Производные 4,4-диазидостильбен-2,2-дисульфокислоты в качестве фотосшивающих агентов

Патент 613590

Авторы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (н1613590 (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 18. 06. 76 (21) 2396055/23-04 с присоединением заявки ¹(23) ПриоритетвЂ”

Опубликовано 150183 Бюллетень ¹ 2

Дата опубликования описания 15. 01. 83 (51) М. Кп.

С 07 С 117/00

G 03 С 1/495

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 547.541 (088. 8) (72) Авторы изобретения

А.М.Комагоров, В.И.Ерихов, Н.М.Варабанова и P.Ä.Ýðëèõ

: :":4 ЛЩС !9v! Г „

I (71) Заявитель (54) ПРОИЭВОЛЬНЫЕ 4, 4 -ДИАЗИДОСТИЛЬВЕН-2, 2

ДИСУЛЬФОКИСЛОТЫ В КАЧЕСТВЕ ФОТОСШИВАЮЩИХ

ЭЛЕМЕНТОВ

Си=он / z>

И, Н, 1 I ма 33Е

Изобретение относится к новым химическим соединениям, кснкретно,к производным 4, 4 -диазидостильбен-2

2 -дисульфокислоты общей Формулы гдв g,и R. вЂ” водород, гвксил 2-оксиэтил или R вЂ” водород, а К вЂ” циклогексил, или g,NR вЂ” остаток пипвридина.

Производные 4, 4 -диаэидостильбвн-2,2 -дисульфокислоты являются светочувствительными соединениями и могут быть использованы в качестве

Фотосшивающих агентов для приготовления светокопировальных слоев негативного типа вЂ” фоторезисторов, применяемых при формировании эащитйых покрытий в микроэлектронной, радиотехнической и полиграфической Ilp0» мыалвнности.

Известно использование в качестве фотосшивающего агента 2,6-бис- 4 »аэидобензаль)-4-метилциклогвксанона (ДЦГ) в композиции с циклокаучуком.

Однако известный фотосшивающий агент имеет ограниченную растворимость в органических растворителях

5 t1j °

Целью изобретения, являются Н-эамещенные 4,4 -диаэидостильбей-2,2 -дисульфонамиды укаэанной общей формулы, которые могут быть использованы в качестве фотосшивающих агентов для полимеров различных классов и которые хорошо растворимы в кетонах, диоксане, сложных эфирах, моноалкиловых эфирах этиленгликоля, а также в ароматических углеводородах (прн

R R -гексил) и простых спиртах (при т

R R -2-оксиэтил) . указанные свойства определяются новой химической структурой новых производных 4,4 -диаэидостильбен-2,2 дисульфокислоты.

Предлагаемые соединения получают конденсацией 4,4 -диаэидостильбвн-2,2

-дисульфохлорида с аминами формулы

HNRR â среде органического смешивающегося с водой растворителя, напрймер диоксана, при 20-70 С, в присутствии соединений, связывающих образующихся. хлористый водород. В качестве последних целесообразно использовать водfiHe растворы едких щелочей,Kap6QHaToB

613590 щелочных металлов или третичные амины, например триэтиламин или пиридин.

Способ получения предлагаемых соединений прост в технологическом отнсшении, так как нв требует специальной аппаратуры и основан на использовании доступного сырья -4,4 -диази" ! достильбен-2,2 -дисульфохлорида и диалкиламинов.

Преимуществом новых соединений укаэанной общей формулы по сравнению 10 с ДЦГ явяяется хорошая растворимость до многих органических растворителях.

Достаточная растворимость этих соединений (при R,R -2-оксиэтил) в спиртах позволяет испольэовать их в ка- 15 честве фотосшивающих агентов для воцорастворимых полимеров, которые также растворимы в спиртах.

Пример 1. 4,4 -Диазидостильбен-2,2 -ди-(N,N -бис-(2" -оксиэтил)- И

-сульфонамид).

23 r 4,4 -диазидостильбен-2,2 "ди) / сульфохлорида растворяют в 350 мл диоксана, прибавляют 11,5 г ди"(2-оксиэтил)-амина нагревают до 60 С и прикапывают в течение 30 мин при

25 раэмешивании 50 мл 10%"ного водного раствора едкого натра. Размешивают ещв 30 мин при 60 С, фильтруют и выливают фильтрат в 380 мл .ноды. Осадок отделяют, промывают водой до нейо тральной реакции и сушат при 60-70 C.

Выход 20 r; т.пл. 145-147 С.

После кристаллизации из спирта получают мелко кристаллический желтоватый продукт с т.пл. 151,0 152,0 СЗ5 (с разложением) .

Найдено,%: C 44,35; 44,20, Н 5,051

4,97р N ; 19,08у S 10,63у 10,80.

С Н э ооэЯ, Вычислено, Ъ: С 44, 29; Н 4, 731 40

N 18,78; S 10,75.

