность измерителя потока, поскольку защищает подвеску

or перегрузок при излишне больших-углах поворота заслонки.

Ф ормула изобретения

Измеритель потока разреженного газа по авт.св. ¹ 453575, о т л н ч а ю ш н йс я тем, что, с целью обеспечения сна» бнльностк качания заслонки н повышенн надежности s рpаaб оoт е, он снабжен датчиком скорости движения заслонки, связанным с усилителем, блоком сравнения н визуальным индикатором, пря атом выходы усилителя я блока сравнения соединены с входом стабнлиэеруюшего устройства, которое подключено к обмотке питания электромагнитного привода заслонки.

603848

Составитель О. Полев

Редактор T. Иванова Техред Н. Андрейчук Корректор А. Власенко

Заказ 205+/Q3 ° тираж p3Q Поднисное

БНИИИИ Государственного комитета Совета Министров СССР но делам изобретений и открытий

113035, Москва, ЖЭ5, Раушская наб„д, 4/5

Филиал ППП "Патент, r, Ужгород, ул, Проектная, 4