Устройство для определения параметров сканирующего электронного пучка

Устройство для определения параметров сканирующего электронного пучка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К. АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сеюэ Советсинх

Социалистичвсннх республик (») 616666 (61) Дополнительное к авт. свнд-ву

/ (22) Заявлено 190776(21). 2384102/1& 25 с нрнсоеднненнен заявка Рй (23) Приоритет (43) Опубликовано 2507.78;Бюллетень ЭЬ 27 (45) Лата опубликования описания 150678 (51) И. Кл.

Н Ol J 39/00

ГосудаРственный комитет

Совета йтинистров СССР но делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385.564. ,88(088.8) A.Ê.Âåéíèê, В.И.Прилепин, В.Н.Алехнович,:

И.Л.Поболь и В.Л.Бондаренко (72) Авторы изобретения физико-технический институт АН Белорусской ССР

PI) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ flAPANETPOB

СКАНИРУКЛЦЕГО ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА

Изобретение относится к оборудованию, позволяющему проводить исследование сканирующих электронных пучков.

Известно устройство для определения формы и размеров электронных пучков, содержащее токопроводящие зонды, периодически пересекающие электронный пучок jlj .

Однако это устройство не позволяет определять параметры сканирующего электронного пучка.

Наиболее близкое к предлагаемому изобретению устройство для определения параметров сканирующего электронкого пучка содержит зонд с проволочными датчиками, закрепленный перпендикулярно оси вала механизма вращения (21.

Однако в таком устройстве в процессе работы пучок перемещается по рабочей зоне, а .это приводит к изменению линейной скорости участка зонда, пересекающего пучок, например, к уменьшению при приближении пучка к точке крепления зонда, при этом время прохождения поперечного сечения пучка зондом в этом случае увеличивается, что соответственно вызывает изменение величины импульсов, зарегистрированных на экране осциллографа. Следовательно, точность определения формы электронного пучка зависит от расположения оси электронного пучка .относительно оси вращения зонда.

Цель изобретения — повьыение точ" ности измерения.

Для этого зонд выполнен П-образной фории, а отогнутые его концы, на которых .закреплены проволочные датчики, составляют равные тупые углы с центральной частью зонда и отстоят на разных расстояниях от оси вала механизма вращения.

На фнг. 1 изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 дан разрез А-A на фиг. 1.

Оно содержит вал 1 механизма вращения, электродвигатель 2 проволочные датчики 3, П-образный зонд 4 и устройства крепления 5 и б.

Устройство работает следующим образом.

Включают электродвигатель 2 ° Пос- ле достижения постоянной скорости вращения вала 1 с зондом, все устройство поворачивают. и фиксируют s рабочем положении. При этом датчики 3 пересекают электронный пучок в двух различных плоскостях, перпендикуляр" ных оси пучка. Токи, снимаемые зон616666

Формула иэобретения дом, записывают с помощью запоминающего многолучевого осциллографа (на чертежах не показан) . После измерения все устройство выводят из рабочего положения и выключают.

Предлагаемое устройство позволяет уменьшить ошибку, обусловленную зависимостью величины импульса снимаемого тока от взаимного расположения оси вращения зонда и оси электронного пучка,, эа счет того, что рабочие участки зонда при своем движении опи- 10 сывают коническую поверхность, и возможное перемещение пучка по рабочей зоне значительно меньше влияет на скорость, с которой зонд пересекает электронный пучок. 15

Устройство для определения пара-..метров сканирующего электронного пуч:ЯО

1 ф ка, содержащее зонд .с проволочНыми датчиками, закрепленный перпендикулярно оси вала механизма вращения, о т л,и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повыаения точности измерения, зонд выполнен П-образной форма, а отогнутые его концы, на которых закреплены проволочные датчики, составляют равные тупые углы с центральной частью зонда и отстоят на разных расстояниях от оси вала механизма вращения.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

l. Авторское свидетельство СССР

9. 324476, кл. Н 01 Т 39/00, 1972.

2. Чвертко A.È. и др. Оборудование для. электроннолучевой сварки.

Киев, Наукова Думка, 1973, с. 155, Сост ави тель И . Еремина

Ре ак о Л. ебенникова Тех е О.Ъ ей о Ко екто Л.Небола ,Эакаэ 4074/47 Тираж 960 Подписное . пниипи Государственного комитета совета министров сссР по делам изобретений и открытий

113035 Москва Ж-35 Ра ская наб. ° 4 5

Филиал ППП патент, r, ужгород, ул. Проектная. 4