Датчик ультразвуковых колебаний

Датчик ультразвуковых колебаний

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 01.08.76 (21) 2390137/25-28 с присоединением заявки № (51) М. Кл.2 G 01 Н 11/00//

G 01N 29/00

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (43) Опубликовано 30.04.78. Бюллетень № 16 (45) Дата опубликования описания 21.04.78 (53) УДК 534.63:620,179. .1 6 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. М. Колешко и А. В. Гулай

Институт электроники АН Белорусской ССР (71) Заявитель (54) ДАТЧИК УЛЬТРАЗВУКОВЫХ КОЛЕБАНИЙ

Государственный комитет (23) Приоритет

Изобретение относится к области измерений высокочастотных механических колебаний и может быть использовано при контроле таких технологических процессов, как пайка и сварка полупроводниковых и интегральных схем.

Известны емкостные датчики для измерений высокочастотных механических колебаний, состоящие из корпуса, приемного элемента, включающего цилиндрическую металлическую трубку, и наконечника, заполненного звукопоглощающим материалом.

Недостатки этих датчиков заключаются в малой чувствительности и возможности измерений механических колебаний исследуемого объекта только вдоль одной оси координат, параллельной оси датчика.

Целью изобретения является измерение механических колебаний исследуемого объекта по трем координатным осям и повышение чувствительности измерений.

Для этого в предлагаемом датчике ультразвуковых колебаний приемный элемент выполнен в виде обращаемой торцовой частью к исследуемому объекту поляризованной радиаль»о пьезоэлектрической трубки с электродами на цилиндрической части и расположенного в ней электрически изолированного и поляризованного по длине пьезоэлектрического стержня с электродами на торцах.

На фиг. 1 представлен предлагаемый датчик, вид со стороны рабочей поверхности; на фиг. 2 — то же, разрез.

Датчик содержит поляризованную радиаль5 но пьезокерамическую трубку 1 с нанесенными на цилиндрической поверхности электродами 2 и 3, пьезокерамический стержень 4 с электродами на торцах 5, оттарированные усилители 6, корпус 7 и прокладки 8.

1р Устройство работает следующим образом.

Датчик подводится к объекту исследований на расстояние, не превышающее 1 мм, так, что ось датчика перпендикулярна к боковой поверхности исследуемого объекта.

15 Благодаря емкостной связи между объектом и приемными элементами датчика на электродах появляется переменное электрическое напряжение, частота которого равна частоте ультразвуковых колебаний объекта, а амплитуда напряжения пропорциональна амплитуде механических колебаний объекта. Напряжения с электродов подаются на входы оттарированных усилителей.

Формула изобретения

Датчик ультразвуковых колебаний, содержащий корпус и приемный элемент, включающий цилиндрическую трубку, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью измерения механи605118

Фиг.1

Фиг,Z

Составитель П. Стрелков

Техред Л. Гладкова

Корректоры: И. Позняковская и Л. Брахиина

Редактор О. Юркова

Заказ 578/18 Изд. № 398 Тираж 841

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 475

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2 ческих колебаний объекта по трем координатным осям и повышения чувствительности измерений, приемный элемент выполнен в виде обращаемой торцовой частью к исследуемому объекту поляризованной радиально пьезоэлектрической трубки с электродами на цилиндрической части и расположенного в ней электрически изолированного и поляризованного по длине пьезоэлектрического

5 стержня с электродами на концах.