Устройство для химической резки монокристаллов

Устройство для химической резки монокристаллов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Сеез Советскма

Соврииестичеоиа екесяублнтт

ОП ИСАН ИЕ

ИЗОЬРЕТЕН ИЯ

К АЮТОРСКОМУ СВИДВТВЛЬСТВУ (11) 605721 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 2 1.07.76 (2 1) 2388651/2 9-33 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (51) М. Кл.

В 28 Й 5/06

Гасудврствеавьа каматет

Свввтв Миикстрав СССР аа делам взабретенвй

II аткрытий (43) Опубликовано 05 05.78,Бюллетень Х17 (53) УДК

6 79.8.05 (088.8 J (45) Дата опубликования описания 20.04.78

A. B. Завппинскнй, М, Л. Поляченкэ и И. К. Засимчук (?2) Авторы изобретения

Опытно-конструкторское бюро института метаппофиэики

АН Украинской ССР (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ РЕЗКИ

МОНОКРИСТАЛЛОВ

Изобретение относится к вспомогательному научному оборудованию и входит в состав устройств, предназначенных дпя бездеформационной резки монокристалпов.

Известное устройство дпя резки монокрис- 5 таппов с распиловочным диском не обеспечивает нужного качества реза (1j

Известно другое устройство для химической резки монокристаппов, содержащее механизм подачи кристаплодержатепя с электро- 10 двигателем подачи, режущую струну с втулками, соединенными эластичными трубками с резервуаром рабочего раствора и электродвигатель возвратно-поступательного перемещения режущей струны (2).

l5

Это устройство является наибопее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату.

Недостатком этого устройства является необходимость поддерживать постоянным уси-20 лие натяжения режущей струны. Тарировка сипоизмерительного датчика зависит от деформации режущей струны под действием оптимапьного усилия нажатия струны на монокристалл, а деформация, в свою очередь, 25 зависит от натяжения струны. Натяжение режущей струны в процессе резки изменяется вследствие ее износа. Кроме того, затруднена эксплуатация станка, так как необходимо иметь специальные средства дпя обеспечения постоянного, предварительно эаданнс го усилия натяжения струны при ее замене, ипи необходимо проводить тарировку силоизмерительного датчика при каждой такой замене.

Цель изобретения - поддержание оптимапьного усипия натяжения ружушей струны на монок рис талл.

Это достигается тем, что устройство для химической резки монокристаппов, содержащее механизм подачи кристапподержатепя с электродвигателем подачи, режущую струну с втулками, соединенными эпастичными трубками с резервуаром рабочего раствора, и эпектродвигатепь возвратно-поступательного перемещения режущей струны, снабжено кареткой с коромыслом весовой системы, снабженной грузом задания усилия нажатия струны и датчиком перемещения, причем электрод вига тель возвра тн о-нос тупа тельно605721 го перел<ещения режущей струны кинематически связан с кареткой, на одном плече коромысла закреплена режушая струна, а другое его плечо кинематически связано с датчиком перемещения, электрически связанноro

Йа чертеже изображено предлагаел ое устройство, общий вид;

Устройство дпя химической резки монс кристяппов включает станину, лтеханиэм по- 10 дачп к(ж<. тапподержатепя 1 со следящим электроприбором, состоящий иэ стопа 2, штока 3, редуктора 4 и электродвигателя подачи 5. На станине расположены каретка б, несущая коромь<спо 7 весовой системы <5 и эпектродвигатепь 8, осуществляющий возвратно-поотупатепьное перемещение каретки, кривошипнс -шатунного механизма 9 и реечноГо дифференциала 10, На одном плече коромысла эакреппена режущая струна 11, а 20 другое его плечо связано с датчиком перемещений 12. На коромысле имеется противовес 13, служащий дпя балансировки весовой сисreмы, и груз 14 задания усилия нажатии режущей струны на монокристалл. На р ущие струны надеты втулки 15, соединенные эластичными трубками 16 с резервуарол<. 17 рабочего раствора.

Перед запуском станка между монокриотаппом и режущей струной задается «ео6хо- ЗО димое усилие контакта, при этом сигнап оТ датчика перемещений устанавливается равHblM О, а коромысло занимает определенное положение.

Кривошипно-шатунный механизм 9 преоб- З разует вращение электродвигателя 8 в воэвратнс поступательное перемещение каретки 6. Реечиый дифференциал 10 спужит дпя увеличения дпины хода каретки. Вместе с кареткой перемешается и коромысло 7 весовой системы, несущее струну 11, которая, проходя через втулку 15 и смачиваясь рабочим раствором, подводимым к втулкам по трубкам 16 иэ резервуара 17, переносит раствор в место реза на монокристаппе, 45

Движение от электродвигателя подачи 5 через редуктор и винтовую пару преобразуется в поступатепьное нерелтешение штока 3, на стопе 2 которого устапавпив:<ется кристапподержатепь 1 <: закреппепным монокристаппом.

В процессе резки монокристаппа коромысlIo 7 весовой системы стремится откпонитьсп из первоначал,ного положения вниз под действием сипы, опредсляемой попожениел< груза 14 на коромысле, ипи вверх за счет перемещения монокристапла. При этом появляется сигнал разбапанса на датчике пере-. мещений 12. <Сигнал разбаланса через эпектронный усилитель поступает на реверсивный эпектродвигатепь подачи 5, который перемешает монокристалп и возвращает коромысло 7 весовой системы в первоначальное попожение.

Формула изобретения

Устройство дпя химической резки монокристаллов, содержащее механизм подачи кристапподержатепя с электродвигателем подачи, режущую струну с втулками, соединенныл<и эластичными трубками с резервуаром рабочего раствора, и электродвигатель возвратно-поступательного перемещения режущей струны, о т и и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью поддержания оптимального усилия нажатия режущей струны на монокристалл, устройство снабжено кареткой с коромыслом весовой системы, снабженной грузом задания усилия нажатия струны и датчиком перемещения, причем электродвигатель перемещения струны кинематически связан с кареткой, на одном плече коромысла закреплена режущая струна, а другое его плечо кинематически связано с датчиком перемещения, электрически связанного с электродвигателем подачи.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе;

1. Заявка ¹ 2022039, кл. В 28 9 1/02, 1974, по которой принято решение о выдаче авторского свидетельства.

2. Авторское свидетельство ¹ 447288, кп. Б 28@ q 5/06, 1973.

60572 1

Составитель В. Алекперов

Редактор Н. Скворцова Текред Э Ч К ужик орректор Л. Небола

3 аказ 2309/11 Тираж 683

ЦНИИПИ Гос а осударственного комитета Совета Министров (ССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Рауиккая наб., д 4/5 ° 9

Филиал ППГ! "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4