Устройство для литья пленки

Патент 614823

Авторы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

I с

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11 61482 3

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свил-ву(22) Заявлено28.01.77 (21) 24 19126/23-05 с присоединением заявки № 244612 7/23 5 (23) ПриоритетвЂ” (43) Опубликовано 15.07.78,Бюллетень № 26 (45), 1ата опубликования описания 06.06.78

2 (51) М. Кл.

3 (15 C 5/02

В 29 Э 7/02

Госудврственнь!й комитет

Саватв Министров СГСр по делам нзааретений

И OTKPb(THN (53) Ъ ;(К 678.026.. 3 (088.8) (72) Авторы изобретения

Б. А. Пальчевский и Ю. В. Кодра

Львовский ордена Ленина политехнический институт (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО llJIH ЛИТЬЯ ПЛЕНКИ

Изобретение относится к конструкции устройств для изготовления применяемых в электронных приборах эмиссионных, металлнзационных, изоляционных и т,п. пленочных покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности.

Известно устройство для изготовления пленочных покрытий, содержащее воронку для жидкой пасты или расплава, установленную над подвижной технологической подложкой, на которую через щель в воронке поступает паста (ll .

Недостатком данного устройства явля- 15 тся то, что оно не обеспечивает стабильности размеров (толщины) получаемой пленки.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является устройство для литья пленки, содержащее герметичную литьевую воронку, сообщающуюся с емкостью для жидкости и пневмосистему для вытеснения последней иэ воронки (2j.

Однако описанное выполнение устройства для литья пленки не обеспечивает непрерывности процесса литья, так как требует периодической зарядки резервуара литейной жидкостью.

Подключение к резервуару системы непрерывной подачи жидкости невозможно из-за происходящей в этом случае разгерметизации устройства.

Белью изобретения является обеспечение непрерывностя процесса литья.

Бель достигается тем, что пневмосистема соединена непосредственно с воронкой, причем между литьевой воронкой и емкостью для жидкости смонтирован затвор-дозатор.

Затвор-дозатор может быть выполнен в виде крыльчатки или в виде двухстороннего перистальтического насоса, выполненного в виде связывающих резервуар с воронкой отводящего и подводящего эластичных трубопроводов, между которыми размещен ротор, несущий на радиальных пальцах нажимные ролики, причем выходной конец отводящего трубот1ровода рас614823 положен над верхним уровнем укидкости резервуара, На фиг, 1 изображено устройство с затвором-доэатором, выполненным в виде крыльчатки; ца фиг, 2 - затвор-дозатор, выполненный в виде двухстороннего перистальтяческ ого насоса.

Устройство для литья пленки содержит стол 1 и приводной механизм 2 технологической подложки 3. Над столом 1 установлено литейное приспсюобление, имеющее корпус 4, разделенный массивной стенкой 5 на герметичную литьевую воронку 6, имеющую щель 7, и резервуар 8 для жидкой пасты. Резервуар 8 сообщается с воронкой 6 через выполненное в стенке 5 отверстие 9, К воронке 6 через патрубок 10 подведена пневмосистема (на чертеже не показана), а к резервуару 8 подведена система подпитки 11, Б отверстие 9 встроен роторный затвор-дозатор, выполненный в виде крыльчатки 12 (см. фиг. 1). При этом рас.стояние между лопастями 13 крыльчатки меньше толщины стенки 5, что обеспечивает герметизацию воронки.

Работает предлагаемое устройство следующим образом.

Наполняют резервуар 8 через систему подпитки 11 жидкостью, которую с

30 помощью лопастей 13 крыльчатки 12 через отверстия в стенке 5 подают.в воронку 6 Одновременно в воронку 6 через патрубок 10 подают воздух пз пневмосистемы. Под суммарным (гидростатическое +

35 воздушное) давлением вытеснения жидкость через щель 7 корпуса 4 подают на движущуюся от привода 2 по столу 1 технологическую подложку 3, получая, таким

40 образом, пленку, ? (авление вытеснения является относительно постоянным, так как с помощью крыльчатки поддерживают постоянный уровень жидкости в воронке, осуществляя непрерывную подпитку и од45 повременно отбор лопастями крыльчатки излишков жидкости в воронке. То есть, оба компонента (гидростатический и воздушный) суммарного давления вытеснения литейной жидкости являются постоян50 ными, что обеспечивает равномерное поступление литейной жидкости на подложку и стабильность толщины получаемой пленки, Затвор-дозатор может быть выполнен

55 в виде двухстороннего перистальтического насоса {см. фиг. 2), содержащего ротор 12, несущий на радиальных пальцах

13 нажимные ролики 14, для которых мом, и размещенный между подводящим

15 и отводящим 16 эластичными трубо проводами, соединенными с резервуаром

8, При этом выходной конец отводящего трубопровода расположен над верхним уровнем жидкости резервуара 8, Работает устройство следующим об-.

PBDOM, Резервуар 8 наполняют жидкостью, которую с помощью подводящего трубопровода 15 и нажимных роликов 14, приводимых во вращение ротором 12, подают непрерывно в воронку 6, Одновременно в воронку подают воздух из пневмосистемы и через отводящий трубопровод

16 осуществляют отбор излишков жидкости из воронки 6.

Под суммарным (гидростатическое+воздушное) давлением вытеснения жидкость из воронки поступает на движущуюся по столу 1 технологическую .подложку 3 и образует пленку. давление вытеснения является относительно постоянным, так как с помощью двухстороннего перистальтического насоса поддерживают постоянный уровень жидкости в воронке. То есть, оба компонента (гидростатический и воздушный) суммарного давления вытеснения жидкости являются постоянными, что обеспечивает равномерное поступление жидкости на подложку и стабильность толщины получаемой пленки.

Использование описанного устройства позволяет автоматизировать процесс изготовления высококачественной металлоорганической пленки, применяемой в гибридных интегральных схемах, электронных вакуумных приборах и т. п.

Формула изобретения

1. Устройство для литья пленки, содержащее герметичную литьевую воронку, сообщающегося с емкостью для жидкости и пневмосистему для вытеснения последней из воронки, о т л и ч а ю m е е с я тем, что, с целью обеспечения непрерывности процесса литья, пневмосистема соединена непосредственно с воронкой, причем между литьевой воронкой и емкостью для жидкости смонтирован затвор-дозатор.

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ющ е е с я тем, что затвор-дозатор выполнен в виде крыльчажи.

3. Устройство по п. 1, о т л и ч а ющ е е с я тем, что затвор-дозатор выпол-. нен в виде двухстороннего перистальчм614823

4. Устройство по п, 3, о т л и ч а ющ е е с я тем, что перистальтический насос выполнен в виде связывающих резурвуар с воронкой отводящего и подводящего эластичных трубопроводов, между которыми размещен ротор, несущий на радиальных пальцах нажимные ролики, 5. Устройство по пц. 3 и 4, о т л ич а ю m е е с я тем, что выходной конец отводящего трубопровода расположен над верхним уровнем жидкости резервуара.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР

М 451537, кл. Д 29 З 7/08, 1975, 2. Патент CilIA % 2974364, кл. 264-213, 1961.

Составитель С. Леонтьева

Редактор Т. Ыевнтко Техреду. Ллатырев Корректор А. Лакида

Заказ 3785/4 Тираж 905 П одлисн ое

ЦПИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5