Продукт растворим н ацетоне, диоксане, спиртах и ароматических углеводородах.

Пример 2. 4,4 -Диазидостиль- 45 бен-2,2 -ди- jN,И -бис-(гвксил)-сульфонамид).

Аналогично примеру 1, исходя из дигексиламина вместо ди-(2-оксил)-амина, получают 4,4-диазидостильбен-2, 2 -ди-1. Ц -бис- (гексил) -сульфонамид) °

Выход 75%. Светло-желтые кристаллы. Т.пл. 106,0-107,0 С (из спирта) .

Найдено, ЪI С 60,16) 59,90 Н 7,84) 5

tl,88gN 14,88; 14,73; S8,26; 8,22;

С38 Нбс Ng(1q S g.

Вычислено, Ъ: С 60,32i Н 7,99!

N 14,801 S 8,47.

Пример б. Раствор 0,5 r одного иэ предлагаемых соединений, описанных в примерах 1-4, и 10 г цик60 .локаучука в 50 мл ксилола или смеси ксилол-хлороформ (1: 1) н анос ят мето,дом центрифугиронания на кварецевую пластину, сушат и экспонируют через фотошаблон светом ртутной лампы СВДgg 120; после проявления.экспонированВещество хорошо растворимо в ароматических углеводородах, ацетоне и диоксане, несколько хуже в спирте.

Пример 3. 4,4 -Диаэидостильбен-2,2 ди-(К-циклогвксил-сульфонаМИД) °

Используя циклогвксиламин вместо ди-(2-оксиэтил)-амина, аналогично примеру 1 получают 4,4 -диазидостильбен-2,2 -ди-(й-циклогвксилсульфонамид).

Выход 82%. Кристаллы бледно-кремового цвета . Разлагается при 150 С без плавления.

Найдено, Ъ: С 53,01; 53,121 Н 5,82, 5,93J 3× 18,84, 18,71 у 610,41 j 10,52.

С Н Э 2 К80, 9

Вычислено, %: С Б3,40 Н 5,52

Н 19,17; 510,97.

Растворим в диоксане, ацетоне, ху же н спиртах.

Пример 4. 4,4 -Диазидостильбен-2,2-ди- (сульфонопиперидид) .

Заменяя ди- (2-оксизтил) -амин н примере 1 на пиперидин, получают

4,4- днаэидостильбен-2,2-ди-(сульфонопиперидид).

Выход 69%.

После кристаллизации из ледяной уксусной кислоты получают светло-желтые кристаллы, разлагающиеся выше

150 С без плавления.

Найдено, Ъ: С 51,61 51,951 Н 5,42

5,28; Й 20,71; 20,48у Б 11,18 11,29..

С 4Н я э 9 4.Я Вычислено, Ъ: С 51,78 Н 5,07

20, N S 11,52 °

Полученные производные используют в качестве фотосшивающих агентов для приготовления светокопирональных слоев, что иллюстрируется следующими примерами, Пример 5. 0,05 r полученного соединения укаэанной общей формулы (R, R -2-оксиэтил) и 1,0 г полининилпйрролидона (мол.вес 70000) растворяют в смеси 9 мл иэопропилового спир" та и б мл этилцеллюлозольва.На медную подложку методом центрифугирования наносят пленку полученного раствора, сушат и экспонируют через маску светом ртутной лампы СВД-120, проявляют в нодв, споласкивают ацетоном и су- . шат подложку с защитным рельефом.

После травления подложки насыщенным водным раствором хлорного железа образуется рельефное негативное изображение маски.

Аналогичный результат получают, используя вместо поливинилпирролидона поли-(2-метил-5нинилпиридин), кнатерниэованный по атому азота галогеналкенами.

1! 613590 формула изобретения

Редактор Л.Письман Техред М.Костик Корректор О.Билак

10769/6 Тирам 416 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Эакаэ Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная,4 ного слоя ксилслом получают негативное иэображение фотошаблона.

Аналогичный результат получают, используя раствор 0,5 r одного иэ соединений, указанной общей формулы, описанных в примерах 2 и 4, и 15 г полиглицидилметакрилата, этерифицированного ненасиценной кислотой (например, коричной кислотой) в 50 мл этилцеллоэольва (проявляют этилцеллозольвом) °

Приведенные примеры показывают, что предлагаемые соединения могут быть использованы в качестве фотосшивающих агентов для полимеров различных классов. Это возможно благодаря тому, что синтезированные соединения растворимы в более широком наборе растворителей, чем известный аналог

ЧЦГ.

Производные 4,4 -диазидостильбенI

-2,2 -дисульфокислоты общей формулы где и R вЂ” водород,гвксил, 2-оксиэтил или вЂ” водород, а К вЂ” циклогексил, илн КМя . вЂ” остаток пиперидина, !

5 а качестве фотосшивающих агентов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 242868, кл. С 07 С 49/30, 1963.